公开(公告)号：CN102834763A

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201180017510.4

申请日：2011-02-01

Applicant: 皮克斯特罗尼克斯公司

Inventor： E·E·菲克 ,  J·H·吴 ,  J·L·斯泰恩 ,  J·甘地

IPC: G02B26/02 ,  G02F1/01 ,  G02F1/1339 ,  G02F1/1341

CPC classification number: H01J9/26 ,  B32B37/003 ,  B32B37/1018 ,  B32B2309/027 ,  B32B2309/105 ,  B32B2457/20 ,  G02B26/005 ,  G02B26/0833 ,  G02F1/1339

Abstract: 本文中所描述的本方法和设备涉及显示器、以及制造包括MEMS的填充冷密封流体的显示器的方法。流体实质上包围MEMS显示器的活动部件以减小静摩擦的影响并改进该显示器的光学和机电性能。本发明涉及用于在较低温度下密封MEMS显示器的方法，从而汽泡只在低于密封温度约15°C至约20°C的温度下形成。在一些实施例中，MEMS显示装置包括第一基板、通过间隙与第一基板分开且支承光调制器阵列的第二基板、实质上填充该间隙的流体、该间隙内的多个间隔物、以及将第一基板结合到第二基板的密封材料。

公开(公告)号：CN102834763B

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201180017510.4

申请日：2011-02-01

Applicant: 皮克斯特罗尼克斯公司

Inventor： E·E·菲克 ,  J·H·吴 ,  J·L·斯泰恩 ,  J·甘地

IPC: G02B26/02 ,  G02F1/01 ,  G02F1/1339 ,  G02F1/1341

CPC classification number: H01J9/26 ,  B32B37/003 ,  B32B37/1018 ,  B32B2309/027 ,  B32B2309/105 ,  B32B2457/20 ,  G02B26/005 ,  G02B26/0833 ,  G02F1/1339

Abstract: 本文中所描述的本方法和设备涉及显示器、以及制造包括MEMS的填充冷密封流体的显示器的方法。流体实质上包围MEMS显示器的活动部件以减小静摩擦的影响并改进该显示器的光学和机电性能。本发明涉及用于在较低温度下密封MEMS显示器的方法，从而汽泡只在低于密封温度约15°C至约20°C的温度下形成。在一些实施例中，MEMS显示装置包括第一基板、通过间隙与第一基板分开且支承光调制器阵列的第二基板、实质上填充该间隙的流体、该间隙内的多个间隔物、以及将第一基板结合到第二基板的密封材料。

公开(公告)号：CN101999091A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN200980112764.7

申请日：2009-02-12

Applicant: 皮克斯特罗尼克斯公司

Inventor： J·L·斯泰恩 ,  T·J·布罗斯尼汉 ,  J·H·吴 ,  M·B·安迪生 ,  R·S·佩恩 ,  J·J·菲乔 ,  N·W·哈古德四世

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/02 ,  G09G3/3413 ,  G09G3/3433 ,  G09G2300/08

Abstract: 本发明涉及一种空间光调制器，该空间光调制器包括具有一个表面的一个基片以及被连接到该基片上的一个调制组件，该调制组件包括一个调制元件和一个顺性梁。该调制组件被构形为用来限制不然就会由该顺性梁内的固有应力引发的该顺性梁朝向一个对置表面的弯曲。本发明还涉及一种制造空间光调制器的方法，该方法包括以下步骤：形成并释放一个调制组件，该调制组件具有一个调制元件以及一个顺性梁，该顺性梁在一个释放前的位置中形成以便具有一种想要达到的固有应力状态。作为该顺性梁中这种应力状态的一个结果，当释放该顺性梁时，该顺性梁弯曲进入一个休止位置，该休止位置不同于该释放前的位置，其中该休止位置是部分基于该想要达到的固有应力状态。