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公开(公告)号：CN102285527A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110121591.4
申请日：2011-05-12
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明提供一种基板输送装置和基板的倾斜校正方法，能够在基板移动着的状态下进行基板的倾斜校正。基板输送线路(5)由相对下基板(1)的输送方向(箭头)左侧的左侧辊式输送机(5L)和右侧的右侧输送机(5R)构成。如摘要附图所示，在所输送的下基板(1)倾斜的情况下，辊式输送机(5L、5R)中的基板检测传感器(24a、24b)根据检测到该下基板(1)各个的边部的定时的时间差来检测该倾斜的大小和方向，根据该检测结果使基于辊式输送机(5L、5R)中的某一侧的辊子(21a或者21b)的输送速度与稳定速度不同，使下基板(1)旋转该倾斜角度。
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公开(公告)号：CN102169253A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110039853.2
申请日：2011-02-17
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333 , G02F1/1339
Abstract: 本发明公开了一种液晶基板粘合系统。作为布局结构简单的粘合系统，为了构成谋求液晶面板的制造时间的缩短且抑制了尘埃的产生的系统，将由运送下基板的滚筒输送机构成的第一运送线(5)、向该第一运送线(5)上涂覆密封剂的膏剂涂覆机(7)、配置在该膏剂涂覆机(7)的下游侧的短路用电极形成用涂覆机(8)、使液晶材料滴下的液晶滴下装置(9)、检查下基板(1)的状态的第一检查室(10)串联配置，在第一运送线(5)上并联地形成由运送上基板(2)的滚筒输送机构成的第二运送线(6)，在第二运送线的终端部，为了将上基板反转而设置扇型地进行基板反转的基板反转装置，且在第一运送线(5)和第二运送线(6)的合流点，设置与第一运送线(5)连接的由滚筒输送机构成的第三运送线(20)，在该第三运送线(20)上串联地配置了传送室(12)、基板粘合室(15)、紫外线照射室(17)以及面板检查室(18)。
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公开(公告)号：CN1982053A
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200610169316.9
申请日：2006-12-14
Applicant: 株式会社日立工业设备技术 , 株式会社SANKI技术
Abstract: 本发明涉及将与粘合基板相称大小的片状的薄膜粘贴在基板上的薄膜粘贴方法及其装置。在基板(2)的上方、利用吸附板(33)和前端吸附板(34)使薄膜(1)在保护膜(7)的相反面侧倾斜并对其加以吸附保持，将粘接带(55)粘贴在保护膜(7)上，在薄膜(1)的前端部使粘接带(55)反向移动，剥离保护膜(7)的前端部，使前端吸附板(34)脱离薄膜的前端部，将剥离了保护膜的前端部的薄膜的前端部与基板(2)的前端部对齐，利用压接辊(46)加压，解除吸附板(33)对薄膜的吸附保持，一面以薄膜(1)的前端部侧为前面使基板(2)移动，一面利用粘接带(55)的移动剥离保护膜(7)，同时向基板(2)供给薄膜(1)，利用压接辊(46)将薄膜(1)粘贴在基板(2)上。根据本发明，无需对吸附保持力进行微妙且复杂的控制，并且薄膜也不会掉落在基板上，可简便且可靠地将薄膜粘贴在基板上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101214747A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200710300481.8
申请日：2007-12-28
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明的课题为一种实现微小的磨损粉及尘埃不会落到基板的表面上、成品率不会降低的膜粘贴方法。其解决课题的方案为：配备有对应于膜前端的前端吸附板，对应于前端之外的膜的区域的吸附板，通过使吸附膜的吸附板沿铅直方向竖立，将基板在铅直方向并且向吸附板侧以规定的量倾斜地加以保持，在将压接辊压紧到膜前端位置上的状态下，使压接辊移动到铅直方向下侧，从膜的前端一直到末端，在将膜与基板的角度保持在恒定的状态下，利用压接辊将膜粘贴到基板上。
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公开(公告)号：CN101214747B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN200710300481.8
申请日：2007-12-28
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明的课题为一种实现微小的磨损粉及尘埃不会落到基板的表面上、成品率不会降低的膜粘贴方法。其解决课题的方案为：配备有对应于膜前端的前端吸附板，对应于前端之外的膜的区域的吸附板，通过使吸附膜的吸附板沿铅直方向竖立，将基板在铅直方向并且向吸附板侧以规定的量倾斜地加以保持，在将压接辊压紧到膜前端位置上的状态下，使压接辊移动到铅直方向下侧，从膜的前端一直到末端，在将膜与基板的角度保持在恒定的状态下，利用压接辊将膜粘贴到基板上。
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公开(公告)号：CN1982053B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200610169316.9
申请日：2006-12-14
Applicant: 株式会社日立工业设备技术 , 株式会社SANKI技术
Abstract: 本发明涉及将与粘合基板相称大小的片状的薄膜粘贴在基板上的薄膜粘贴方法及其装置。在基板(2)的上方、利用吸附板(33)和前端吸附板(34)使薄膜(1)在保护膜(7)的相反面侧倾斜并对其加以吸附保持，将粘接带(55)粘贴在保护膜(7)上，在薄膜(1)的前端部使粘接带(55)反向移动，剥离保护膜(7)的前端部，使前端吸附板(34)脱离薄膜的前端部，将剥离了保护膜的前端部的薄膜的前端部与基板(2)的前端部对齐，利用压接辊(46)加压，解除吸附板(33)对薄膜的吸附保持，一面以薄膜(1)的前端部侧为前面使基板(2)移动，一面利用粘接带(55)的移动剥离保护膜(7)，同时向基板(2)供给薄膜(1)，利用压接辊(46)将薄膜(1)粘贴在基板(2)上。根据本发明，无需对吸附保持力进行微妙且复杂的控制，并且薄膜也不会掉落在基板上，可简便且可靠地将薄膜粘贴在基板上。
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公开(公告)号：CN201984258U
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201120040136.7
申请日：2011-02-17
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333 , G02F1/1339 , H01L21/00
Abstract: 本实用新型公开了一种液晶基板粘合系统。作为布局结构简单的粘合系统，为了构成谋求液晶面板的制造时间的缩短且抑制了尘埃的产生的系统，将由运送下基板的滚筒输送机构成的第一运送线(5)、向该第一运送线(5)上涂覆密封剂的膏剂涂覆机(7)、配置在该膏剂涂覆机(7)的下游侧的短路用电极形成用涂覆机(8)、使液晶材料滴下的液晶滴下装置(9)、检查下基板(1)的状态的第一检查室(10)串联配置，在第一运送线(5)上并联地形成由运送上基板(2)的滚筒输送机构成的第二运送线(6)，在第二运送线的终端部，为了将上基板反转而设置扇型地进行基板反转的基板反转装置，且在第一运送线(5)和第二运送线(6)的合流点，设置与第一运送线(5)连接的由滚筒输送机构成的第三运送线(20)，在该第三运送线(20)上串联地配置了传送室(12)、基板粘合室(15)、紫外线照射室(17)以及面板检查室(18)。
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公开(公告)号：CN201808268U
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN201020140937.6
申请日：2010-03-15
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: B32B38/18 , G02F1/1333
Abstract: 本实用新型的课题在于提供一种贴合装置，其具备能够以简单的结构保持大型的玻璃基板的基板保持装置。贴合装置通过具有基板保持部(41)的上基板保持装置(4)而粘着保持玻璃基板，所述基板保持部(41)中在圆环状的周缘部(41a)上安装有以不饱和聚丁二烯树脂为材料且呈圆环状的粘着垫(41d)、和配置成覆盖周缘部(41a)的圆环状的中空部(41b)的可动膜(41c)。其特征在于，使玻璃基板从粘着垫(41d)脱离时，可动膜(41c)随着增压室(42)的气压上升，朝向粘着在粘着垫(41d)上的玻璃基板突出。
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