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公开(公告)号：CN100432776C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200610084511.1
申请日：2006-05-25
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1341 , G02F1/1303 , G02F2001/133354 , G02F2001/13415 , G02F2202/28
Abstract: 本发明所要解决的课题是随着贴合基板的大型化、为了保持产品的精度贴合装置也形成大型，操作也变得复杂的问题。本发明的基板组装装置悬吊有上腔室，并设有下腔室，上腔室在架台的四角设置用于使上架进行上下移动的Z轴驱动机构，并且在上架下面、在内部具有上工作台；下腔室在内部具有通过多个支撑腿被支撑在上述架台侧的下工作台，上述上腔室和下腔室通过密封圈合为一体、构成真空腔室，上述上工作台与上述上架进行连结，并通过上架利用上述Z轴驱动机构进行移动，通过使上述上架动作，上腔室上下运动、进行真空腔室的开关，上述下工作台通过设置在多个支撑腿和工作台之间的万向节载物台进行支撑，通过设置在真空腔室外侧的横向推压机构可在水平方向移动。
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公开(公告)号：CN1936678A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610111076.7
申请日：2006-08-18
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1339
CPC classification number: G02F1/1341 , B29C66/001 , B32B37/0046 , B32B2309/68 , B32B2457/20 , G02F1/1303 , G02F2001/13415 , B29C65/00
Abstract: 为了实现能高速、高精度地在真空中对基板进行粘合的基板粘合装置，由送入粘合前的2块基板的第1室(C1)、对基板进行粘合的第2室(C2)和送出粘合后的基板的第3室构成，能控制上述第1室室内和第3室室内从大气压变成中真空状态，能控制第2室从中真空变成高真空。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102285527A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110121591.4
申请日：2011-05-12
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
Abstract: 本发明提供一种基板输送装置和基板的倾斜校正方法，能够在基板移动着的状态下进行基板的倾斜校正。基板输送线路(5)由相对下基板(1)的输送方向(箭头)左侧的左侧辊式输送机(5L)和右侧的右侧输送机(5R)构成。如摘要附图所示，在所输送的下基板(1)倾斜的情况下，辊式输送机(5L、5R)中的基板检测传感器(24a、24b)根据检测到该下基板(1)各个的边部的定时的时间差来检测该倾斜的大小和方向，根据该检测结果使基于辊式输送机(5L、5R)中的某一侧的辊子(21a或者21b)的输送速度与稳定速度不同，使下基板(1)旋转该倾斜角度。
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公开(公告)号：CN101216629B
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200810002107.4
申请日：2006-05-25
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1341 , G02F1/1303 , G02F2001/133354 , G02F2001/13415 , G02F2202/28
Abstract: 本发明所要解决的课题是随着贴合基板的大型化、为了保持产品的精度贴合装置也形成大型，操作也变得复杂的问题。本发明的基板组装装置悬吊有上腔室，并设有下腔室，上腔室在架台的四角设置用于使上架进行上下移动的Z轴驱动机构，并且在上架下面、在内部具有上工作台；下腔室在内部具有通过多个支撑腿被支撑在上述架台侧的下工作台，上述上腔室和下腔室通过密封圈合为一体、构成真空腔室，上述上工作台与上述上架进行连结，并通过上架利用上述Z轴驱动机构进行移动，通过使上述上架动作，上腔室上下运动、进行真空腔室的开关，上述下工作台通过设置在多个支撑腿和工作台之间的万向节载物台进行支撑，通过设置在真空腔室外侧的横向推压机构可在水平方向移动。
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公开(公告)号：CN100451775C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200610111076.7
申请日：2006-08-18
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1339
CPC classification number: G02F1/1341 , B29C66/001 , B32B37/0046 , B32B2309/68 , B32B2457/20 , G02F1/1303 , G02F2001/13415 , B29C65/00
Abstract: 为了实现能高速、高精度地在真空中对基板进行粘合的基板粘合装置，由送入粘合前的2块基板的第1室(C1)、对基板进行粘合的第2室(C2)和送出粘合后的基板的第3室构成，能控制上述第1室室内和第3室室内从大气压变成中真空状态，能控制第2室从中真空变成高真空。
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公开(公告)号：CN101216629A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810002107.4
申请日：2006-05-25
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1341 , G02F1/1303 , G02F2001/133354 , G02F2001/13415 , G02F2202/28
Abstract: 本发明所要解决的课题是随着贴合基板的大型化、为了保持产品的精度贴合装置也形成大型，操作也变得复杂的问题。本发明的基板组装装置悬吊有上腔室，并设有下腔室，上腔室在架台的四角设置用于使上架进行上下移动的Z轴驱动机构，并且在上架下面、在内部具有上工作台；下腔室在内部具有通过多个支撑腿被支撑在上述架台侧的下工作台，上述上腔室和下腔室通过密封圈合为一体、构成真空腔室，上述上工作台与上述上架进行连结，并通过上架利用上述Z轴驱动机构进行移动，通过使上述上架动作，上腔室上下运动、进行真空腔室的开关，上述下工作台通过设置在多个支撑腿和工作台之间的万向节载物台进行支撑，通过设置在真空腔室外侧的横向推压机构可在水平方向移动。
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公开(公告)号：CN1869778A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200610084511.1
申请日：2006-05-25
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1341 , G02F1/1303 , G02F2001/133354 , G02F2001/13415 , G02F2202/28
Abstract: 本发明所要解决的课题是随着贴合基板的大型化、为了保持产品的精度贴合装置也形成大型，操作也变得复杂的问题。本发明的基板组装装置悬吊有上腔室，并设有下腔室，上腔室在架台的四角设置用于使上架进行上下移动的Z轴驱动机构，并且在上架下面、在内部具有上工作台；下腔室在内部具有通过多个支撑腿被支撑在上述架台侧的下工作台，上述上腔室和下腔室通过密封圈合为一体、构成真空腔室，上述上工作台与上述上架进行连结，并通过上架利用上述Z轴驱动机构进行移动，通过使上述上架动作，上腔室上下运动、进行真空腔室的开关，上述下工作台通过设置在多个支撑腿和工作台之间的万向节载物台进行支撑，通过设置在真空腔室外侧的横向推压机构可在水平方向移动。
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