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公开(公告)号：CN100432776C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200610084511.1
申请日：2006-05-25
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1341 , G02F1/1303 , G02F2001/133354 , G02F2001/13415 , G02F2202/28
Abstract: 本发明所要解决的课题是随着贴合基板的大型化、为了保持产品的精度贴合装置也形成大型，操作也变得复杂的问题。本发明的基板组装装置悬吊有上腔室，并设有下腔室，上腔室在架台的四角设置用于使上架进行上下移动的Z轴驱动机构，并且在上架下面、在内部具有上工作台；下腔室在内部具有通过多个支撑腿被支撑在上述架台侧的下工作台，上述上腔室和下腔室通过密封圈合为一体、构成真空腔室，上述上工作台与上述上架进行连结，并通过上架利用上述Z轴驱动机构进行移动，通过使上述上架动作，上腔室上下运动、进行真空腔室的开关，上述下工作台通过设置在多个支撑腿和工作台之间的万向节载物台进行支撑，通过设置在真空腔室外侧的横向推压机构可在水平方向移动。
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公开(公告)号：CN1470922B
公开(公告)日：2010-04-21
申请号：CN03149313.0
申请日：2003-06-26
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1339
Abstract: 为了使进行大型基板的胶合的减压腔内的维护检查变得容易，且实现高精度的胶合，将在减压状态胶合2张基板的组装装置，作成分割为上下2个腔的构造，将在上侧腔内使一方的基板可自由拆装地保持的上台面、和在下侧腔内使另一方的基板可自由拆装地保持的下台面，与各自保持的基板相对地备置，前述上台面在上腔的外侧具有使上台面以及上腔分别独立地上下移动的驱动机构，前述下台面与下腔一体地结合，在前述下腔的外侧，具有相对于上腔至少在水平方向移动的驱动。
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公开(公告)号：CN101178500A
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN200710169813.3
申请日：2007-11-07
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333 , H01L21/677 , B65G49/06
Abstract: 随着液晶面板的大型化，面板的组装装置也变得大型化，装置重量也超过40tf，不能在原封不动的状态下进行输送。本发明的基板组装装置在上下轴部分割成上腔室组件和下腔室组件两部分，下腔室组件保持该状态地进行输送，同时，在上腔室组件中的构成上腔室组件的上机架部安装在输送夹具上进行输送，并且在上述输送夹具上附加使上腔室组件上下移动的装置，也作为组装夹具使用。
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公开(公告)号：CN1936678A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610111076.7
申请日：2006-08-18
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1339
CPC classification number: G02F1/1341 , B29C66/001 , B32B37/0046 , B32B2309/68 , B32B2457/20 , G02F1/1303 , G02F2001/13415 , B29C65/00
Abstract: 为了实现能高速、高精度地在真空中对基板进行粘合的基板粘合装置，由送入粘合前的2块基板的第1室(C1)、对基板进行粘合的第2室(C2)和送出粘合后的基板的第3室构成，能控制上述第1室室内和第3室室内从大气压变成中真空状态，能控制第2室从中真空变成高真空。
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公开(公告)号：CN100405185C
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN03138653.9
申请日：2003-05-29
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1339 , G02F1/1333 , G09F9/35
Abstract: 一种基板装配装置，在加压板(上板)2的中央部附近设置能上下伸缩的吸附衬垫，根据输入的上基板的挠曲量拉伸吸附衬垫，负压供给到设置在加压板上的吸附孔的同时也供给到吸附衬垫，吸附基板之后，通过收缩吸附衬垫使吸附衬垫的顶端部位于加压板的吸附面上，可以可靠地把基板保持在加压板上。从而可以解决在把大型基板输入贴合装置内并把上基板保持在加压板上时，当基板产生挠曲时存在不能可靠地保持基板的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101216629A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810002107.4
申请日：2006-05-25
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1341 , G02F1/1303 , G02F2001/133354 , G02F2001/13415 , G02F2202/28
Abstract: 本发明所要解决的课题是随着贴合基板的大型化、为了保持产品的精度贴合装置也形成大型，操作也变得复杂的问题。本发明的基板组装装置悬吊有上腔室，并设有下腔室，上腔室在架台的四角设置用于使上架进行上下移动的Z轴驱动机构，并且在上架下面、在内部具有上工作台；下腔室在内部具有通过多个支撑腿被支撑在上述架台侧的下工作台，上述上腔室和下腔室通过密封圈合为一体、构成真空腔室，上述上工作台与上述上架进行连结，并通过上架利用上述Z轴驱动机构进行移动，通过使上述上架动作，上腔室上下运动、进行真空腔室的开关，上述下工作台通过设置在多个支撑腿和工作台之间的万向节载物台进行支撑，通过设置在真空腔室外侧的横向推压机构可在水平方向移动。
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公开(公告)号：CN1869778A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200610084511.1
申请日：2006-05-25
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1341 , G02F1/1303 , G02F2001/133354 , G02F2001/13415 , G02F2202/28
Abstract: 本发明所要解决的课题是随着贴合基板的大型化、为了保持产品的精度贴合装置也形成大型，操作也变得复杂的问题。本发明的基板组装装置悬吊有上腔室，并设有下腔室，上腔室在架台的四角设置用于使上架进行上下移动的Z轴驱动机构，并且在上架下面、在内部具有上工作台；下腔室在内部具有通过多个支撑腿被支撑在上述架台侧的下工作台，上述上腔室和下腔室通过密封圈合为一体、构成真空腔室，上述上工作台与上述上架进行连结，并通过上架利用上述Z轴驱动机构进行移动，通过使上述上架动作，上腔室上下运动、进行真空腔室的开关，上述下工作台通过设置在多个支撑腿和工作台之间的万向节载物台进行支撑，通过设置在真空腔室外侧的横向推压机构可在水平方向移动。
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公开(公告)号：CN101178500B
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200710169813.3
申请日：2007-11-07
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333 , H01L21/677 , B65G49/06
Abstract: 随着液晶面板的大型化，面板的组装装置也变得大型化，装置重量也超过40tf，不能在原封不动的状态下进行输送。本发明的基板组装装置在上下轴部分割成上腔室组件和下腔室组件两部分，下腔室组件保持该状态地进行输送，同时，在上腔室组件中的构成上腔室组件的上机架部安装在输送夹具上进行输送，并且在上述输送夹具上附加使上腔室组件上下移动的装置，也作为组装夹具使用。
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公开(公告)号：CN101216629B
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200810002107.4
申请日：2006-05-25
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/1341 , G02F1/1303 , G02F2001/133354 , G02F2001/13415 , G02F2202/28
Abstract: 本发明所要解决的课题是随着贴合基板的大型化、为了保持产品的精度贴合装置也形成大型，操作也变得复杂的问题。本发明的基板组装装置悬吊有上腔室，并设有下腔室，上腔室在架台的四角设置用于使上架进行上下移动的Z轴驱动机构，并且在上架下面、在内部具有上工作台；下腔室在内部具有通过多个支撑腿被支撑在上述架台侧的下工作台，上述上腔室和下腔室通过密封圈合为一体、构成真空腔室，上述上工作台与上述上架进行连结，并通过上架利用上述Z轴驱动机构进行移动，通过使上述上架动作，上腔室上下运动、进行真空腔室的开关，上述下工作台通过设置在多个支撑腿和工作台之间的万向节载物台进行支撑，通过设置在真空腔室外侧的横向推压机构可在水平方向移动。
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公开(公告)号：CN100451775C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200610111076.7
申请日：2006-08-18
Applicant: 株式会社日立工业设备技术
IPC: G02F1/1339
CPC classification number: G02F1/1341 , B29C66/001 , B32B37/0046 , B32B2309/68 , B32B2457/20 , G02F1/1303 , G02F2001/13415 , B29C65/00
Abstract: 为了实现能高速、高精度地在真空中对基板进行粘合的基板粘合装置，由送入粘合前的2块基板的第1室(C1)、对基板进行粘合的第2室(C2)和送出粘合后的基板的第3室构成，能控制上述第1室室内和第3室室内从大气压变成中真空状态，能控制第2室从中真空变成高真空。
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