公开(公告)号：CN100405185C

公开(公告)日：2008-07-23

申请号：CN03138653.9

申请日：2003-05-29

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 中山幸德 ,  村山孝夫 ,  平井明 ,  八幡聪

IPC: G02F1/1339 ,  G02F1/1333 ,  G09F9/35

Abstract: 一种基板装配装置，在加压板(上板)2的中央部附近设置能上下伸缩的吸附衬垫，根据输入的上基板的挠曲量拉伸吸附衬垫，负压供给到设置在加压板上的吸附孔的同时也供给到吸附衬垫，吸附基板之后，通过收缩吸附衬垫使吸附衬垫的顶端部位于加压板的吸附面上，可以可靠地把基板保持在加压板上。从而可以解决在把大型基板输入贴合装置内并把上基板保持在加压板上时，当基板产生挠曲时存在不能可靠地保持基板的问题。

公开(公告)号：CN100457291C

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：CN200610082447.3

申请日：2006-05-19

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 川口洋平 ,  川隅幸宏 ,  石田茂 ,  山间伸也 ,  村山孝夫

IPC: B05C5/00 ,  H02J17/00

Abstract: 为了解决由于扬尘而引起洁净度、涂敷精度下降的问题，在本发明的糊剂涂敷机中，设置有多个在一个方向上可往复移动的门型框架和可在上述门型框架的长度方向上移动的涂敷头，将基板搭载在与设置有上述涂敷头的喷嘴的排出口相对而设置的台上，通过一边从上述排出口向上述基板排出填充在糊剂容纳筒中的糊剂一边使上述基板和上述喷嘴的相对位置关系变化，从而在上述基板上涂敷所希望形状的糊剂图案，其构成为，为了向上述门型框架供电，在架台侧呈直线状配置的馈电线与设置在门型框架侧的受电芯之间利用磁耦合而进行非接触供电，设置了与移动的门型框架进行控制信号的交换的光无线通信装置。

公开(公告)号：CN1470922B

公开(公告)日：2010-04-21

申请号：CN03149313.0

申请日：2003-06-26

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 平井明 ,  八幡聪 ,  中山幸德 ,  村山孝夫

IPC: G02F1/1339

Abstract: 为了使进行大型基板的胶合的减压腔内的维护检查变得容易，且实现高精度的胶合，将在减压状态胶合2张基板的组装装置，作成分割为上下2个腔的构造，将在上侧腔内使一方的基板可自由拆装地保持的上台面、和在下侧腔内使另一方的基板可自由拆装地保持的下台面，与各自保持的基板相对地备置，前述上台面在上腔的外侧具有使上台面以及上腔分别独立地上下移动的驱动机构，前述下台面与下腔一体地结合，在前述下腔的外侧，具有相对于上腔至少在水平方向移动的驱动。

公开(公告)号：CN1868604A

公开(公告)日：2006-11-29

申请号：CN200610082447.3

申请日：2006-05-19

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 川口洋平 ,  川隅幸宏 ,  石田茂 ,  山间伸也 ,  村山孝夫

IPC: B05C5/00 ,  B05B13/02 ,  B05B15/06 ,  B05B12/00

Abstract: 为了解决由于扬尘而引起洁净度、涂敷精度下降的问题，在本发明的糊剂涂敷机中，设置有多个在一个方向上可往复移动的门型框架和可在上述门型框架的长度方向上移动的涂敷头，将基板搭载在与设置有上述涂敷头的喷嘴的排出口相对而设置的台上，通过一边从上述排出口向上述基板排出填充在糊剂容纳筒中的糊剂一边使上述基板和上述喷嘴的相对位置关系变化，从而在上述基板上涂敷所希望形状的糊剂图案，其构成为，为了向上述门型框架供电，在架台侧呈直线状配置的馈电线与设置在门型框架侧的受电芯之间利用磁耦合而进行非接触供电，设置了与移动的门型框架进行控制信号的交换的光无线通信装置。

公开(公告)号：CN100472747C

公开(公告)日：2009-03-25

申请号：CN03805388.8

申请日：2003-02-17

Applicant: 株式会社日立工业设备技术

Inventor： 横山直人 ,  森本光昭 ,  中原真 ,  村山孝夫 ,  平井明 ,  八幡聪

IPC: H01L21/68 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333

CPC classification number: B65G49/061 ,  B32B37/1292 ,  B32B2038/1891 ,  B32B2309/68 ,  B32B2457/20 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  B65G2249/045 ,  C09J7/10 ,  C09J2201/28 ,  C09J2409/00 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1341 ,  G02F2001/133302 ,  G02F2001/133354 ,  G02F2202/28 ,  H01L21/6835 ,  H01L2924/1017 ,  Y10T428/24165 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/2883

Abstract: 本发明的真空中的衬底保持方法利用以含有二烯类树脂的材料成型的粘结衬垫(20)或粘结片保持玻璃衬底(5)。以此防止粘结剂粘附在衬底上，同时能在粘固衬底后方便地将粘结片从衬底上剥离。