公开(公告)号：CN104067378A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201280067091.X

申请日：2012-11-30

Applicant: 株式会社日立国际电气 ,  东海高热工业株式会社

Inventor： 西谷英辅 ,  国井泰夫 ,  丰田一行 ,  吉田秀成 ,  石坂光范 ,  村上克己 ,  小谷津胜好 ,  本田真

IPC: H01L21/365 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L21/67017 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/67326 ,  H01L21/67754

Abstract: 一种衬底处理装置，具备：处理室，收纳形成有层叠膜的多个玻璃衬底，所述层叠膜由铜-铟、铜-镓、或铜-铟-镓中的任一种构成；反应管，以构成处理室的方式形成；保持盒，构成为自由地搬入处理室内，使多个玻璃衬底排列成彼此的主面保持规定的间隔并分别相对，并且设置一对侧壁，所述一对侧壁分别覆盖排列的多个玻璃衬底中的、两端的玻璃衬底的外侧的主面；气体供给管，向处理室内导入含硒元素气体或含硫元素气体；排气管，排出处理室内的气氛；加热部，以包围反应管的方式设置；以及风扇，在多个玻璃衬底的各个主面，使处理室内的气氛在多个玻璃衬底的短边方向强制对流。