公开(公告)号：CN1109628A

公开(公告)日：1995-10-04

申请号：CN94119335.7

申请日：1994-10-28

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 中野朝雄 ,  田村太久夫 ,  末永和史 ,  尾形洁 ,  笹岛崇三 ,  熊坂登行

IPC: H01F10/14

CPC classification number: G11B5/3109 ,  G11B5/147 ,  H01F10/131 ,  H01F17/04 ,  H01F41/18 ,  H02K99/00

Abstract: 把Fe-M-C(其中M是从Ti、Zr、Hf、Nb、V、Ta、Mo、W中选择的至少一种金属)作为必要成分，由原子比组成为Fe65—80％、M6—16％、其余是C形成的磁性膜中，在磁性膜的微细组织中C原子及与之相结合的3—15％的Fe原子形成具有体心立方结构、平均粒度为5—14nm的结晶性微聚合体，M原子和C原子形成平均粒度为0.5—2nm的非晶质性微聚合体，两种微聚合体共存。先用溅射法形成上述组成的非晶质膜，再在非氧化性气氛中，500—560℃的低温度下进行30分钟左右的短时间热处理形成这种磁性膜。

公开(公告)号：CN1079984C

公开(公告)日：2002-02-27

申请号：CN94119335.7

申请日：1994-10-28

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 中野朝雄 ,  田村太久夫 ,  末永和史 ,  尾形洁 ,  笹岛崇三 ,  熊坂登行

IPC: H01F10/14

CPC classification number: G11B5/3109 ,  G11B5/147 ,  H01F10/131 ,  H01F17/04 ,  H01F41/18 ,  H02K99/00

Abstract: 把Fe-M-C(其中M是从Ti、Zr、Hf、Nb、V、Ta、Mo、W中选择的至少一种金属)作为必要成分，由原子比组成为Fe65-80%、 M6-16%、其余是C形成的磁性膜中，在磁性膜的微细组织中C原子及与之相结合的3-15%的Fe原子形成具有体心立方结构、平均晶粒尺寸为5-14nm的结晶性微聚合体，M原子和C原子形成平均晶粒尺寸为0.5-2的非晶质性微聚合体，两种微聚合体共存。先用溅射法形成上述组成的非晶质膜，再在非氧化性气氛中，500-560℃的低温度下进行30分钟左右的短时间热处理形成这种磁性膜。