公开(公告)号：CN1215912A

公开(公告)日：1999-05-05

申请号：CN98108077.4

申请日：1998-03-26

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 增田俊夫 ,  三谷克彦 ,  加治哲德 ,  田中润一 ,  渡边克哉 ,  白米茂 ,  大坪徹 ,  佐佐木一郎 ,  福本英士 ,  小泉真

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32091 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32165 ,  H01J37/32623 ,  H01J37/3266 ,  H01J37/32678

Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置和等离子体处理方法,具有磁场形成装置,通过磁场来控制电子共振,以控制等离子体状态和腐蚀气体的离解状态,由此,即使对于大口径的晶片,也能够同时兼顾处理速度和细微加工性、选择比和均匀性。在真空处理室内的一对电极间施加20MHz至300MHz的高频功率,通过磁场形成装置而在电极间形成与电极表面平行的磁场。而且,通过在100高斯以下的范围中控制磁场强度,通过电极包层部中的电场和磁场的相互作用来控制电子回旋加速器共振、电子包层共振的生成。

公开(公告)号：CN1269888A

公开(公告)日：2000-10-11

申请号：CN98808488.0

申请日：1998-10-26

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 宫田健治 ,  福本英士 ,  小村昭义 ,  牧晃司

IPC: G01R31/34 ,  G01R33/02

CPC classification number: G01R31/343

Abstract: 一种电磁场分析方法和电磁场分析仪,分析整个分析空间里的电磁场,以便确定定子空间和转子空间之间的边界电磁场。该确定的边界电磁场在旋转方向上被分解成为模。不包括定子和转子之间磁路系统的周期波动分量的一个模转换成为旋转磁场分量,该旋转磁场分量被波动分量调制,得到经过调制的旋转磁场分量。该经过调制的旋转磁场分量被设定为定子空间和转子空间之间界面的边界条件,并且分别进行定子空间和转子空间的电磁场分析。将近似确定的涡流作为给定电流,在整个分析空间里多次重复上述分析过程。该电磁场分析方法和电磁场分析仪能够分析旋转电机如发电机或者电动机中的电磁场,比常规电磁场分析方法和电磁场分析仪更快。