公开(公告)号：CN101424524B

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200810170095.6

申请日：2008-10-22

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 佐佐木一郎 ,  定岗纪行 ,  渡边昌俊

IPC: G01B15/00

CPC classification number: G01N23/046 ,  G01N2223/419 ,  G01N2223/643 ,  G01N2223/645

Abstract: 本发明提供一种检查系统，在短时间内求出构成组装品的各部件间的三维位置关系，对作为被检查体的组装品的内部状态进行检查。其特征在于，具备：数据编辑处理部(2)，存储设计数据，制成、编辑计算投影图；亮度计算部(3)，根据上述计算投影图计算出应选取的部件的边界附近的亮度；灵敏度设定部(4)，根据上述计算出的亮度设定摄影装置(5)的灵敏度以使该边界附近的投影像变得清晰；摄影装置(5)，针对所搬送的上述组装品取得多个方向的投影像；图像处理部(6)，将上述投影像变换成电信号以作为实际投影图进行图像处理；以及判断部(8)，根据上述实际投影图中的部件是否存在于由上述数据编辑处理部取得的上述计算投影图的部件的容许范围内，来判断上述组装品是否合格。

公开(公告)号：CN101424524A

公开(公告)日：2009-05-06

申请号：CN200810170095.6

申请日：2008-10-22

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 佐佐木一郎 ,  定岗纪行 ,  渡边昌俊

IPC: G01B15/00

CPC classification number: G01N23/046 ,  G01N2223/419 ,  G01N2223/643 ,  G01N2223/645

Abstract: 本发明提供一种检查系统，在短时间内求出构成组装品的各部件间的三维位置关系，对作为被检查体的组装品的内部状态进行检查。其特征在于，具备：数据编辑处理部(2)，存储设计数据，制成、编辑计算投影图；亮度计算部(3)，根据上述计算投影图计算出应选取的部件的边界附近的亮度；灵敏度设定部(4)，根据上述计算出的亮度设定摄影装置(5)的灵敏度以使该边界附近的投影像变得清晰；摄影装置(5)，针对所搬送的上述组装品取得多个方向的投影像；图像处理部(6)，将上述投影像变换成电信号以作为实际投影图进行图像处理；以及判断部(8)，根据上述实际投影图中的部件是否存在于由上述数据编辑处理部取得的上述计算投影图的部件的容许范围内，来判断上述组装品是否合格。

公开(公告)号：CN1215912A

公开(公告)日：1999-05-05

申请号：CN98108077.4

申请日：1998-03-26

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 增田俊夫 ,  三谷克彦 ,  加治哲德 ,  田中润一 ,  渡边克哉 ,  白米茂 ,  大坪徹 ,  佐佐木一郎 ,  福本英士 ,  小泉真

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32091 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32165 ,  H01J37/32623 ,  H01J37/3266 ,  H01J37/32678

Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置和等离子体处理方法,具有磁场形成装置,通过磁场来控制电子共振,以控制等离子体状态和腐蚀气体的离解状态,由此,即使对于大口径的晶片,也能够同时兼顾处理速度和细微加工性、选择比和均匀性。在真空处理室内的一对电极间施加20MHz至300MHz的高频功率,通过磁场形成装置而在电极间形成与电极表面平行的磁场。而且,通过在100高斯以下的范围中控制磁场强度,通过电极包层部中的电场和磁场的相互作用来控制电子回旋加速器共振、电子包层共振的生成。