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发明公开
压力传感器设备、其制造方法及作业管理系统审中-实审

公开(公告)号：CN115307790A

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202210362656.2

申请日：2022-04-07

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 松井辽平 , 川原绫太朗 , 河村哲史 , 杉井信之 , 牛尾奈绪子 , 吉元广行

IPC: G01L1/18 , G01L5/00

Abstract: 目的是提供一种能够减少误检测的压力传感器设备、其制造方法及作业管理系统。一种检测压力的压力传感器设备，具备：挠性基板母材(11)，具有柔软性；梳齿型电极(41、42)，在挠性基板母材(11)上的规定区域中形成并露出金属面；以及感压材料(21)，设在梳齿型电极(41、42)上，根据载荷而电阻值变化，在静态的状态下具有曲率。

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