公开(公告)号：CN1414616A

公开(公告)日：2003-04-30

申请号：CN02154549.9

申请日：2002-10-10

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 本乡干雄 ,  宇都幸雄 ,  野本峰生 ,  中田俊彦 ,  波多野睦子 ,  山口伸也 ,  大仓理

IPC: H01L21/324

Abstract: 利用物镜集中激光束并且将其辐射到具有1微米或者更小的晶粒大小的非晶硅薄膜或者多晶硅薄膜上，从连续波形激光束开始处理激光束，(1)以便于利用EO调制器使其脉动并且在脉动时具有任意的随着时间的能量变化；(2)利用光束均匀器、具有任意透射率分布的滤波器和矩形狭缝使得具有任意的空间能量分布；和(3)利用高速旋转的漫射器来除去相干性。这样，有可能实现一种液晶显示设备，其中，在TFT面板装置中包含驱动电路，该驱动电路包括具有与单晶体属性基本相同的多晶硅膜。

公开(公告)号：CN100394287C

公开(公告)日：2008-06-11

申请号：CN200410095693.3

申请日：2002-10-10

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 本乡干雄 ,  宇都幸雄 ,  野本峰生 ,  中田俊彦 ,  波多野睦子 ,  山口伸也 ,  大仓理

IPC: G02F1/136 ,  H01L29/786 ,  H01L21/00

Abstract: 利用物镜集中激光束并且将其辐射到具有1微米或者更小的晶粒大小的非晶硅薄膜或者多晶硅薄膜上，从连续波形激光束开始处理激光束，(1)以便于利用EO调制器使其脉动并且在脉动时具有任意的随着时间的能量变化；(2)利用光束均匀器、具有任意透射率分布的滤波器和矩形狭缝使得具有任意的空间能量分布；和(3)利用高速旋转的漫射器来除去相干性。这样，有可能实现一种液晶显示设备，其中，在TFT面板装置中包含驱动电路，该驱动电路包括具有与单晶体属性基本相同的多晶硅膜。

公开(公告)号：CN1645222A

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：CN200410095694.8

申请日：2002-10-10

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 本乡干雄 ,  宇都幸雄 ,  野本峰生 ,  中田俊彦 ,  波多野睦子 ,  山口伸也 ,  大仓理

IPC: G02F1/136 ,  G02F1/133 ,  H01L21/00 ,  H01L29/786

Abstract: 一种显示装置的制造方法，利用物镜集中激光束并且将其辐射到具有1微米或者更小的晶粒大小的非晶硅薄膜或者多晶硅薄膜上，从连续波形激光束开始处理激光束，(1)以便于利用EO调制器使其脉动并且在脉动时具有任意的随着时间的能量变化；(2)利用光束均匀器、具有任意透射率分布的滤波器和矩形狭缝使得具有任意的空间能量分布；和(3)利用高速旋转的漫射器来除去相干性。这样，有可能实现一种液晶显示设备，其中，在TFT面板装置中包含驱动电路，该驱动电路包括具有与单晶体属性基本相同的多晶硅膜。

公开(公告)号：CN1619401A

公开(公告)日：2005-05-25

申请号：CN200410095693.3

申请日：2002-10-10

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 本乡干雄 ,  宇都幸雄 ,  野本峰生 ,  中田俊彦 ,  波多野睦子 ,  山口伸也 ,  大仓理

IPC: G02F1/136 ,  H01L29/786 ,  H01L21/00

Abstract: 利用物镜集中激光束并且将其辐射到具有1微米或者更小的晶粒大小的非晶硅薄膜或者多晶硅薄膜上，从连续波形激光束开始处理激光束，(1)以便于利用EO调制器使其脉动并且在脉动时具有任意的随着时间的能量变化；(2)利用光束均匀器、具有任意透射率分布的滤波器和矩形狭缝使得具有任意的空间能量分布；和(3)利用高速旋转的漫射器来除去相干性。这样，有可能实现一种液晶显示设备，其中，在TFT面板装置中包含驱动电路，该驱动电路包括具有与单晶体属性基本相同的多晶硅膜。

公开(公告)号：CN100399172C

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：CN200410095694.8

申请日：2002-10-10

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 本乡干雄 ,  宇都幸雄 ,  野本峰生 ,  中田俊彦 ,  波多野睦子 ,  山口伸也 ,  大仓理

IPC: G02F1/136 ,  G02F1/133 ,  H01L21/334 ,  H01L21/268 ,  H01L29/786

Abstract: 利用物镜集中激光束并且将其辐射到具有1微米或者更小的晶粒大小的非晶硅薄膜或者多晶硅薄膜上，从连续波形激光束开始处理激光束，(1)以便于利用EO调制器使其脉动并且在脉动时具有任意的随着时间的能量变化；(2)利用光束均匀器、具有任意透射率分布的滤波器和矩形狭缝使得具有任意的空间能量分布；和(3)利用高速旋转的漫射器来除去相干性。这样，有可能实现一种液晶显示设备，其中，在TFT面板装置中包含驱动电路，该驱动电路包括具有与单晶体属性基本相同的多晶硅膜。

公开(公告)号：CN1467694A

公开(公告)日：2004-01-14

申请号：CN03149155.3

申请日：2003-02-19

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 菊池广 ,  本乡干雄 ,  波多野睦子 ,  大仓理

IPC: G09G3/00 ,  G09G3/20 ,  H01L29/786

Abstract: 提供一种有源矩阵型显示装置。向构成显示装置的有源矩阵基板(101)的像素部的非晶硅膜(104)选择性地照射激光束(208)来使多晶硅膜(105)改性。然后，在改性的多晶硅膜(105)上形成薄膜晶体管等像素电路。这样，可非常经济地实现包括带有高性能的薄膜晶体管电路的有源矩阵基板的显示装置。

公开(公告)号：CN1310199C

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN03149155.3

申请日：2003-02-19

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 菊池广 ,  本乡干雄 ,  波多野睦子 ,  大仓理

IPC: G09G3/00 ,  G09G3/20 ,  H01L29/786

Abstract: 提供一种有源矩阵型显示装置。向构成显示装置的有源矩阵基板(101)的像素部的非晶硅膜(104)选择性地照射激光束(208)来使多晶硅膜(105)改性。然后，在改性的多晶硅膜(105)上形成薄膜晶体管等像素电路。这样，可非常经济地实现包括带有高性能的薄膜晶体管电路的有源矩阵基板的显示装置。

公开(公告)号：CN1207764C

公开(公告)日：2005-06-22

申请号：CN02154549.9

申请日：2002-10-10

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 本乡干雄 ,  宇都幸雄 ,  野本峰生 ,  中田俊彦 ,  波多野睦子 ,  山口伸也 ,  大仓理

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/268 ,  H01L29/786 ,  H01S3/00

Abstract: 利用物镜集中激光束并且将其辐射到具有1微米或者更小的晶粒大小的非晶硅薄膜或者多晶硅薄膜上，从连续波形激光束开始处理激光束，(1)以便于利用EO调制器使其脉动并且在脉动时具有任意的随着时间的能量变化；(2)利用光束均匀器、具有任意透射率分布的滤波器和矩形狭缝使得具有任意的空间能量分布；和(3)利用高速旋转的漫射器来除去相干性。这样，有可能实现一种液晶显示设备，其中，在TFT面板装置中包含驱动电路，该驱动电路包括具有与单晶体属性基本相同的多晶硅膜。