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发明公开
基板处理方法、基板处理装置以及干燥处理液审中-实审

公开(公告)号：CN117223089A

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN202280028338.0

申请日：2022-03-23

Applicant: 株式会社斯库林集团 , 大金工业株式会社

Inventor： 石津岳明 , 小林健司 , 太田乔 , 並川敬 , 细田一辉

IPC: H01L21/304

Abstract: 基板处理方法具备：对基板的表面供给药液的工序(步骤S11)；在步骤S11之后，对基板的表面供给冲洗液的工序(步骤S12)；在步骤S12之后，使经过加热的干燥处理液接触至基板的表面的工序(步骤S14)；以及在步骤S14之后，从基板的表面去除干燥处理液，由此使基板干燥的工序(步骤S15)。干燥处理液的表面张力比冲洗液的表面张力低。干燥处理液的沸点比冲洗液的沸点高。在步骤S14中接触至基板的表面的干燥处理液的温度为冲洗液的沸点以上且小于干燥处理液的沸点的规定的接触温度。由此，能抑制干燥处理时的图案的倒塌。

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