公开(公告)号：CN117476496A

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202310742703.0

申请日：2023-06-21

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 田村零央 ,  东克荣 ,  玉置康人

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供回吸方法及衬底处理装置。回吸方法是具备喷出喷嘴(5)、处理液供给配管(121)、和虹吸方式的回吸机构(92)的衬底处理装置(100)的回吸方法。喷出喷嘴(5)朝向衬底(W)喷出处理液。处理液供给配管(121)使处理液流通至喷出喷嘴(5)。回吸机构(92)利用虹吸原理进行使残留在喷出喷嘴(5)内的处理液即残留处理液回吸至基准位置(RS)的回吸处理。该回吸方法包括：开始回吸处理的工序；和在回吸处理期间使残留处理液移动的速度即抽吸速度(X)增加的工序。

公开(公告)号：CN109791884A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201780057738.3

申请日：2017-06-08

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 铃木达大 ,  德利宪太郎 ,  西村高志 ,  结城嘉晓 ,  玉置康人 ,  宫路信行 ,  平下友美 ,  内田博章 ,  奥谷洋介

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/304

Abstract: 本发明的目的在于提供抑制衬底的污染的技术。衬底处理装置具备：衬底保持部，其水平地保持衬底；处理液供给部，其向被保持于衬底保持部的衬底供给处理液；和受液部，其围绕衬底保持部的周围，并接收从衬底飞散的处理液。另外，受液部的内周面具有在被保持于衬底保持部的衬底侧露出的多个槽，多个槽各自的延伸方向包含铅垂方向的分量。因此，处理液的液滴易于在槽内合流并因自重而落下。

公开(公告)号：CN109791884B

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN201780057738.3

申请日：2017-06-08

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 铃木达大 ,  德利宪太郎 ,  西村高志 ,  结城嘉晓 ,  玉置康人 ,  宫路信行 ,  平下友美 ,  内田博章 ,  奥谷洋介

IPC: H01L21/304