公开(公告)号：CN119895543A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202380066287.5

申请日：2023-07-11

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 西出基 ,  东克荣 ,  森隆 ,  平田哲也

IPC: H01L21/304

Abstract: 基板处理装置(100)具备基板处理单元(10)、配管(32)、过滤器单元(140)以及泵(114)。基板处理单元(10)处理基板(W)。配管(32)供处理液流通至基板处理单元(10)。过滤器单元(140)配置于配管(32)。过滤器单元(140)具有：过滤器(141)，捕捉处理液中的颗粒。泵(114)将包含处理液的液体加压从而使该液体通过过滤器(141)。泵(114)在基板处理中以处理液相对于过滤器(141)的压力变成第一压力的方式加压处理液。泵(114)在非基板处理中以液体相对于过滤器(141)的压力变成比第一压力还高的第二压力的方式加压液体。

公开(公告)号：CN112017994A

公开(公告)日：2020-12-01

申请号：CN202010457046.1

申请日：2020-05-26

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 东克荣 ,  森隆 ,  滩和成 ,  上前昭司 ,  新庄淳一 ,  秀浦伸二

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明的提供基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置通过第一供给配管供给稀释用液，通过第二供给配管供给药液。通过调整部调整流过第一供给配管的稀释用液的流量。在混合罐中对通过第一供给配管供给的稀释用液和通过第二供给配管供给的药液进行混合。通过浓度计测量稀释用液和药液的混合液中的药液的浓度。通过控制部决定稀释用液的流量的修正量以便通过浓度计测量的浓度成为设定值，将所决定的修正量提供给调整部。调整部根据所提供的修正量，修正流过第一供给配管的稀释用液的流量。

公开(公告)号：CN112017994B

公开(公告)日：2024-07-23

申请号：CN202010457046.1

申请日：2020-05-26

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 东克荣 ,  森隆 ,  滩和成 ,  上前昭司 ,  新庄淳一 ,  秀浦伸二

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明的提供基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置通过第一供给配管供给稀释用液，通过第二供给配管供给药液。通过调整部调整流过第一供给配管的稀释用液的流量。在混合罐中对通过第一供给配管供给的稀释用液和通过第二供给配管供给的药液进行混合。通过浓度计测量稀释用液和药液的混合液中的药液的浓度。通过控制部决定稀释用液的流量的修正量以便通过浓度计测量的浓度成为设定值，将所决定的修正量提供给调整部。调整部根据所提供的修正量，修正流过第一供给配管的稀释用液的流量。