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公开(公告)号:CN111601774B
公开(公告)日:2023-03-28
申请号:CN201880086445.2
申请日:2018-11-27
Applicant: 国立大学法人东北大学 , 株式会社尼康
Abstract: 本发明提供一种ITO颗粒,其满足下述式(1)所示的关系。16×S/P2≤0.330···(1)(式中,S表示TEM拍摄照片中的颗粒面积,P表示该颗粒的外周长度)。
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公开(公告)号:CN108778527B
公开(公告)日:2022-01-21
申请号:CN201780016625.9
申请日:2017-03-07
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B05B17/06 , B05D1/02 , B05D1/06 , B05D1/32 , B05D3/10 , B05D5/12 , B05D7/24 , G03F7/20 , H01B13/00 , H01L21/027
Abstract: 本发明的产生包含微粒子(NP)的雾气(MT)的雾气产生装置(MG1)包含:容器(30a),其保持包含微粒子(NP)的分散液(DIL);第1振动部(32a),其通过对容器(30a)内的分散液(DIL)赋予第1频率的振动,而抑制微粒子(NP)于分散液(DIL)中的凝集;以及第2振动部(34a),其对容器(30a)内的分散液(DIL)赋予高于第1频率、且用以自分散液(DIL)的表面产生包含微粒子(NP)的雾气(MT)的第2频率的振动。
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