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公开(公告)号：CN101791781A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN201010144082.9
申请日：2000-12-19
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B24B37/04 , G01B11/00 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/013 , B24B49/12 , G01B11/06 , H01L21/30625 , H01L21/67253
Abstract: 本发明涉及抛光状态监视方法、抛光状态监视装置、抛光设备、加工晶片、半导体器件制造方法和半导体器件。在晶片的抛光以前，把具有与晶片一样的形状和尺寸的反射物体替换晶片固定在抛光头上。在抛光底盘中的窗口和反射物体之间放入抛光剂，并且用与晶片的抛光期间施加的压力一样的压力把反射物体压向抛光底盘。在这样的状况下，用从光源发射的探测光经由窗口照射反射物体，并且从传感器获得反射光的光谱强度作为参考光谱。在晶片的抛光期间，从传感器陆续获得从晶片反射的光的光谱强度作为一些测量光谱。测定这些测量光谱对上述的参考光谱的强度比率，并根据这样的强度比率监视晶片的抛光状态。
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公开(公告)号：CN103607585A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201310529721.7
申请日：2010-01-18
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: H04N13/398 , G02B27/0172 , G02B27/22 , G02B2027/0134 , G02B2027/014 , G02B2027/0178 , H04N13/122 , H04N13/128 , H04N13/261 , H04N13/305 , H04N13/31 , H04N13/383
Abstract: 本发明能消除立体图像中的画面的右侧及左侧的端部部分的不自然。本发明提供了图像处理装置（10），该图像处理装置（10）为用于将二维图像立体地显示，具备：生成将二维图像在显示区域内向左右偏移而得到的左侧图像及右侧图像的生成部（20）；将从显示区域的右端起在规定的范围内显示的右端图像添加在左侧图像的右侧的右端处理部（22）；将从显示区域的左端起在规定的范围内显示的左端图像添加在右侧图像左侧的左端处理部（24）；将添加了右端图像的左侧图像对用户的左眼输出、将添加了左端图像的右侧图像对用户的右眼输出的输出部（30）。
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公开(公告)号：CN1500290A
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：CN00804131.8
申请日：2000-12-19
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/304 , B24B37/04 , G01B11/00
CPC classification number: B24B37/013 , B24B49/12 , G01B11/06 , H01L21/30625 , H01L21/67253
Abstract: 在晶片4的抛光以前，把具有与晶片4一样的形状和尺寸的反射物体替换晶片4固定在抛光头2上。在抛光底盘13中的窗口15和反射物体之间放入抛光剂5，并且用与晶片4的抛光期间施加的压力一样的压力把反射物体压向抛光底盘13。在这样的状况下，用从光源31发射的探测光经由窗口15照射反射物体，并且从传感器43获得反射光的光谱强度作为参考光谱。在晶片4的抛光期间，从传感器43陆续获得从晶片4反射的光的光谱强度作为一些测量光谱。测定这些测量光谱对上述的参考光谱的强度比率，并根据这样的强度比率监视晶片4的抛光状态。
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公开(公告)号：CN102293003A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201080005153.5
申请日：2010-01-14
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: H04N13/261 , G02B27/2221
Abstract: 本发明提供一种图像处理装置(10)，该图像处理装置(10)是用于能够立体地显示2维图像的图像处理装置(10)，具有：生成部(20)，该生成部(20)生成将2维图像在显示区域内向左右偏移而得到的左侧图像及右侧图像；输出部(30)，该输出部(30)对用户的左眼输出左侧图像，对用户的右眼输出右侧图像，生成部(20)生成将2维图像在显示区域内向左右偏移小于等于瞳孔间距离的距离的左侧图像及右侧图像。
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公开(公告)号：CN102293001A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201080005065.5
申请日：2010-01-18
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: H04N13/398 , G02B27/0172 , G02B27/22 , G02B2027/0134 , G02B2027/014 , G02B2027/0178 , H04N13/122 , H04N13/128 , H04N13/261 , H04N13/305 , H04N13/31 , H04N13/383
Abstract: 本发明能消除立体图像中的画面的右侧及左侧的端部部分的不自然。本发明提供了图像处理装置(10)，该图像处理装置(10)为用于将二维图像立体地显示，具备：生成将二维图像在显示区域内向左右偏移而得到的左侧图像及右侧图像的生成部(20)；将从显示区域的右端起在规定的范围内显示的右端图像添加在左侧图像的右侧的右端处理部(22)；将从显示区域的左端起在规定的范围内显示的左端图像添加在右侧图像左侧的左端处理部(24)；将添加了右端图像的左侧图像对用户的左眼输出、将添加了左端图像的右侧图像对用户的右眼输出的输出部(30)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1150601C
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN00802085.X
申请日：2000-03-14
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/304 , B24B37/04
CPC classification number: B24B37/205 , B24B37/013 , B24B49/04 , B24B49/12
Abstract: 透明窗板(31)装配在制造于抛光垫(21)中的孔中。透明窗板(31)的上部与用作抛光垫(21)的抛光表面的上部之间存在距离a。抛光时，支撑晶片的抛光头借助于加压机构压到抛光垫上，抛光垫(21)和透明窗板(31)被压缩。然而，所说距离a在一基准值之上保持恒定。透明窗板(31)的上部从抛光体(21)的上部凹下，因此，在修整期间，透明窗板(31)的表面不会被划伤，所以可以延长抛光垫的寿命。
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公开(公告)号：CN102714030B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201080045445.1
申请日：2010-09-17
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G09G3/003 , G09G5/363 , G09G5/393 , G09G2340/0478 , H04N13/111 , H04N13/305 , H04N13/351
Abstract: 本发明提供图像显示装置，是将n/2组右眼用图像及左眼用图像朝向各自对应的视点来显示的图像显示装置，包括：多视点图像生成部(14)，其接收与预先设定的2个视点对应的右图像及左图像，并通过将所接收的右图像及左图像的整体分别位移，生成相对于n/2个视点的右眼用图像及相对于n/2个视点的左眼用图像；以及显示部(50)，将上述多视点图像生成部(14)生成的右眼用图像及左眼用图像朝向各自对应的视点进行显示。
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公开(公告)号：CN102293001B
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201080005065.5
申请日：2010-01-18
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: H04N13/398 , G02B27/0172 , G02B27/22 , G02B2027/0134 , G02B2027/014 , G02B2027/0178 , H04N13/122 , H04N13/128 , H04N13/261 , H04N13/305 , H04N13/31 , H04N13/383
Abstract: 本发明能消除立体图像中的画面的右侧及左侧的端部部分的不自然。本发明提供了图像处理装置(10)，该图像处理装置(10)为用于将二维图像立体地显示，具备：生成将二维图像在显示区域内向左右偏移而得到的左侧图像及右侧图像的生成部(20)；将从显示区域的右端起在规定的范围内显示的右端图像添加在左侧图像的右侧的右端处理部(22)；将从显示区域的左端起在规定的范围内显示的左端图像添加在右侧图像左侧的左端处理部(24)；将添加了右端图像的左侧图像对用户的左眼输出、将添加了左端图像的右侧图像对用户的右眼输出的输出部(30)。
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公开(公告)号：CN101791781B
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201010144082.9
申请日：2000-12-19
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B24B37/04 , G01B11/00 , H01L21/304
Abstract: 本发明涉及抛光状态监视方法、抛光状态监视装置、抛光设备、加工晶片、半导体器件制造方法和半导体器件。在晶片的抛光以前，把具有与晶片一样的形状和尺寸的反射物体替换晶片固定在抛光头上。在抛光底盘中的窗口和反射物体之间放入抛光剂，并且用与晶片的抛光期间施加的压力一样的压力把反射物体压向抛光底盘。在这样的状况下，用从光源发射的探测光经由窗口照射反射物体，并且从传感器获得反射光的光谱强度作为参考光谱。在晶片的抛光期间，从传感器陆续获得从晶片反射的光的光谱强度作为一些测量光谱。测定这些测量光谱对上述的参考光谱的强度比率，并根据这样的强度比率监视晶片的抛光状态。
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公开(公告)号：CN102714030A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201080045445.1
申请日：2010-09-17
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G09G3/003 , G09G5/363 , G09G5/393 , G09G2340/0478 , H04N13/111 , H04N13/305 , H04N13/351
Abstract: 本发明提供图像显示装置，是将n/2组右眼用图像及左眼用图像朝向各自对应的视点来显示的图像显示装置，包括：多视点图像生成部(14)，其接收与预先设定的2个视点对应的右图像及左图像，并通过将所接收的右图像及左图像的整体分别位移，生成相对于n/2个视点的右眼用图像及相对于n/2个视点的左眼用图像；以及显示部(50)，将上述多视点图像生成部(14)生成的右眼用图像及左眼用图像朝向各自对应的视点进行显示。
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