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公开(公告)号:CN105684108A
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201480059115.6
申请日:2014-09-04
CPC classification number: H01F5/06 , G03F7/70758 , H01F5/00 , H01F7/08 , H01F27/2847 , H01F2027/2857 , H02K3/04 , H02K3/47 , H02K41/031
Abstract: 一种构成X轴线性马达的固定件并通过通电来产生磁场的电枢线圈(60)具有:带状的导电层(62a),由铜形成,卷绕于规定的绕线轴;带状的绝缘层(62b),设于导电层(62a)的相对的面部之间,使相对的导电层(62a)彼此间电气绝缘;粘接层(62c),将导电层(62a)的相对的面之间隔着绝缘层(62b)粘接起来。
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公开(公告)号:CN1507649A
公开(公告)日:2004-06-23
申请号:CN02804844.X
申请日:2002-02-13
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , G03F1/14 , H01L21/68
CPC classification number: G03F7/707 , G03F7/70833 , H01L21/6838
Abstract: 在本发明的保持装置中,标线片保持座(18)备有第1吸引部(63)、第2吸引部(64)、与吸引装置相连的细孔(70a)、与吸引装置(72)相连的细孔(70b)。第1吸引部(63)与标线片(R)的下面(Ra)中的、具有规定面精度的精度保证区域(AR1)相对。第2吸引部(64)与精度保证区域(AR1)以外的精度非保证区域(AR2)相对。吸引装置用于吸引标线片(R)的下面(Ra)与第1吸引部(63)之间空间的气体。吸引装置(72)用于吸引标线片(R)的下面(Ra)与第2吸引部(64)之间空间的气体。这样,不使精度保证区域的面精度恶化,可稳定地保持住标线片。
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公开(公告)号:CN105659339A
公开(公告)日:2016-06-08
申请号:CN201480049039.0
申请日:2014-09-04
IPC: H01F7/06 , H01L21/027 , H02K41/02
CPC classification number: H01F7/08 , H01F5/00 , H01F7/06 , H01F27/16 , H02K3/24 , H02K9/19 , H02K9/22 , H02K41/02 , H02K2201/18
Abstract: 第一电磁线圈(30)的冷却结构,包括:第一电磁线圈(30),在内部形成有沿预定轴线(Z)方向延伸的空间(32);冷却部件(20),安装第一电磁线圈(30)的预定轴线(Z)方向的端面(30e)上并在内部形成流体的流路;以及入口配管(22)和出口配管(27),在空间(52)的内部分别与冷却部件(20)的流路的入口(21)和出口(26)连接,并通过空间(32)延伸到电磁线圈(30)的外部。
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