基板温度控制装置用工作台

    公开(公告)号:CN101689481A

    公开(公告)日:2010-03-31

    申请号:CN200880021793.8

    申请日:2008-03-28

    CPC classification number: H01L21/67103

    Abstract: 一种使用陶瓷以外的材料作为板片的材料,同时防止板片的热变形,由此低成本且响应性良好的基板温度控制装置用工作台。该基板温度控制装置用工作台是在控制基板温度的基板温度控制装置中用于载置基板的工作台,其特征在于,具备:具有与基板对置的第一面及与该第一面相反侧的第二面的板片;粘接于板片的第二面的面状的加热器,在板片的第一面以第一厚度实施有表面处理,在板片的第二面的规定区域,以比第一厚度薄的第二厚度实施有表面处理或未实施表面处理。

    基板温度控制装置用工作台

    公开(公告)号:CN101689481B

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN200880021793.8

    申请日:2008-03-28

    CPC classification number: H01L21/67103

    Abstract: 一种使用陶瓷以外的材料作为板片的材料,同时防止板片的热变形,由此低成本且响应性良好的基板温度控制装置用工作台。该基板温度控制装置用工作台是在控制基板温度的基板温度控制装置中用于载置基板的工作台,其特征在于,具备:具有与基板对置的第一面及位于该第一面的相反侧的第二面的板片;粘接于板片的第二面的面状的加热器,在板片的第一面以第一厚度实施有表面处理,在板片的第二面的规定区域,以比第一厚度薄的第二厚度实施有表面处理或未实施表面处理。

    等离子体火炬用绝缘导件及交换部件单元

    公开(公告)号:CN106660158A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201580035371.6

    申请日:2015-12-04

    Abstract: 绝缘导件被用于具有电极和喷嘴的等离子切割用的等离子体火炬。电极被插入喷嘴。绝缘导件为树脂制,并将电极和喷嘴连结。绝缘导件具备:第一内周面(71)、第二内周面(73)、连通道(703)、耐热覆膜(707)。第一内周面形成于绝缘导件的内部。第二内周面形成于绝缘导件的内部,并具有小于第一内周面的内径。连通道将第一内周面的内部的空间和外部连结,并在相对于绝缘导件的轴向倾斜的方向上延伸。耐热覆膜形成在第一内周面上。

    激光加工机及激光加工机用的喷嘴单元

    公开(公告)号:CN118946428A

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202380024238.5

    申请日:2023-04-10

    Abstract: 喷嘴单元具备第一喷嘴、第二喷嘴、第二吹出口、第三喷嘴以及第三吹出口。第一喷嘴包含第一吹出口。第一吹出口朝向工件吹出辅助气体。第二吹出口为了从第一喷嘴和工件之间除去遮光液而朝向工件吹出内保护气体。第三吹出口为了从第一喷嘴和工件之间除去遮光液而朝向工件吹出外保护气体。第三吹出口相对于工件的高度高于第二吹出口相对于工件的高度。第二吹出口相对于工件的高度高于第一吹出口相对于工件的高度。

    等离子体火炬用绝缘导件及交换部件单元

    公开(公告)号:CN106660158B

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201580035371.6

    申请日:2015-12-04

    Abstract: 绝缘导件被用于具有电极和喷嘴的等离子切割用的等离子体火炬。电极被插入喷嘴。绝缘导件为树脂制,并将电极和喷嘴连结。绝缘导件具备:第一内周面(71)、第二内周面(73)、连通道(703)、耐热覆膜(707)。第一内周面形成于绝缘导件的内部。第二内周面形成于绝缘导件的内部,并具有小于第一内周面的内径。连通道将第一内周面的内部的空间和外部连结,并在相对于绝缘导件的轴向倾斜的方向上延伸。耐热覆膜形成在第一内周面上。

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