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发明公开
浓度控制系统、浓度控制方法以及程序存储介质审中-实审

公开(公告)号：CN114545984A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202111314870.2

申请日：2021-11-08

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 瀧尻兴太郎 , 高宗央二郎

IPC: G05D11/13

Abstract: 本发明为了提供相对于腔室内的气体的实际的分压而时间延迟小、得到准确的推定值、能实现比以往好的响应性及精度的分压控制的浓度控制系统，具备：流量控制装置(1)，设置在向腔室(CN)内供给气体的供给流道(SL)上，以使流过该供给流道(SL)的气体的流量成为输入的设定流量的方式进行控制；分压测定装置(2)，测定腔室内的气体的分压；观测器(3)，具备推定腔室(CN)内的气体的状态的模型(31)，该模型(31)被输入流入腔室的气体的流入流量及分压测定装置(2)的测定分压，输出腔室(CN)内的气体的推定分压；控制器(4)，基于设定分压及观测器(3)输出的腔室(CN)内的气体的推定分压，对流量控制装置(1)设定设定流量。

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