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公开(公告)号：CN118578278A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202311813552.X
申请日：2023-12-25
Abstract: 提供一种抛光垫(1)和这种晶圆(5)的凹槽抛光方法，尽可能减少具有凹槽(7)的晶圆(5)的浪费。本发明的抛光垫(1)，形成为以第1旋转轴心(P)为中心的圆环状。抛光垫(1)具有第1面(1a)、第2面(1b)、在外周侧连接第1面(1a)和第2面(1b)的抛光面(3)。抛光垫(1)，通过一边对形成于圆盘状晶圆(5)的指示晶轴的方向的凹槽(7)按压抛光面(3)，一边围绕第1旋转轴心(P)旋转，从而抛光凹槽(7)。抛光面(3)由磨料体形成，其含有由粘合剂树脂和纤维构成，形成有多个气孔的母材、和保持在母材内或气孔内的磨粒。
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公开(公告)号：CN118578276A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202311799061.4
申请日：2023-12-25
Abstract: 抛光垫与晶圆抛光方法。提供在抛光圆盘形状的晶圆(3)的外周边缘部(3d、3e)时，抛光效率更高，同时更难产生抛光不良，并且抛光后的晶圆(3)的洗净性优异的抛光垫(1)。本发明的抛光垫(1)用于抛光圆盘形状的晶圆(3)的外周边缘部(3d、3e)。抛光垫(1)的抛光面由研磨体构成，研磨体包含母材和磨粒。母材包含粘合剂树脂和纤维，形成有多个气孔。磨粒保持于母材内或者气孔内。磨粒为金刚石粒子。密度为0.58～0.81g/cm3，邵氏硬度为16～27，弹性模量为21.5～37.5kgf/mm2。
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公开(公告)号：CN118578279A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410197985.5
申请日：2024-02-22
Abstract: 提供一种抛光垫(1)和这种晶圆(5)的凹槽抛光方法，尽可能减少具有凹槽(7)的晶圆(5)的浪费。本发明的抛光垫(1)，形成为以第1旋转轴心(P)为中心的圆环状。抛光垫(1)具有第1面(1a)、第2面(1b)、在外周侧连接第1面(1a)和第2面(1b)的抛光面(3)。抛光垫(1)，通过一边对形成于圆盘状晶圆(5)的指示晶轴的方向的凹槽(7)按压抛光面(3)，一边围绕第1旋转轴心(P)旋转，从而抛光凹槽(7)。抛光面(3)由磨料体形成，其含有由粘合剂树脂和纤维构成，形成有多个气孔的母材、和保持在母材内或气孔内的磨粒。
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公开(公告)号：CN118578277A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410197893.7
申请日：2024-02-22
Abstract: 抛光垫与晶圆抛光方法。提供在抛光圆盘形状的晶圆(3)的外周边缘部(3d、3e)时，抛光效率更高，同时更难产生抛光不良，并且抛光后的晶圆(3)的洗净性优异的抛光垫(1)。本发明的抛光垫(1)用于抛光圆盘形状的晶圆(3)的外周边缘部(3d、3e)。抛光垫(1)的抛光面由研磨体构成，研磨体包含母材和磨粒。母材包含粘合剂树脂和纤维，形成有多个气孔。磨粒保持于母材内或者气孔内。磨粒为金刚石粒子。密度为0.58～0.81g/cm3，邵氏硬度为16～27，弹性模量为21.5～37.5N/mm2。
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