公开(公告)号：CN113302256B

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN201980087413.9

申请日：2019-12-27

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 文元均 ,  金宰贤 ,  申圭淳 ,  朴钟大 ,  李敏键 ,  陈成勋 ,  李玖和 ,  赵京淑 ,  柳在鸿

IPC: C09K3/14 ,  C09G1/04

Abstract: 本发明提供一种可以通过对研磨粒子的表面进行改性而具有高研磨速度、缺陷或划痕较少的优秀研磨品质的化学‑机械研磨粒子以及包含所述研磨粒子的研磨浆料组合物。

公开(公告)号：CN113302256A

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN201980087413.9

申请日：2019-12-27

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 文元均 ,  金宰贤 ,  申圭淳 ,  朴钟大 ,  李敏键 ,  陈成勋 ,  李玖和 ,  赵京淑 ,  柳在鸿

IPC: C09K3/14 ,  C09G1/04

Abstract: 本发明提供一种可以通过对研磨粒子的表面进行改性而具有高研磨速度、缺陷或划痕较少的优秀研磨品质的化学‑机械研磨粒子以及包含所述研磨粒子的研磨浆料组合物。