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公开(公告)号：CN105986289B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201610132738.2
申请日：2016-03-09
Applicant: 株式会社东芝 , 国立大学法人东京工业大学
Abstract: 本发明的实施方式涉及电镀方法和电镀装置。通过上述电镀方法，即使阴极的电流密度为高电流密度，被镀膜的膜厚分布也小，能够大幅地提高镀覆的成膜速度。根据上述电镀方法，其是通过对于设置在反应槽中的阳极和阴极使所述阴极的电位为负从而在阴极表面上生成金属膜的电镀方法，其中，在所述反应槽中混合并收容至少含有被镀金属离子、电解质和表面活性剂的镀液以及超临界流体，以由所述被镀金属离子还原时的阴极极化曲线得到的极化电阻变得比不含有所述超临界流体时大的方式设定超临界流体浓度和阴极电流密度。
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公开(公告)号：CN105986289A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201610132738.2
申请日：2016-03-09
Applicant: 株式会社东芝 , 国立大学法人东京工业大学
Abstract: 本发明的实施方式涉及电镀方法和电镀装置。通过上述电镀方法，即使阴极的电流密度为高电流密度，被镀膜的膜厚分布也小，能够大幅地提高镀覆的成膜速度。根据上述电镀方法，其是通过对于设置在反应槽中的阳极和阴极使所述阴极的电位为负从而在阴极表面上生成金属膜的电镀方法，其中，在所述反应槽中混合并收容至少含有被镀金属离子、电解质和表面活性剂的镀液以及超临界流体，以由所述被镀金属离子还原时的阴极极化曲线得到的极化电阻变得比混合所述超临界流体之前大的所述超临界流体浓度和阴极电流密度施加电流。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114762980A
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202210029869.3
申请日：2022-01-12
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 一种保持装置、搬运装置及保持装置的控制方法。实施方式的保持装置具备多个夹持爪、夹持爪开闭部、第一传感器和控制部。第一传感器检测出夹持爪承受的载荷。多个夹持爪中的至少一个夹持爪具备爪构件、第二传感器和反力赋予部。爪构件构成为能够沿着夹持爪的长度方向进行位移。第二传感器检测出爪构件的位移量。反力赋予部对爪构件赋予与爪构件进行了位移的量对应的反力。控制部在位移量为阈值以下的情况下基于第二传感器的检测值来进行控制，在位移量超过阈值的情况下基于第一传感器的检测值来进行控制。
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公开(公告)号：CN114762976B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202210029920.0
申请日：2022-01-12
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本发明的实施方式涉及保持装置以及输送装置。实施方式的保持装置具有支承部件、第一保持单元、第二保持单元、控制部。第一保持单元可转动地支承于支承部件，具有第一保持部。第二保持单元相对于第一保持单元独立地且可转动地支承于支承部件，具有第二保持部。控制部控制第一保持单元以及第二保持单元的动作。控制部进行如下控制：通过在第一保持部和第二保持部朝向相互不同的方向的状态下使第一保持单元以及第二保持单元转动，切换将第一保持单元以及第二保持单元哪一方用于保持对象物的保持，并且通过使第一保持单元以及第二保持单元至少一方相对于支承部件进行转动，变更相对于支承部件的姿态。
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公开(公告)号：CN114762980B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202210029869.3
申请日：2022-01-12
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 一种保持装置、搬运装置及保持装置的控制方法。实施方式的保持装置具备多个夹持爪、夹持爪开闭部、第一传感器和控制部。第一传感器检测出夹持爪承受的载荷。多个夹持爪中的至少一个夹持爪具备爪构件、第二传感器和反力赋予部。爪构件构成为能够沿着夹持爪的长度方向进行位移。第二传感器检测出爪构件的位移量。反力赋予部对爪构件赋予与爪构件进行了位移的量对应的反力。控制部在位移量为阈值以下的情况下基于第二传感器的检测值来进行控制，在位移量超过阈值的情况下基于第一传感器的检测值来进行控制。
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公开(公告)号：CN115703239A
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202210966290.X
申请日：2022-08-12
Applicant: 株式会社东芝
IPC: B25J9/16
Abstract: 提供能够实现与其他装置的更高速的通信的机械手、搬运系统、机械手控制装置、机械手的控制方法以及存储介质。机械手把持物体。机械手包括第1通信部、第2通信部及手控制部。第1通信部与第1装置进行关于把持动作的把持数据的通信。第2通信部能够比第1通信部更高速地通信，与第2装置进行用于开始把持动作的开始通知以及表示把持动作的结束的结束通知的通信。手控制部控制把持动作。手控制部根据输入到第2通信部的开始通知，开始基于输入到第1通信部的把持数据的把持动作。手控制部对应于把持动作的结束，执行从第2通信部向第2装置的结束通知的输出，并执行把持动作的结果或者机械手的状态中的至少任一个从第1通信部向第1装置的输出。
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公开(公告)号：CN114762976A
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202210029920.0
申请日：2022-01-12
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本发明的实施方式涉及保持装置以及输送装置。实施方式的保持装置具有支承部件、第一保持单元、第二保持单元、控制部。第一保持单元可转动地支承于支承部件，具有第一保持部。第二保持单元相对于第一保持单元独立地且可转动地支承于支承部件，具有第二保持部。控制部控制第一保持单元以及第二保持单元的动作。控制部进行如下控制：通过在第一保持部和第二保持部朝向相互不同的方向的状态下使第一保持单元以及第二保持单元转动，切换将第一保持单元以及第二保持单元哪一方用于保持对象物的保持，并且通过使第一保持单元以及第二保持单元至少一方相对于支承部件进行转动，变更相对于支承部件的姿态。
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