公开(公告)号：CN117916897A

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202380013403.7

申请日：2023-03-20

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝能源系统株式会社

Inventor： 保西祐弥 ,  芝崎聪一郎 ,  中川直之 ,  水野幸民 ,  山崎六月 ,  西田靖孝 ,  山本和重 ,  朝仓太郎

IPC: H01L31/0336 ,  H01L31/072

Abstract: 一种制造太阳能电池的方法，包括在基底上形成p电极；在p电极上形成含有氧化亚铜和/或氧化亚铜的复合氧化物作为主要成分的膜；以及将含有氧化亚铜和/或氧化亚铜的复合氧化物作为主要成分的膜氧化。氧化的氧分压为100[Pa]以上且小于5000[Pa]。氧化的温度为100[℃]以上且300[℃]以下。氧化的持续时间为1[秒]以上且90[分钟]以下。

公开(公告)号：CN115398649B

公开(公告)日：2025-02-11

申请号：CN202180019308.9

申请日：2021-09-15

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝能源系统株式会社

Inventor： 保西祐弥 ,  芝崎聪一郎 ,  中川直之 ,  水野幸民 ,  山崎六月 ,  西田靖孝 ,  山本和重 ,  朝仓太郎

IPC: H10F77/12 ,  H10F71/00 ,  H10F10/161

Abstract: 根据实施方式所述的层叠薄膜的制造方法，包括在基底上形成p‑电极，在p‑电极上形成主要含有氧化亚铜和/或氧化亚铜的复合氧化物的膜，以及在主要含有氧化亚铜和/或氧化亚铜的复合氧化物的膜上进行氧化处理。氧化处理中的臭氧分压为5[Pa]以上且200[Pa]以下，氧化处理中的处理温度为273[K]以上且323[K]以下，氧化处理中的处理时间为1秒以上且60分钟以下。

公开(公告)号：CN115398649A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202180019308.9

申请日：2021-09-15

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝能源系统株式会社

Inventor： 保西祐弥 ,  芝崎聪一郎 ,  中川直之 ,  水野幸民 ,  山崎六月 ,  西田靖孝 ,  山本和重 ,  朝仓太郎

IPC: H01L31/032 ,  H01L31/0336 ,  H01L31/0725

Abstract: 根据实施方式所述的层叠薄膜的制造方法，包括在基底上形成p‑电极，在p‑电极上形成主要含有氧化亚铜和/或氧化亚铜的复合氧化物的膜，以及在主要含有氧化亚铜和/或氧化亚铜的复合氧化物的膜上进行氧化处理。氧化处理中的臭氧分压为5[Pa]以上且200[Pa]以下，氧化处理中的处理温度为273[K]以上且323[K]以下，氧化处理中的处理时间为1秒以上且60分钟以下。