公开(公告)号：CN106062534A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201580011732.3

申请日：2015-09-24

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 高木茂行 ,  角野努 ,  盐见康友 ,  前川阳 ,  草场美幸 ,  长谷川裕 ,  麻柄隆

IPC: G01N21/3504

CPC classification number: G01N21/3504 ,  G01N21/39 ,  G01N33/497 ,  G01N2021/399 ,  G01N2201/13

Abstract: 气体分析方法，对被导入到气室的采样气体入射被调谐为与所述采样气体中包含的对象气体的一个吸收谱线对应的波长的红外光，测定与透射所述气室后的所述红外光的透射光的强度对应的采样信号值，将所述气室内的所述采样气体排气后用基准气体进行置换，测定与透射所述基准气体后的所述红外光的透射光的强度对应的基准信号值，根据所述采样信号值相对于所述基准信号值的比率，计算所述一个吸收谱线上的气体浓度。

公开(公告)号：CN106062533A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201580011087.5

申请日：2015-09-24

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 草场美幸 ,  前川阳 ,  高木茂行 ,  长谷川裕 ,  麻柄隆 ,  角野努 ,  盐见康友

IPC: G01N21/3504 ,  G01N21/39

CPC classification number: G01N21/3504 ,  G01N21/0332 ,  G01N21/05 ,  G01N21/39 ,  G01N33/004 ,  G01N33/497 ,  G01N2021/399 ,  G01N2201/0612

Abstract: 呼气测量装置具有光源、气室和检测部。光源放出红外光。气室供含有13CO2和12CO2的呼气导入，具有供所述红外光入射的入射面和供所述红外光透射的出射面。气室的室长为2.5cm以上且20cm以下。检测部测量：所述13CO2的吸收线中在所述波段内的第一波长下的来自所述出射面的透射光的第一透射率和所述12CO2的吸收线中在所述波段内的第二波长下的来自所述出射面的透射光的第二透射率，能够分别计算所述13CO2和所述12CO2的浓度。

公开(公告)号：CN104934349A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201510094685.5

申请日：2015-03-03

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 麻柄隆

IPC: H01L21/67 ,  G06Q10/06

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G05B2219/32177 ,  G05B2219/32179 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/22

Abstract: 本发明提供一种制造装置管理系统以及制造装置管理方法。实施方式所涉及的制造装置管理系统包括不合格率检测部、明显误差检验部、以及不合格判定部。所述不合格率检测部提取具有第1不合格率的第1装置通过履历。所述不合格率检测部检测从所述第1装置通过履历除去了具有第2不合格率的第2装置通过履历的第3不合格率。所述明显误差检验部算出明显误差检验值。所述不合格判定部基于所述第3不合格率和所述明显误差检验值提取第3装置通过履历。

公开(公告)号：CN102693924A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201210060258.1

申请日：2012-03-08

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 小林纱由美 ,  浪冈保男 ,  麻柄隆 ,  山田涉

IPC: H01L21/66

Abstract: 根据一个实施形态，本发明提供具备抽样检查部、检查插补部、等级划分部以及信息制作部的检查系统。抽样检查部收集通过抽样检查获得的元件的特性值。检查插补部使用插补法求出没进行过上述抽样检查的未检查的元件的特性值。等级划分部根据上述收集到的通过抽样检查获得的元件的特性值和通过上述检查插补部求出的元件的特性值按等级制作与元件组有关的信息。信息制作部根据与上述等级和上述元件组有关的信息制作所希望的信息。

公开(公告)号：CN104934349B

公开(公告)日：2018-02-02

申请号：CN201510094685.5

申请日：2015-03-03

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 麻柄隆

IPC: H01L21/67 ,  G06Q10/06

CPC classification number: G05B19/41875 ,  G05B2219/32177 ,  G05B2219/32179 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/22

Abstract: 本发明提供一种制造装置管理系统以及制造装置管理方法。实施方式所涉及的制造装置管理系统包括不合格率检测部、明显误差检验部、以及不合格判定部。所述不合格率检测部提取具有第1不合格率的第1装置通过履历。所述不合格率检测部检测从所述第1装置通过履历除去了具有第2不合格率的第2装置通过履历的第3不合格率。所述明显误差检验部算出明显误差检验值。所述不合格判定部基于所述第3不合格率和所述明显误差检验值提取第3装置通过履历。

公开(公告)号：CN106170690A

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201580011075.2

申请日：2015-09-24

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 角野努 ,  高木茂行 ,  盐见康友 ,  前川阳 ,  草场美幸 ,  长谷川裕 ,  麻柄隆 ,  村冈功

IPC: G01N21/3504

CPC classification number: G01N21/3504 ,  A61B5/0059 ,  A61B5/082 ,  A61B5/0833 ,  A61B5/0836 ,  A61B5/087 ,  G01N33/497 ,  G01N2033/4975 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/12 ,  H01S5/22 ,  H01S5/3402

Abstract: 呼气分析装置具有：光源，放出包括相对丙酮的吸收线在内的波长带域的红外光；气室，导入有包括呼气的样本气体，并被射入上述红外光；检测部，接受从上述气室射出的透射光，并输出与丙酮排出量对应的样本信号值；以及数据处理部，基于上述样本信号值，预先决定相对丙酮排出量的脂肪氧化量依存性的近似式，相对各个样本信号值，使用上述近似式计算各个脂肪氧化量。在将上述丙酮排出量(微升/分)设为x时，上述脂肪氧化量(毫克/分)y以下述式y＝Ax+B(其中，A以及B为常数)被近似。

公开(公告)号：CN102693924B

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201210060258.1

申请日：2012-03-08

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 小林纱由美 ,  浪冈保男 ,  麻柄隆 ,  山田涉

IPC: H01L21/66

Abstract: 根据一个实施形态，本发明提供具备抽样检查部、检查插补部、等级划分部以及信息制作部的检查系统。抽样检查部收集通过抽样检查获得的元件的特性值。检查插补部使用插补法求出没进行过上述抽样检查的未检查的元件的特性值。等级划分部根据上述收集到的通过抽样检查获得的元件的特性值和通过上述检查插补部求出的元件的特性值按等级制作与元件组有关的信息。信息制作部根据与上述等级和上述元件组有关的信息制作所希望的信息。