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公开(公告)号：CN102693924A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201210060258.1
申请日：2012-03-08
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/66
Abstract: 根据一个实施形态，本发明提供具备抽样检查部、检查插补部、等级划分部以及信息制作部的检查系统。抽样检查部收集通过抽样检查获得的元件的特性值。检查插补部使用插补法求出没进行过上述抽样检查的未检查的元件的特性值。等级划分部根据上述收集到的通过抽样检查获得的元件的特性值和通过上述检查插补部求出的元件的特性值按等级制作与元件组有关的信息。信息制作部根据与上述等级和上述元件组有关的信息制作所希望的信息。
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公开(公告)号：CN103325390B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201310085419.7
申请日：2013-03-18
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 磁头用滑块的检查方法及磁头的制造方法。实施方式的检查方法是被研磨处理、且配置为m行n列(m、n为正整数)的矩阵状的多个滑块的检查方法，其具备：第一步骤，检查滑块S[i，j](1≤i≤m，1≤j≤n)中的一行滑块S[1，j]的特性；以及第二步骤，参照上述研磨处理的结果，根据上述特性将上述滑块S[1，1]～S[1，n]分别分类到多个等级的任一个等级，并赋予与该等级建立了对应的系数A(j)。上述检查方法还具备如下的第三步骤：根据使用了从第k列的A(k)到第k+t-1列的A(k+t-1)(1≤k+t-1≤n)的运算结果，将滑块S[1，s](k≤s≤k+t-1)进行分类。
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公开(公告)号：CN103325390A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310085419.7
申请日：2013-03-18
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 磁头用滑块的检查方法及磁头的制造方法。实施方式的检查方法是被研磨处理、且配置为m行n列(m、n为正整数)的矩阵状的多个滑块的检查方法，其具备：第一步骤，检查滑块S[i，j](1≤i≤m，1≤j≤n)中的一行滑块S[1，j]的特性；以及第二步骤，参照上述研磨处理的结果，根据上述特性将上述滑块S[1，1]～S[1，n]分别分类到多个等级的任一个等级，并赋予与该等级建立了对应的系数A(j)。上述检查方法还具备如下的第三步骤：根据使用了从第k列的A(k)到第k+t-1列的A(k+t-1)(1≤k+t-1≤n)的运算结果，将滑块S[1，s](k≤s≤k+t-1)进行分类。
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公开(公告)号：CN102693924B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201210060258.1
申请日：2012-03-08
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/66
Abstract: 根据一个实施形态，本发明提供具备抽样检查部、检查插补部、等级划分部以及信息制作部的检查系统。抽样检查部收集通过抽样检查获得的元件的特性值。检查插补部使用插补法求出没进行过上述抽样检查的未检查的元件的特性值。等级划分部根据上述收集到的通过抽样检查获得的元件的特性值和通过上述检查插补部求出的元件的特性值按等级制作与元件组有关的信息。信息制作部根据与上述等级和上述元件组有关的信息制作所希望的信息。
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