公开(公告)号：CN106486528B

公开(公告)日：2019-11-01

申请号：CN201610068979.5

申请日：2016-02-01

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 加藤浩朗 ,  西胁达也 ,  新井雅俊 ,  胜田浩明 ,  吉冈千香子 ,  鉾本吉孝

IPC: H01L29/40 ,  H01L29/423

Abstract: 根据一个实施方式，半导体装置具有第1导电型的第1半导体区域、第2导电型的第2半导体区域、第1导电型的第3半导体区域、导电层、栅极电极、以及第1电极。导电层具有第1部分、第2部分以及第3部分。第1部分设在第1区域之上。第1部分隔着第1绝缘部被第1半导体区域包围。第2部分在第2方向上延伸。第2部分设在第1半导体区域之上。第2部分位于第2区域之上。第3部分连接在第1部分与第2部分之间。第3部分在第3方向上延伸。第1电极与第3半导体区域以及导电层电连接。在第1电极与第3部分之间，连接有第2部分。

公开(公告)号：CN106486528A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201610068979.5

申请日：2016-02-01

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 加藤浩朗 ,  西胁达也 ,  新井雅俊 ,  胜田浩明 ,  吉冈千香子 ,  鉾本吉孝

IPC: H01L29/40 ,  H01L29/423

Abstract: 根据一个实施方式，半导体装置具有第1导电型的第1半导体区域、第2导电型的第2半导体区域、第1导电型的第3半导体区域、导电层、栅极电极、以及第1电极。导电层具有第1部分、第2部分以及第3部分。第1部分设在第1区域之上。第1部分隔着第1绝缘部被第1半导体区域包围。第2部分在第2方向上延伸。第2部分设在第1半导体区域之上。第2部分位于第2区域之上。第3部分连接在第1部分与第2部分之间。第3部分在第3方向上延伸。第1电极与第3半导体区域以及导电层电连接。在第1电极与第3部分之间，连接有第2部分。

公开(公告)号：CN106449751A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610111787.8

申请日：2016-02-29

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 西胁达也 ,  新井雅俊 ,  加藤浩朗 ,  胜田浩明 ,  吉冈千香子 ,  的场理惠子

IPC: H01L29/78 ,  H01L29/423 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L21/76877 ,  H01L23/528 ,  H01L23/53295 ,  H01L29/4236 ,  H01L29/7813 ,  H01L29/42372 ,  H01L29/4238 ,  H01L29/66734

Abstract: 一种半导体装置及其制造方法。根据一个实施方式，半导体装置具有第1导电型的第1半导体区域、第2导电型的第2半导体区域、第1导电型的第3半导体区域、栅极电极、栅极布线、第2绝缘层以及第1电极。栅极布线具有第1部分和第2部分。第1部分在第3方向上延伸。第2部分被第1部分包围。第2部分在第3方向上延伸。第2部分在第1方向上的厚度比第1部分在第1方向上的厚度薄。第2绝缘层设在第2区域之上。第2绝缘层将第1部分覆盖。第1电极设在栅极布线之上以及第2绝缘层之上。第1电极与栅极布线相接。