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公开(公告)号：CN105070624B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201510393832.9
申请日：2013-03-05
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01J27/24
CPC classification number: H01J27/24
Abstract: 提供无需解除下游侧设备的真空就能够更换靶材的离子源。靶材(13)配置在被排气成真空的真空容器(10)内，且通过激光的照射产生离子。具有输送管(17)、小孔(18)、中间电极(19)以及加速电极(20)的输送部将由靶材产生的离子朝与离子源连接的下游侧的设备输送。在更换配置于真空容器(10)内的靶材时，真空密封用盘(24)对输送部进行密封，以将真空容器(10)侧与下游侧的设备侧的真空分离。
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公开(公告)号：CN103313502B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310070318.2
申请日：2013-03-06
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01J37/3299 , A61N5/1067 , A61N2005/1088 , H01J27/24 , H01J37/30 , H01J37/32935 , H01J37/32972 , H01J49/161 , H01J2237/0815 , H05H1/46
Abstract: 本发明涉及能够在使用激光的离子源中始终监视真空容器内的离子中的与目标离子不同的非目标离子的离子源、重粒子线照射装置、离子源的驱动方法以及重粒子线照射方法。激光烧蚀等离子体产生装置（27）使得从真空容器（1）内的包含有元素的靶（2）产生激光烧蚀等离子体（4）。离子束引出部（18）通过将激光烧蚀等离子体（4）中包含的离子从真空容器（1）内引出来生成离子束（5）。离子检测器（9）检测真空容器（1）内的离子中的与元素被离子化后的目标离子不同的非目标离子，作为检测结果而输出检测信号（14），该检测信号（14）表示非目标离子的数量，或者表示作为非目标离子相对于目标离子的混合比的值。
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公开(公告)号：CN103313502A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310070318.2
申请日：2013-03-06
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01J37/3299 , A61N5/1067 , A61N2005/1088 , H01J27/24 , H01J37/30 , H01J37/32935 , H01J37/32972 , H01J49/161 , H01J2237/0815 , H05H1/46
Abstract: 本发明涉及能够在使用激光的离子源中始终监视真空容器内的离子中的与目标离子不同的非目标离子的离子源、重粒子线照射装置、离子源的驱动方法以及重粒子线照射方法。激光烧蚀等离子体产生装置（27）使得从真空容器（1）内的包含有元素的靶（2）产生激光烧蚀等离子体（4）。离子束引出部（18）通过将激光烧蚀等离子体（4）中包含的离子从真空容器（1）内引出来生成离子束（5）。离子检测器（9）检测真空容器（1）内的离子中的与元素被离子化后的目标离子不同的非目标离子，作为检测结果而输出检测信号（14），该检测信号（14）表示非目标离子的数量，或者表示作为非目标离子相对于目标离子的混合比的值。
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公开(公告)号：CN103313501A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310068783.2
申请日：2013-03-05
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H01J27/24
Abstract: 提供无需解除下游侧设备的真空就能够更换靶材的离子源。靶材（13）配置在被排气成真空的真空容器（10）内，且通过激光的照射产生离子。具有输送管（17）、小孔（18）、中间电极（19）以及加速电极（20）的输送部将由靶材产生的离子朝与离子源连接的下游侧的设备输送。在更换配置于真空容器（10）内的靶材时，真空密封用盘（24）对输送部进行密封，以将真空容器（10）侧与下游侧的设备侧的真空分离。
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公开(公告)号：CN103298232A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310064976.0
申请日：2013-03-01
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H01J27/24 , A61N2005/1085 , H01J27/024 , H01J37/08
Abstract: 提供能够除去不需要的离子的离子源。靶材（2）配置在被排气成真空的真空容器（1）内，且通过激光的照射而产生多个价数的离子。加速电极（4）被施加电压，以使由靶材（2）产生的离子加速。中间电极（5）设置在靶材（2）与加速电极（4）之间，且被施加与施加于加速电极（4）的电压反向的电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103298232B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310064976.0
申请日：2013-03-01
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H01J27/24 , A61N2005/1085 , H01J27/024 , H01J37/08
Abstract: 提供能够除去不需要的离子的离子源。靶材（2）配置在被排气成真空的真空容器（1）内，且通过激光的照射而产生多个价数的离子。加速电极（4）被施加电压，以使由靶材（2）产生的离子加速。中间电极（5）设置在靶材（2）与加速电极（4）之间，且被施加与施加于加速电极（4）的电压反向的电压。
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公开(公告)号：CN103313501B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201310068783.2
申请日：2013-03-05
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H01J27/24
Abstract: 提供无需解除下游侧设备的真空就能够更换靶材的离子源。靶材（13）配置在被排气成真空的真空容器（10）内，且通过激光的照射产生离子。具有输送管（17）、小孔（18）、中间电极（19）以及加速电极（20）的输送部将由靶材产生的离子朝与离子源连接的下游侧的设备输送。在更换配置于真空容器（10）内的靶材时，真空密封用盘（24）对输送部进行密封，以将真空容器（10）侧与下游侧的设备侧的真空分离。
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公开(公告)号：CN103858202B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201280042691.0
申请日：2012-08-28
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01J27/24 , H01J49/164
Abstract: 提供了一种离子源，所述离子源用于输出具有高纯度的多价正离子的离子束。所述离子源10包括：靶12，通过由激光照射形成的等离子体从所述靶12生成电子和正离子；第一电源(第一电压E1)，其将所述靶12的电势设置为高于正离子的目的地的电势；以及第二电源(第二电压E2)，其将从所述靶12到所述目的地18的路径的电势设置为高于靶12的电势。
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公开(公告)号：CN105070624A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510393832.9
申请日：2013-03-05
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01J27/24
CPC classification number: H01J27/24
Abstract: 提供无需解除下游侧设备的真空就能够更换靶材的离子源。靶材(13)配置在被排气成真空的真空容器(10)内，且通过激光的照射产生离子。具有输送管(17)、小孔(18)、中间电极(19)以及加速电极(20)的输送部将由靶材产生的离子朝与离子源连接的下游侧的设备输送。在更换配置于真空容器(10)内的靶材时，真空密封用盘(24)对输送部进行密封，以将真空容器(10)侧与下游侧的设备侧的真空分离。
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公开(公告)号：CN103858202A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201280042691.0
申请日：2012-08-28
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01J27/24 , H01J49/164
Abstract: 提供了一种离子源，所述离子源用于输出具有高纯度的多价正离子的离子束。所述离子源10包括：靶12，通过由激光照射形成的等离子体从所述靶12生成电子和正离子；第一电源(第一电压E1)，其将所述靶12的电势设置为高于正离子的目的地(对应于图1中的加速通道18)的电势；以及第二电源(第二电压E1)，其将从所述靶12到所述目的地18的路径(对应于图1中的滤波器电极15)的电势设置为高于靶12的电势。
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