放射线检测器及其制造方法

    公开(公告)号:CN102667525A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201080052460.9

    申请日:2010-12-15

    Abstract: 本发明提供一种能改善具有光电转换元件的阵列基板与闪烁体层的密合力、不易发生由闪烁体层的剥离引起的特性劣化、可靠性高的放射线检测器。放射线检测器(11)包括:阵列基板(12),该阵列基板(12)在基板上具有将荧光转换成电信号的光电转换元件(21),并且在基板的最表层形成有保护膜(26);基于CsI的闪烁体层(13),该闪烁体层(13)设置于保护膜(26)上,将入射的放射线转换成荧光;反射层(14),该反射层(14)设置于闪烁体层(13)上,使来自闪烁体层(13)的荧光向阵列基板(12)侧反射;其特征在于,由作为热塑性树脂的丙烯酸类有机树脂材料形成保护膜(26)。

    X射线检测器及X射线检测器的制造方法

    公开(公告)号:CN1628254A

    公开(公告)日:2005-06-15

    申请号:CN03803322.4

    申请日:2003-02-10

    CPC classification number: G01T1/2018

    Abstract: 在具有设置在单位像素上的将X射线变换成光的闪烁层38、将在闪烁层38上变换成的光作为电荷贮存的贮存用电容器15、及将相邻单位像素的闪烁层38间分割的隔壁层39的X射线检测器中,闪烁层38含荧光材料I,隔壁层含光学特性和荧光材料IP1不同的第二种荧光体P2,而且第二种荧光体P2发出的荧光波长具有和荧光材料IP1发出的最短的荧光波长相等或比其长的成分。

    辐射检测器及制造它的方法

    公开(公告)号:CN105283779A

    公开(公告)日:2016-01-27

    申请号:CN201480033641.5

    申请日:2014-06-06

    Inventor: 本间克久

    CPC classification number: G01T1/2018 G01T1/202

    Abstract: 根据本发明一实施例的辐射检测器具有:阵列基板,其具有光电转换元件;闪烁体层,其形成在该光电转换元件上且将辐射转换为荧光;防湿层,其具有平滑层和水蒸气阻隔层,该平滑层是形成为覆盖该闪烁体层的连续膜且至少包含有机树脂材料作为主成份,该水蒸气阻隔层是直接形成在该平滑层的表面上的连续膜且包含无机材料。

    放射线检测器
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103348263B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201280007198.5

    申请日:2012-01-25

    Inventor: 本间克久

    CPC classification number: H01L31/02322 G01T1/2018 G01T1/244 H01L27/14663

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种放射线检测器,该放射线检测器的闪烁体层与基板之间的紧贴力、及防湿体与基板之间的紧贴力都很优异,并在冷热环境及高温高湿环境下具有较高的可靠性。放射线检测器(11)包括:具有像素(17)的阵列基板(12);形成在像素(17)上的闪烁体层(13);以覆盖闪烁体层(13)的方式形成的导电性的防湿体(15);以及粘接防湿体(15)与阵列基板(12)的粘接层(16),阵列基板(12)至少划分成有源区A及粘接区B,在有源区A中,在闪烁体层(13)的形成面上设置有有机树脂保护膜(26a),在粘接区B中,在粘接层(16)的形成面上设置有无机保护膜(26b)。

    放射线检测器及其制造方法

    公开(公告)号:CN102667525B

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201080052460.9

    申请日:2010-12-15

    Abstract: 本发明提供一种能改善具有光电转换元件的阵列基板与闪烁体层的密合力、不易发生由闪烁体层的剥离引起的特性劣化、可靠性高的放射线检测器。放射线检测器(11)包括:阵列基板(12),该阵列基板(12)在基板上具有将荧光转换成电信号的光电转换元件(21),并且在基板的最表层形成有保护膜(26);基于CsI的闪烁体层(13),该闪烁体层(13)设置于保护膜(26)上,将入射的放射线转换成荧光;反射层(14),该反射层(14)设置于闪烁体层(13)上,使来自闪烁体层(13)的荧光向阵列基板(12)侧反射;其特征在于,由作为热塑性树脂的丙烯酸类有机树脂材料形成保护膜(26)。

    放射线检测器的制造方法以及放射线检测器

    公开(公告)号:CN104241199A

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201410250430.9

    申请日:2014-06-06

    Inventor: 本间克久

    CPC classification number: H01L27/1443

    Abstract: 本发明涉及放射线检测器的制造方法以及放射线检测器,提供一种能够维持防湿结构的可靠性、并能够使放射线检测器小型化的放射线检测器的制造方法以及放射线检测器。该放射线检测器的制造方法的特征在于,具备:形成在基板上二维排列有光电转换元件的阵列基板的阵列基板形成工序;形成闪烁层的闪烁层形成工序,该闪烁层覆盖所述阵列基板的排列有所述光电转换元件的区域,并将放射线转换成荧光;对金属进行成形,从而形成具备与包围所述阵列基板的所述闪烁层部分相对的粘接面的防湿体的防湿体形成工序;以及粘接工序,在该粘接工序中,利用具有边框部的加压夹具对所述檐部加压,使得在所述檐部与所述阵列基板之间的相对粘接部、以及在该相对粘接部从所述檐部外边缘向外侧溢出的区域,形成粘接剂从所述阵列基板突出至高于所述檐部而得的伸出部,该边框部形成有与檐部的相对粘接部的相反侧面相对的加压面。

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