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公开(公告)号：CN105463577A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510617566.3
申请日：2015-09-24
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: C30B29/38
CPC classification number: C01B21/0632
Abstract: 本发明提供一种抑制含氮元素气体的热分解、提高了生产率的III族氮化物晶体制造方法。III族氮化物晶体制造装置具备：腔室、用于向腔室内导入含氮元素气体的含氮元素气体导入管、用于保持III族氧化物的保持部、加热保持部的第一加热器、向III族氧化物供给还原性气体的还原性气体导入管、将利用还原性气体还原了的III族氧化物的还原物气体向腔室内供给的还原物气体供给口、将III族氧化物的还原物气体和含氮元素气体向腔室外排出的排出口、以及加热腔室内的种基板的第二加热器，保持部与所述第一加热器的距离比含氮元素气体导入管与第一加热器的距离近。
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公开(公告)号：CN105463576A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510617542.8
申请日：2015-09-24
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
CPC classification number: C30B25/10 , C01B21/0632 , C30B25/08 , C30B25/12 , C30B25/14 , C30B29/406
Abstract: 本发明提供制造高品质的III族氮化物晶体的制造装置及制造方法。本发明提供一种III族氮化物晶体制造装置，其具备：腔室；向所述腔室内供给含氮元素气体的含氮元素气体供给口；将III族元素的化合物气体向所述腔室内供给以使其与所述含氮元素气体混合的化合物气体供给口；将混合后的所述化合物气体和所述含氮元素气体向所述腔室外排出的排出口；用于在所述化合物气体与所述含氮元素气体的混合点的下游侧、并且在所述排出口的上游侧保持种基板的支持物；加热所述种基板的第一加热器；和对从所述混合点到所述种基板的空间以比所述第一加热器高的温度进行加热的第二加热器。
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公开(公告)号：CN105463576B
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201510617542.8
申请日：2015-09-24
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
Abstract: 本发明提供制造高品质的III族氮化物晶体的制造装置及制造方法。本发明提供一种III族氮化物晶体制造装置，其具备：腔室；向所述腔室内供给含氮元素气体的含氮元素气体供给口；将III族元素的化合物气体向所述腔室内供给以使其与所述含氮元素气体混合的化合物气体供给口；将混合后的所述化合物气体和所述含氮元素气体向所述腔室外排出的排出口；用于在所述化合物气体与所述含氮元素气体的混合点的下游侧、并且在所述排出口的上游侧保持种基板的支持物；加热所述种基板的第一加热器；和对从所述混合点到所述种基板的空间以比所述第一加热器高的温度进行加热的第二加热器。
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公开(公告)号：CN105463577B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201510617566.3
申请日：2015-09-24
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: C30B29/38
Abstract: 本发明提供一种抑制含氮元素气体的热分解、提高了生产率的III族氮化物晶体制造方法。III族氮化物晶体制造装置具备：腔室、用于向腔室内导入含氮元素气体的含氮元素气体导入管、用于保持III族氧化物的保持部、加热保持部的第一加热器、向III族氧化物供给还原性气体的还原性气体导入管、将利用还原性气体还原了的III族氧化物的还原物气体向腔室内供给的还原物气体供给口、将III族氧化物的还原物气体和含氮元素气体向腔室外排出的排出口、以及加热腔室内的种基板的第二加热器，保持部与所述第一加热器的距离比含氮元素气体导入管与第一加热器的距离近。
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