公开(公告)号：CN108221046B

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：CN201711280650.6

申请日：2017-12-06

Applicant: 松下知识产权经营株式会社

Inventor： 小松真介 ,  冈山芳央 ,  信冈政树

IPC: H01L33/00 ,  C30B25/20 ,  C30B7/00 ,  C30B29/40

Abstract: 本发明的目的在于，提供品质更良好的RAMO4基板。本发明提供一种RAMO4基板，其包含含有通式RAMO4表示的单晶体(通式中，R表示选自由Sc、In、Y和镧系元素组成的组中的一种或多种三价元素，A表示选自由Fe(III)、Ga和Al组成的组中的一种或多种三价元素，M表示选自由Mg、Mn、Fe(II)、Co、Cu、Zn和Cd组成的组中的一种或多种二价元素)的RAMO4单晶基板，所述RAMO4单晶基板在主面具备多个槽，所述主面相对于所述单晶体的劈开面具有偏离角θ，将位于所述槽间的凸部的顶面的宽度记作Wx，并将所述凸部的高度记作Wy时，满足tanθ≤Wy/Wx。

公开(公告)号：CN108221046A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201711280650.6

申请日：2017-12-06

Applicant: 松下知识产权经营株式会社

Inventor： 小松真介 ,  冈山芳央 ,  信冈政树

IPC: C30B25/20 ,  C30B7/00 ,  C30B29/40

CPC classification number: C30B25/205 ,  C30B7/005 ,  C30B29/403

Abstract: 本发明的目的在于，提供品质更良好的RAMO4基板。本发明提供一种RAMO4基板，其包含含有通式RAMO4表示的单晶体(通式中，R表示选自由Sc、In、Y和镧系元素组成的组中的一种或多种三价元素，A表示选自由Fe(III)、Ga和Al组成的组中的一种或多种三价元素，M表示选自由Mg、Mn、Fe(II)、Co、Cu、Zn和Cd组成的组中的一种或多种二价元素)的RAMO4单晶基板，所述RAMO4单晶基板在主面具备多个槽，所述主面相对于所述单晶体的劈开面具有偏离角θ，将位于所述槽间的凸部的顶面的宽度记作Wx，并将所述凸部的高度记作Wy时，满足tanθ≤Wy/Wx。