公开(公告)号：CN110957416A

公开(公告)日：2020-04-03

申请号：CN201910746678.7

申请日：2019-08-13

Applicant: 松下知识产权经营株式会社

Inventor： 中村太一 ,  酒井一树 ,  城谷将矢 ,  桑原凉

IPC: H01L41/20 ,  H01L41/47 ,  C30B33/02 ,  C30B29/52

Abstract: 本发明提供一种对于长边方向上的磁应变具有特定的磁致伸缩特性、且在长边方向上表现出充分大的磁致伸缩量的FeGa系的磁致伸缩元件以及磁致伸缩元件的制造方法。磁致伸缩元件由Fe(100-α)Gaα(α为Ga含有率，14≤α≤19)或者Fe(100-α-β)GaαXβ(α为Ga含有率，β为X含有率，X为从由Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Cu以及C中选择的1种以上的元素，14≤α≤19且0.5≤β≤1)的单晶合金的磁致伸缩材料构成，具有长边方向的第1尺寸以及与长边方向正交的短边方向的第2尺寸，长边方向与单晶合金的＜100＞晶体取向平行，在与短边方向x轴以及长边方向y轴的xy平面平行且以从x轴偏移0°≤θ≤90°施加磁场时，y轴方向的Lmax以及Lmin满足0≤Lmin≤Lmax/10且100ppm≤Lmax≤1000ppm。