带有透明导电膜的透光性基板

    公开(公告)号:CN1795516A

    公开(公告)日:2006-06-28

    申请号:CN200480014274.0

    申请日:2004-05-26

    CPC classification number: H01B1/08 C23C18/1258 G02F1/13439

    Abstract: 本发明的目的是提供充分高透明的、带有透明导电膜的透光性基板,其是在透光性基板上形成有膜厚为12~2nm的连续的透明导电膜的带有透明导电膜的透光性基板,透明导电膜优选为柱状单晶的集合体,透明导电膜的最大表面粗糙度为1~20nm,透明导电膜的平均表面粗糙度为0.1~10nm的范围,透明导电膜是掺杂有锡的氧化铟薄膜,锡原子均匀地分布在掺杂有锡的氧化铟薄膜中,该基板对于波长400nm的光的穿透率为88%或更多,对于波长350nm的光的穿透率为85%或更多,对于全部光线的穿透率为90%或更多。

    带有透明导电膜的透光性基板

    公开(公告)号:CN1795516B

    公开(公告)日:2014-10-22

    申请号:CN200480014274.0

    申请日:2004-05-26

    CPC classification number: H01B1/08 C23C18/1258 G02F1/13439

    Abstract: 本发明的目的是提供充分高透明的、带有透明导电膜的透光性基板,其是在透光性基板上形成有膜厚为12~2nm的连续的透明导电膜的带有透明导电膜的透光性基板,透明导电膜优选为柱状单晶的集合体,透明导电膜的最大表面粗糙度为1~20nm,透明导电膜的平均表面粗糙度为0.1~10nm的范围,透明导电膜是掺杂有锡的氧化铟薄膜,锡原子均匀地分布在掺杂有锡的氧化铟薄膜中,该基板对于波长400nm的光的穿透率为88%或更多,对于波长350nm的光的穿透率为85%或更多,对于全部光线的穿透率为90%或更多。

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