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公开(公告)号：CN101031779B
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN200680000943.8
申请日：2006-05-12
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: G01D5/20
Abstract: 一种具有高操作可靠性的小尺寸位置传感器。所述位置传感器包括：管状检测线圈；在所述检测线圈内可移动的磁芯；用于所述检测线圈的驱动电路；信号处理电路，其用于将所述检测线圈的阻抗变化转换成电信号；以及用于引导所述磁芯在所述检测线圈内的运动的引导装置。所述引导装置具有连接至磁芯的引导部分以及用于滑动地支撑所述引导部分的支撑部分。所述引导装置形成为：通过所述引导部分相对于所述支撑部分的滑动，所述磁芯能够在所述检测线圈内平滑地移动而不接触所述检测线圈的内表面。
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公开(公告)号：CN1294480A
公开(公告)日：2001-05-09
申请号：CN00130036.9
申请日：2000-10-25
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H05H1/2406 , H05H2001/2456
Abstract: 一种等离子体处理装置,利用点火电极方便地启动装置而不使用昂贵的阻抗匹配设备,能可靠地产生大气压力等离子体。该装置包括:具有孔的产生等离子体的室,等离子体从该孔吹出;气体供应单元,用于将产生等离子体的气体送入室中;一对电极;电源,用于在电极之间施加交流电场以维持室内的等离子体;用于提供脉冲电压的脉冲发生器;以及点火电极,用于对室内所送入的气体施加脉冲电压以产生等离子体。
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公开(公告)号：CN1334694A
公开(公告)日：2002-02-06
申请号：CN01118648.8
申请日：2001-06-06
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: H05H1/26 , H01L21/3065 , C23C14/22
CPC classification number: H01J37/32357
Abstract: 提供一种等离子体处理设备和一种等离子体处理方法,使用等离子体以高速均匀地处理物体。它包括:一个具有侧向延长横截面的管状容器;一对电极,当AC电压或脉冲电压之一加到电极之间时,电力线大体上在管状容器的轴向;一个气体供应源,用来给管状容器提供流光产生气;一个电源,用来给电极之间提供电压以在管状容器里产生气体的多种流光;和一个等离子体均匀装置,用来使多种流光在管状容器侧向延长横截面的侧向均匀。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1165208C
公开(公告)日：2004-09-01
申请号：CN01118648.8
申请日：2001-06-06
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: H05H1/26 , H01L21/3065 , C23C14/22
CPC classification number: H01J37/32357
Abstract: 提供一种等离子体处理设备和一种等离子体处理方法，使用等离子体以高速均匀地处理物体。它包括：一个具有侧向延长横截面的管状容器；一对电极，当AC电压或脉冲电压之一加到电极之间时，电力线大体上在管状容器的轴向；一个气体供应源，用来给管状容器提供流光产生气；一个电源，用来给电极之间提供电压以在管状容器里产生气体的多种流光；和一个等离子体均匀装置，用来使多种流光在管状容器侧向延长横截面的侧向均匀。
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公开(公告)号：CN100473951C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200680000942.3
申请日：2006-05-12
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: G01D5/20
Abstract: 本发明提供一种具有优良的线圈阻抗线性度的位置传感器。该位置传感器包括：管状检测线圈；在所述检测线圈内可移动的磁芯；用于检测线圈的驱动电路；用于将所述检测线圈的阻抗变化转换为电信号的信号处理电路；以及环绕所述检测线圈设置的屏蔽构件。所述屏蔽构件是具有第一内表面和第二内表面的管状构件，所述第一内表面环绕所述检测线圈的一轴向区域，所述第二内表面环绕所述检测线圈的另一轴向区域。所述管状构件形成为使得所述第二内表面与所述检测线圈之间的距离小于所述第一内表面与所述检测线圈之间的距离。
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公开(公告)号：CN101031779A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200680000943.8
申请日：2006-05-12
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: G01D5/20
Abstract: 一种具有高操作可靠性的小尺寸位置传感器。所述位置传感器包括：管状检测线圈；在所述检测线圈内可移动的磁芯；用于所述检测线圈的驱动电路；信号处理电路，其用于将所述检测线圈的阻抗变化转换成电信号；以及用于引导所述磁芯在所述检测线圈内的运动的引导装置。所述引导装置具有连接至磁芯的引导部分以及用于滑动地支撑所述引导部分的支撑部分。所述引导装置形成为：通过所述引导部分相对于所述支撑部分的滑动，所述磁芯能够在所述检测线圈内平滑地移动而不接触所述检测线圈的内表面。
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公开(公告)号：CN101031778A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200680000942.3
申请日：2006-05-12
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: G01D5/20
Abstract: 本发明提供一种具有优良的线圈阻抗线性度的位置传感器。该位置传感器包括：管状检测线圈；在所述检测线圈内可移动的磁芯；用于检测线圈的驱动电路；用于将所述检测线圈的阻抗变化转换为电信号的信号处理电路；以及环绕所述检测线圈设置的屏蔽构件。所述屏蔽构件是具有第一内表面和第二内表面的管状构件，所述第一内表面环绕所述检测线圈的一轴向区域，所述第二内表面环绕所述检测线圈的另一轴向区域。所述管状构件形成为使得所述第二内表面与所述检测线圈之间的距离小于所述第一内表面与所述检测线圈之间的距离。
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公开(公告)号：CN1170460C
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN00130036.9
申请日：2000-10-25
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H05H1/2406 , H05H2001/2456
Abstract: 一种等离子体处理装置，利用点火电极方便地启动装置而不使用昂贵的阻抗匹配设备，能可靠地产生大气压力等离子体。该装置包括：具有孔的产生等离子体的室，等离子体从该孔吹出；气体供应单元，用于将产生等离子体的气体送入室中；一对电极；电源，用于在电极之间施加交流电场以维持室内的等离子体；用于提供脉冲电压的脉冲发生器；以及点火电极，用于对室内所送入的气体施加脉冲电压以产生等离子体。以及一种使用该等离子体处理装置的等离子体产生方法，该方法包括步骤：将产生等离子体的气体送入所述室，再利用所述点火电极向实质上等于大气压力的压力下的所述气体供给脉冲电压，以便在所述室中产生等离子体。
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