固体摄像装置和其制造方法

    公开(公告)号:CN101339952A

    公开(公告)日:2009-01-07

    申请号:CN200810135706.3

    申请日:2008-07-03

    CPC classification number: H01L27/14627 H01L27/14623 H01L27/14636

    Abstract: 提高灵敏度特性,对于摄像装置的光圈(F值)特性,灵敏度特性的降低较小的固体摄像装置及其制造方法。固体摄像装置具有:配置有受光部(12)的摄像区域;具有配置于受光部(12)的上方,形成开口部的金属布线(22A)、(22B)、(22C)和第1绝缘膜(20)的布线层;按每个受光部(12)设置,在布线层上或上部形成的层内透镜(24);在布线层和层内透镜(24)上形成的透明的第2绝缘膜(26);按每个受光部(12)设置,形成于第2绝缘膜(26),上表面为凸状曲面的顶部透镜(28);和在顶部透镜(28)上形成,由比顶部透镜(28)低的折射率的材料构成的透明的透明膜(30)。使入射光的至少一部分的焦点位于半导体基板(10)的上方的位置。

    固态摄像设备
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101043046A

    公开(公告)日:2007-09-26

    申请号:CN200710089381.5

    申请日:2007-03-23

    CPC classification number: H04N5/335

    Abstract: 在固态摄像设备中,难以将与像素阵列区的图像高度相对应的最佳入射角与相机镜头的光入射特性相匹配,从而由于敏感度衰减导致了图像质量恶化。各个微透镜以二维方式布置,即在行和列方向上布置。具体的,将微透镜布置为使得布置微透镜的布置区的每一个侧边都具有相对于连接布置区相邻顶点的直线的凹曲线。换句话说,将在布置区的一对相对侧边的中心之间的距离AH(AV)设置为小于在布置区相邻顶点之间的距离BH(BV)。

    固体摄像装置以及利用该固体摄像装置的摄像机

    公开(公告)号:CN101276829A

    公开(公告)日:2008-10-01

    申请号:CN200810086315.7

    申请日:2008-03-25

    CPC classification number: H01L27/14603 H01L27/14609

    Abstract: 本发明的固体摄像装置具有多个单位像素,所述多个单位像素被形成在所述半导体衬底上的共用的阱上,并且包括第一单位像素以及第二单位像素这两种单位像素。所述第一单位像素包括:至少一个光电转换区域;第一半导体区域,被形成在所述共用的阱上,且与所述共用的阱的导电型相同;以及第一接点,与所述第一半导体区域电连接。所述第二单位像素包括:至少一个光电转换区域;第二半导体区域,被形成在所述共用的阱上,且与所述共用的阱的导电型相反;以及第二接点,与所述第二半导体区域电连接。

    固体摄像装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101355094A

    公开(公告)日:2009-01-28

    申请号:CN200810135707.8

    申请日:2008-07-03

    Abstract: 提供包括用简单的平面设置维持各布线层之间的连接的同时,能够抑制摄像区域的周边部的灵敏度的降低的构造的固体摄像装置。该固体摄像装置包括第一布线层、第二布线层、衬底接触点、和第一接触点。相对构成周边像素的受光部的衬底接触点的设置,比相对构成中心像素的受光部的衬底接触点的设置,从周边部向着中心部以偏移量r偏离设置,或者不偏离设置。相对构成周边像素的受光部的第一接触点的设置,比相对构成中心像素的受光部的第一接触点的设置,从周边部向着中心部以偏移量s1偏离设置。偏移量s1比偏移量r大。

    固体摄像装置和其制造方法

    公开(公告)号:CN101339952B

    公开(公告)日:2012-04-25

    申请号:CN200810135706.3

    申请日:2008-07-03

    CPC classification number: H01L27/14627 H01L27/14623 H01L27/14636

    Abstract: 提高灵敏度特性,对于摄像装置的光圈(F值)特性,灵敏度特性的降低较小的固体摄像装置及其制造方法。固体摄像装置具有:配置有受光部(12)的摄像区域;具有配置于受光部(12)的上方,形成开口部的金属布线(22A)、(22B)、(22C)和第1绝缘膜(20)的布线层;按每个受光部(12)设置,在布线层上或上部形成的层内透镜(24);在布线层和层内透镜(24)上形成的透明的第2绝缘膜(26);按每个受光部(12)设置,形成于第2绝缘膜(26),上表面为凸状曲面的顶部透镜(28);和在顶部透镜(28)上形成,由比顶部透镜(28)低的折射率的材料构成的透明的透明膜(30)。使入射光的至少一部分的焦点位于半导体基板(10)的上方的位置。

    固体摄像器件
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1848444A

    公开(公告)日:2006-10-18

    申请号:CN200610073533.8

    申请日:2006-04-11

    Abstract: 本发明使用一种固体摄像器件,其具有n型半导体衬底(30),该n型半导体衬底上形成有光电转换部(32)和检测信号电荷的信号检测部(33)。在光电转换部具有光电二极管(12),在半导体衬底上形成在半导体衬底的厚度方向上与光电转换部及信号检测部重叠的p阱(31)。p阱形成为,该p阱的表层侧的界面(31a)位于比光电二极管的表层侧的界面(16a)更下层。最好是表层侧的界面位于比光电二极管的下层侧的界面(16b)更下层,使得p阱(31)的杂质分布不与光电二极管(12)的杂质分布重叠。这时,在光电二极管和p阱之间存在非掺杂区域(50)。

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