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公开(公告)号：CN1476070A
公开(公告)日：2004-02-18
申请号：CN03178468.2
申请日：2003-07-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 一种定量评估诸如晶片的基片的方法，包括：限定许多顺序排列的第一区，以致每个第一区与相邻的第一区交叠。在每个第一区中的表面数据例如厚度数据被用于确定代表第一区的表面形态(例如厚度变化)的法向向量。接着，对于每个相邻的两个第一区的组合，确定法向向量之间的角度差。随后，所确定的角度差与参考值进行比较以评估包括至少一个第一区的第二区的质量，所述第二区如小片区、带状区和/或整个晶片。
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公开(公告)号：CN102401637B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201110242010.2
申请日：2011-08-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种三维形状测量装置，上面触头(1a)能够利用气动滑块1沿XY方向不振动地扫描测量测量物(7)的上面(7a)，利用第一反射镜(1b)和透镜(2de)还能够精度良好地测量Z坐标，侧面触头(2ia)只在XY方向上能够位移而在Z方向不振动，因此能够扫描测量测量物侧面(7b)，侧面触头(2ia)的Z坐标测量利用所述第一反射镜(1b)的Z坐标测量值，能够更高精度地用倾斜角度测量部(2j)测量侧面触头的XY位移。
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公开(公告)号：CN1068677C
公开(公告)日：2001-07-18
申请号：CN95118196.3
申请日：1995-11-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01N13/16
CPC classification number: G01Q60/38 , G01H9/00 , G01Q10/04 , G01Q30/025 , G02B21/0004 , Y10S977/87
Abstract: 本发明揭示一种原子力显微镜，它包括：备有共焦透镜及探针的Z向扫描部；使该扫描部沿垂直试样表面的方向移动的Z向扫描器；包含上述两部分及二向色镜的X向扫描部；使X向扫描部沿与试样表面平行的平面内的X方向移动的X向扫描器；备有X向扫描部、X向扫描器、检测光放射系统及变位检测系统的Y向扫描部；使Y向扫描部沿与试样表面平行的平面内、垂直于X方向的Y方向移动的Y向扫描器。具有能测定大型试样的优点。
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公开(公告)号：CN101598535B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200910145323.9
申请日：2009-06-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B5/008 , G01B21/045
Abstract: 本发明公开了一种形状测定装置和一种形状测定方法。其中，一种移动矢量计算单元，在通过针头32扫描测量表面5a期间，在针头位移矢量、针头位移矢量D和由针头32与测量表面5a之间的摩擦力造成的针头位移矢量D的变向角度θ的基础上计算表示探针移动的大小和方向的移动矢量M。针头位移矢量D是一个包括针头32相对于探针5的位移的大小和方向的矢量。控制XY-工作台7的移动以使探针6按照移动矢量M移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1150253A
公开(公告)日：1997-05-21
申请号：CN95118196.3
申请日：1995-11-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01Q60/38 , G01H9/00 , G01Q10/04 , G01Q30/025 , G02B21/0004 , Y10S977/87
Abstract: 本发明揭示一种原子力显微镜，它包括：备有共焦透镜及探针的Z向扫描部；使该扫描部沿垂直试样表面的方向移动的Z向扫描器；包含上述两部分及镜子的X向扫描部；使X向扫描部沿与试样表面平行的平面内的第1轴向移动的X向扫描器；备有X向扫描部、X向扫描器、检测光放射系统及变位检测系统的Y向扫描部；使Y向扫描部沿与试样表面平行的平面内、垂直于第1轴向的第2轴向移动的Y向扫描器。具有能测定大型试样的优点。
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公开(公告)号：CN102401637A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110242010.2
申请日：2011-08-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种三维形状测量装置，上面触头(1a)能够利用气动滑块1沿XY方向不振动地扫描测量测量物(7)的上面(7a)，利用第一反射镜(1b)和透镜(2de)还能够精度良好地测量Z坐标，侧面触头(2ia)只在XY方向上能够位移而在Z方向不振动，因此能够扫描测量测量物侧面(7b)，侧面触头(2ia)的Z坐标测量利用所述第一反射镜(1b)的Z坐标测量值，能够更高精度地用倾斜角度测量部(2j)测量侧面触头的XY位移。
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公开(公告)号：CN1320623C
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN03178468.2
申请日：2003-07-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 一种定量评估诸如晶片的基片的方法，包括：限定许多顺序排列的第一区，以致每个第一区与相邻的第一区交叠。在每个第一区中的表面数据例如厚度数据被用于确定代表第一区的表面形态(例如厚度变化)的法向向量。接着，对于每个相邻的两个第一区的组合，确定法向向量之间的角度差。随后，所确定的角度差与参考值进行比较以评估包括至少一个第一区的第二区的质量，所述第二区如小片区、带状区和/或整个晶片。
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公开(公告)号：CN103852048A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201310631384.2
申请日：2013-12-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 土居正照
Abstract: 本发明提供一种形状测定方法及形状测定装置，其使触针沿着测定面平滑地扫描，从而实现高精度且快速的形状测定。重复包括平行移动和正交移动在内的测头(26)的相对于测定面的相对移动(步骤4、5)，该平行移动使触针(20)相对于测定面而向与测定面平行的方向移动指定的距离，该正交移动以在包括触针(20)的位置相对于测头(26)的位置的位移量和位移方向在内的触针位移矢量(Di)的测定面上使法线方向的大小成为预先确定的压入量的设定值(C)的方式，使测头(26)向根据当前的触针位置(Si)与过去的触针位置(Si-1)之差而算出的测定面的法线方向移动。
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公开(公告)号：CN101598535A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200910145323.9
申请日：2009-06-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B5/008 , G01B21/045
Abstract: 本发明公开了一种形状测定装置和一种形状测定方法。其中，一种移动矢量计算单元，在通过针头32扫描测量表面5a期间，在针头位移矢量、针头位移矢量D和由针头32与测量表面5a之间的摩擦力造成的针头位移矢量D的变向角度θ的基础上计算表示探针移动的大小和方向的移动矢量M。针头位移矢量D是一个包括针头32相对于探针5的位移的大小和方向的矢量。控制XY－工作台7的移动以使探针6按照移动矢量M移动。
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