公开(公告)号：CN101598535B

公开(公告)日：2011-02-16

申请号：CN200910145323.9

申请日：2009-06-03

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 吉住惠一 ,  土居正照 ,  仓田隆行

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B5/008 ,  G01B21/045

Abstract: 本发明公开了一种形状测定装置和一种形状测定方法。其中，一种移动矢量计算单元，在通过针头32扫描测量表面5a期间，在针头位移矢量、针头位移矢量D和由针头32与测量表面5a之间的摩擦力造成的针头位移矢量D的变向角度θ的基础上计算表示探针移动的大小和方向的移动矢量M。针头位移矢量D是一个包括针头32相对于探针5的位移的大小和方向的矢量。控制XY-工作台7的移动以使探针6按照移动矢量M移动。

公开(公告)号：CN101598535A

公开(公告)日：2009-12-09

申请号：CN200910145323.9

申请日：2009-06-03

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 吉住惠一 ,  土居正照 ,  仓田隆行

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B5/008 ,  G01B21/045

Abstract: 本发明公开了一种形状测定装置和一种形状测定方法。其中，一种移动矢量计算单元，在通过针头32扫描测量表面5a期间，在针头位移矢量、针头位移矢量D和由针头32与测量表面5a之间的摩擦力造成的针头位移矢量D的变向角度θ的基础上计算表示探针移动的大小和方向的移动矢量M。针头位移矢量D是一个包括针头32相对于探针5的位移的大小和方向的矢量。控制XY－工作台7的移动以使探针6按照移动矢量M移动。