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公开(公告)号：CN102560362A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210059150.0
申请日：2012-03-08
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及一种制备p型CuAlO2透明导电薄膜的方法。本发明首先，以Cu2O和Al2O3为原料，经过人工研磨或机械球磨混合均匀，将混合粉末装入粉末压片机，制成圆柱状靶材坯料，将靶材坯料放入刚玉坩埚中盖好后置于单晶炉中，在温度为1100oC～1200oC之间烧结10～12小时即得到CuAlO2陶瓷靶材；然后，将烧制好的CuAlO2靶材放入电子束蒸发镀膜设备的坩埚内，抽至本底真空，在不通入任何反应气体的情况下，进行电子束蒸发镀膜，控制电子束流和沉积时间即得到p型CuAlO2透明导电薄膜。本发明方法制备的p型CuAlO2导电靶材具有制备过程简单、烧结过程受热均匀、产物纯度高、制备过程清洁无污染。
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公开(公告)号：CN103880062B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201410086377.3
申请日：2014-03-10
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及一种氧化锌纳米柱薄膜及其制备方法。氧化锌纳米柱薄膜的微观结构具有六角柱状。其制备方法为将的六水合硝酸锌溶于去离子水中，通过搅拌配置成透明的硝酸锌溶液，然后逐滴加入氨水，使之形成透明的氨水络合物，然后，取适当溶液移入耐高压水热釜的聚四氟乙烯内胆中，同时将清洗干净的铜片放入水热釜内胆，严密封紧好后置入干燥箱，控制温度和时间进行水热反应，待反应结束后经过数次清洗、干燥，即在铜衬底上制备一层氧化锌纳米柱薄膜。采用本发明方法制备氧化锌纳米柱薄膜，原料廉价，环境友好，所用设备和制备过程简单，方便快捷，所得氧化锌纳米柱薄膜具有大面积均匀性、取向一致的特点，是一种性能良好的发光材料和半导体材料。
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公开(公告)号：CN103972329A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410192004.4
申请日：2014-05-07
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/1828
Abstract: 本发明公开了一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池无镉缓冲层的制备方法。本发明将硫化锌粉末在15MPa下保持10s压实成薄圆柱形片，直径1.3cm，厚度2mm，然后在氮气保护下800oC或1000oC度烧结，待温度降为室温取出，放入电子束蒸发镀膜系统所带的铜坩埚内，以充满铜坩埚的三分之二为宜，在普通玻璃衬底上进行电子束蒸发镀膜，制备ZnS薄膜，通过改变适当的电子束流、束流扫描范围、蒸发高压、蒸发压强、蒸发时间、基板温度以及后退火处理温度等条件制备了具有纤锌矿结构的多晶ZnS缓冲层薄膜，该薄膜具有宽的光学带隙、可见光区透射率高、表面平整度高、颗粒粒径小的特点，适合作为铜铟镓硒薄膜太阳能电池的无镉缓冲层薄膜。
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公开(公告)号：CN103173726A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201310081321.4
申请日：2013-03-14
Applicant: 杭州电子科技大学
Inventor： 黄延伟
Abstract: 本发明属于透明导电薄膜技术领域，具体为一种掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备方法。本发明首先以ZnO和TiO2粉末为原料，经过人工研磨或机械球磨混合均匀，将混合粉末装入粉末压片机，制成圆柱状靶材坯料，将靶材坯料放入刚玉坩埚中盖好后置于单晶炉中，在温度为800oC～1200oC之间烧结8～12小时即得到掺钛氧化锌陶瓷靶材，将烧制好的掺钛氧化锌靶材放入电子束蒸发镀膜设备的坩埚内，抽至本底真空，进行电子束蒸发镀膜，控制电子束流和沉积时间即得到掺钛氧化锌透明导电薄膜。本发明方法具有操作简单易控、时间短、沉积速率高等特点，在太阳电池及透明电子器件领域具有较好的应用前景。
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公开(公告)号：CN110047948A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910160461.8
申请日：2019-03-04
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: H01L31/0216 , H01L31/0368 , H01L31/0392 , H01L31/18 , C23C14/35
Abstract: 本发明公开了一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池无镉缓冲层薄膜及制备方法，本发明为含氧硫化锌多晶薄膜，其分子式是ZnxSyOz，其中x＝y+z；ZnxSyOz具有六方纤锌矿晶型结构；本发明制备得到的含氧硫化锌ZnxSyOz(x＝y+z)薄膜不仅消除了含镉缓冲层存在的环境污染隐患，而且带隙宽，与吸收层可以有更好的匹配，可以拓宽电池对太阳光谱的响应范围可以成为一种较为理想的替代CdS缓冲层薄膜的材料。本发明的可见光区透射率可达80％以上，薄膜的光学带隙宽度在3.0～3.8eV之间可调。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102560361B
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201210047506.9
申请日：2012-02-28
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及一种p型透明导电掺锂氧化镍薄膜及其制备方法。本发明首先采用化学纯氧化镍和碳酸锂的混合粉末，经过研磨、压片、固相反应、烧结过程制备出LixNi1-xO陶瓷靶材；然后以普通玻璃为基板，利用LixNi1-xO陶瓷靶，通过电子束蒸发镀膜系统，在适当的电子束流、蒸发高压、蒸发压强、蒸发时间以及后退火处理温度的条件下制备了具有p型透明导电的LixNi1-xO薄膜。所制备的薄膜具有高电导率、可见光范围内相对较高的透射率等优良光电特性。本发明方法获得的p型透明导电氧化物薄膜在透明电子学领域具有较好的应用前景。
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公开(公告)号：CN103102791A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201310059746.5
申请日：2013-02-26
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: C09D175/04 , C09D7/12 , C03C17/32
Abstract: 本发明公开了一种纳米二氧化钛自洁净透明涂层的制备方法，包括如下步骤：1）制备纳米TiO2浆料，将纳米TiO2粉末与分散剂按比例混合并充分搅拌，调节pH值，配制成纳米TiO2浆料；2）制备纳米TiO2自洁净涂料，将纳米TiO2浆料与水性聚氨酯混合，调节pH值，加入流平剂、消泡剂、增稠剂进行分散制得纳米自洁净涂料；3）制备纳米TiO2自洁净透明涂层，将清洗干净的玻璃基底浸没于前述所制备的纳米自洁净涂料液体中，利用旋涂法/提拉法/线棒涂膜法在玻璃基底上制备透明涂层。本发明方法制备的纳米TiO2透明涂层具有较高的可见光透过率和自洁净作用，适用于抗菌涂层和门窗等建筑玻璃领域。
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公开(公告)号：CN105226258B
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201510749684.X
申请日：2015-11-06
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: H01M4/36 , H01M4/48 , H01M10/0525
Abstract: 本发明公开一种锂离子电池负极复合薄膜材料及其制备方法。该负极薄膜为ZnO/SnO2的复合薄膜，将集流体铜箔或者沉积有金属铜膜的铜箔作为衬底，先将衬底用弱酸浸泡去除表面氧化物，然后放入真空镀膜设备的真空腔中进行ZnO过渡层薄膜沉积和SnO2活性层薄膜沉积，得到最终ZnO/SnO2复合薄膜。将所得薄膜作为锂离子电池负极材料组装成锂离子电池，经电化学测试表明ZnO/SnO2复合薄膜比SnO2薄膜更能与集流体形成良好的界面接触，而不加过渡层ZnO的活性薄膜比SnO2易在充放电过程中与集流体发生脱落而失效；利用ZnO/SnO2复合薄膜作为负极的锂离子电池首次放电比容量高、稳定性好以及倍率性能高。
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公开(公告)号：CN103972329B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201410192004.4
申请日：2014-05-07
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池无镉缓冲层的制备方法。本发明将硫化锌粉末在15MPa下保持10s压实成薄圆柱形片，直径1.3cm，厚度2mm，然后在氮气保护下800oC或1000oC度烧结，待温度降为室温取出，放入电子束蒸发镀膜系统所带的铜坩埚内，以充满铜坩埚的三分之二为宜，在普通玻璃衬底上进行电子束蒸发镀膜，制备ZnS薄膜，通过改变适当的电子束流、束流扫描范围、蒸发高压、蒸发压强、蒸发时间、基板温度以及后退火处理温度等条件制备了具有纤锌矿结构的多晶ZnS缓冲层薄膜，该薄膜具有宽的光学带隙、可见光区透射率高、表面平整度高、颗粒粒径小的特点，适合作为铜铟镓硒薄膜太阳能电池的无镉缓冲层薄膜。
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公开(公告)号：CN103102083A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201310059745.0
申请日：2013-02-26
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: C03C17/32 , C09D175/04 , C09D7/12
Abstract: 本发明公开了一种纳米氧化锡锑(ATO)透明隔热薄膜的制备方法，包括如下步骤：1）制备纳米ATO浆料，将ATO纳米粉末与分散剂按比例混合并充分搅拌，调节pH值，配制成纳米ATO浆料；2）制备纳米ATO隔热涂料，将纳米ATO浆料与水性聚氨酯混合，调节pH值，加入流平剂、消泡剂、增稠剂进行分散制得纳米隔热涂料；3）制备透明隔热薄膜，将清洗干净的玻璃基底浸没于前述所制备的纳米隔热涂料液体中，利用旋涂法/提拉法/线棒涂膜法在玻璃基底上制备透明薄膜。本发明方法制备的纳米ATO透明隔热薄膜具有较高的可见光透过率和红外阻隔性，适用于建筑隔热玻璃。在薄膜制备过程中，工艺简单环保、成本低、可大面积均匀成膜。
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