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公开(公告)号：CN108680605A
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201810614489.X
申请日：2018-06-14
Applicant: 杭州电子科技大学
Inventor： 闫文君
IPC: G01N27/00
CPC classification number: G01N27/00
Abstract: 本发明公开了一种WS2/石墨烯复合气凝胶气体传感器的制备方法，本发明首先制备高结晶性石墨烯气凝胶，再制备WS2/石墨烯复合气凝胶，接着制备WS2/石墨烯复合气凝胶悬浮液，令WS2/石墨烯复合气凝胶连接两个传感电极，最后采用引线键合技术，将传感电极芯片通过电路连线到封装基板上，制作成传感器件。本发明制备的WS2/石墨烯复合气凝胶既维持了二维材料的层状特性，又具有大量的交叉孔洞，使其集成到器件后仍具有超高的有效比表面积；本发明制备的WS2/石墨烯复合气凝胶气体传感器在不同温度、不同湿度下均具有良好的气敏性能。
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公开(公告)号：CN118883815A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202411346211.0
申请日：2024-09-26
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01N31/10 , G01N31/12 , G01N27/407
Abstract: 本发明公开了锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器及制备方法。所述传感器，从下到上依次包括氧化硅支撑层、加热电极和传感电极、氮化硅隔离层和非贵金属中熵合金气敏薄膜。所述非贵金属为Fe、Co、Ni、Ti、V、Cu中的任意三种。所述传感器的制备方法包括将非贵金属充分球磨、混合，形成中熵合金粉末，加热后得到气敏功能粉末。向气敏功能粉末加入玻璃粉、乙基纤维素、乙二醇，充分混合均匀后得到气敏浆料，将气敏浆料点涂在MEMS芯片的悬浮膜表面，加热后形成稳定的气敏薄膜，即得到于锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器。该传感器不含贵金属，可以降低制备成本。
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公开(公告)号：CN113433172B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202110710234.5
申请日：2021-06-25
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种基于MOFs材料的新型氨气传感器的制备方法，本发明将ZrCl4、对苯二甲酸、对苯二甲酸磺酸钠加入到N,N‑二甲基甲酰胺和乙酸的混合溶剂中，超声溶解，将溶解后的液体放置在烘箱中反应，冷却至室温；将产物反复用乙醇清洗，得到磺酸化的UiO‑66材料；将制备得到的UiO‑66‑HSO3材料，与松油醇混合研磨均匀，形成有粘度的浆料；将集成有微加热板的硅基底叉指电极芯片作传感器芯片，将上述制备的浆料涂覆于叉指电极中间位置，利用集成的微加热板加热，除去有机溶剂松油醇；利用集成的微加热器持续加热老化，获得性能稳定的气体传感器。本发明可以实现在常温下对氨气的快速响应和选择性探测性能。
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公开(公告)号：CN111307880A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010099642.7
申请日：2020-02-18
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明提出了基于MOF核壳纳米结构的有机挥发性气体传感器的制备方法，该方法利用一定浓度的二水醋酸钴水溶液(或二水醋酸锌水溶液)与二甲基咪唑水溶液合成ZIF67(或ZIF8)固体，溶于二甲基咪唑水溶液后与二水醋酸锌水溶液(或二水醋酸钴水溶液)发生反应，离心分离溶液中的固体后，洗涤并真空干燥，获得MOF核壳结构纳米材料，溶于异丙醇水溶液后获得敏感材料悬浮液，滴涂到集成有微加热器的传感电极之间并加热，制作成气体传感器。利用该方法制备的传感器工作温度范围大、适用条件宽松，对有机挥发性气体具有良好的敏感特性，且制备方法简答、成本低廉。
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公开(公告)号：CN111307880B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202010099642.7
申请日：2020-02-18
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明提出了基于MOF核壳纳米结构的有机挥发性气体传感器的制备方法，该方法利用一定浓度的二水醋酸钴水溶液(或二水醋酸锌水溶液)与二甲基咪唑水溶液合成ZIF67(或ZIF8)固体，溶于二甲基咪唑水溶液后与二水醋酸锌水溶液(或二水醋酸钴水溶液)发生反应，离心分离溶液中的固体后，洗涤并真空干燥，获得MOF核壳结构纳米材料，溶于异丙醇水溶液后获得敏感材料悬浮液，滴涂到集成有微加热器的传感电极之间并加热，制作成气体传感器。利用该方法制备的传感器工作温度范围大、适用条件宽松，对有机挥发性气体具有良好的敏感特性，且制备方法简答、成本低廉。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110940707B
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN201911136937.0
申请日：2019-11-19
Applicant: 杭州电子科技大学
Inventor： 闫文君
Abstract: 本发明公开了一种超敏感乙醇气体传感器用ZnO‑In2O3纳米复合材料的制备方法，本发明将Zn(NO3)2、In(NO3)2和十二烷基硫酸钠、尿素溶于去离子水中，搅拌并装入反应釜，进行水热反应，水热反应后的产物分离、洗涤、烘干；将烘干后的水热产物置于马弗炉中高温热处理再结晶，最终获得所需的ZnO‑In2O3纳米复合材料，本发明对乙醇蒸汽具有良好的选择探测性，且探测重复性和稳定性良好，非常具有实际应用价值，本发明对低浓度乙醇蒸汽具有超快的响应和恢复探测特性；在较大的工作温度范围内具有超敏感的探测特性。
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公开(公告)号：CN113447532A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202110711670.4
申请日：2021-06-25
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种Fe3O4@UiO‑66结构气体传感器的制备方法，本发明将FeCl3·6H2O溶解在乙二醇里，超声、搅拌，使溶液分散均匀。然后加入聚丙烯酸，去离子水和尿素；超声10分钟后，在水热釜内反应，冷却至室温，分离得到Fe3O4纳米颗粒。将Fe3O4纳米粉末加入到N,N‑二甲基甲酰胺溶剂中超声，得到Fe3O4分散液，将ZrCl4和对苯二甲酸加入到DMF中，得到UiO‑66前驱体溶液，将上述两种液体超声混合均匀，然后放置在烘箱中反应后，冷却至室温，分离得到Fe3O4@UiO‑66纳米复合材料，制得气体传感器。本发明对乙醇蒸汽的探测重复性和稳定性良好，非常具有实际应用价值。
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公开(公告)号：CN110940707A
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201911136937.0
申请日：2019-11-19
Applicant: 杭州电子科技大学
Inventor： 闫文君
Abstract: 本发明公开了一种超敏感乙醇气体传感器用ZnO-In2O3纳米复合材料的制备方法，本发明将Zn(NO3)2、In(NO3)2和十二烷基硫酸钠、尿素溶于去离子水中，搅拌并装入反应釜，进行水热反应，水热反应后的产物分离、洗涤、烘干；将烘干后的水热产物置于马弗炉中高温热处理再结晶，最终获得所需的ZnO-In2O3纳米复合材料，本发明对乙醇蒸汽具有良好的选择探测性，且探测重复性和稳定性良好，非常具有实际应用价值，本发明对低浓度乙醇蒸汽具有超快的响应和恢复探测特性；在较大的工作温度范围内具有超敏感的探测特性。
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公开(公告)号：CN118010807A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410120797.2
申请日：2024-01-29
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01N27/12 , G06F18/213 , G06F18/214 , G06N3/06 , G06N3/047 , G06N3/084
Abstract: 本发明公开了一种基于多维信息提取的气体智能识别方法，提取传感器感测不同气体时稳态响应数据及多种动态特征参数，结合多层感知机实现不同气体识别检测；集成两对传感电极的芯片；传感器件置于测试腔中，对两个传感器施加恒定的工作电压2‑5V，针对特定应用场景选择不同标准气体，分别设定不同浓度通入测试腔中，提取了传感器灵敏度、动态响应参数、动态恢复参数等多维度信息，利用多种特征参数融合的方式使得传感器数据更全面、准确，增强了模型的鲁棒性，改进了使用单一特征识别带来的模型敏感不稳定的问题。本发明提取多维信息用于气体识别，有助于捕获数据中的复杂关系和交互作用，提高了模型的可靠性和适应性。
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公开(公告)号：CN112816525B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202011625478.5
申请日：2020-12-31
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种用于海鲜新鲜度检测的半导体气体传感器的制备方法，本发明开发了一种对三甲胺气体具有超快响应和良好选择性的半导体核壳结构纳米材料Co3O4@ZnO，该材料通过氧化核壳结构ZIF67@ZIF8制得，具有多孔性和空心结构；将Co3O4@ZnO纳米材料与松油醇混合研磨均匀，形成有一定粘度的浆料；采用基于MEMS技术的集成有微加热器的硅基底叉指电极芯片作传感器芯片，将上述制备的浆料涂覆于叉指电极中间位置，获得性能稳定的传感器件。本发明制备的传感器检测三甲胺气体时具有良好的选择性，不受乙醇、氨气等干扰，且受环境湿度影响极小，响应迅速、恢复彻底。
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