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公开(公告)号：CN118883815B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411346211.0
申请日：2024-09-26
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01N31/10 , G01N31/12 , G01N27/407
Abstract: 本发明公开了锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器及制备方法。所述传感器，从下到上依次包括氧化硅支撑层、加热电极和传感电极、氮化硅隔离层和非贵金属中熵合金气敏薄膜。所述非贵金属为Fe、Co、Ni、Ti、V、Cu中的任意三种。所述传感器的制备方法包括将非贵金属充分球磨、混合，形成中熵合金粉末，加热后得到气敏功能粉末。向气敏功能粉末加入玻璃粉、乙基纤维素、乙二醇，充分混合均匀后得到气敏浆料，将气敏浆料点涂在MEMS芯片的悬浮膜表面，加热后形成稳定的气敏薄膜，即得到于锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器。该传感器不含贵金属，可以降低制备成本。
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公开(公告)号：CN118883815A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202411346211.0
申请日：2024-09-26
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01N31/10 , G01N31/12 , G01N27/407
Abstract: 本发明公开了锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器及制备方法。所述传感器，从下到上依次包括氧化硅支撑层、加热电极和传感电极、氮化硅隔离层和非贵金属中熵合金气敏薄膜。所述非贵金属为Fe、Co、Ni、Ti、V、Cu中的任意三种。所述传感器的制备方法包括将非贵金属充分球磨、混合，形成中熵合金粉末，加热后得到气敏功能粉末。向气敏功能粉末加入玻璃粉、乙基纤维素、乙二醇，充分混合均匀后得到气敏浆料，将气敏浆料点涂在MEMS芯片的悬浮膜表面，加热后形成稳定的气敏薄膜，即得到于锂电池热失控检测的双模式MEMS传感器。该传感器不含贵金属，可以降低制备成本。
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公开(公告)号：CN111307880A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010099642.7
申请日：2020-02-18
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明提出了基于MOF核壳纳米结构的有机挥发性气体传感器的制备方法，该方法利用一定浓度的二水醋酸钴水溶液(或二水醋酸锌水溶液)与二甲基咪唑水溶液合成ZIF67(或ZIF8)固体，溶于二甲基咪唑水溶液后与二水醋酸锌水溶液(或二水醋酸钴水溶液)发生反应，离心分离溶液中的固体后，洗涤并真空干燥，获得MOF核壳结构纳米材料，溶于异丙醇水溶液后获得敏感材料悬浮液，滴涂到集成有微加热器的传感电极之间并加热，制作成气体传感器。利用该方法制备的传感器工作温度范围大、适用条件宽松，对有机挥发性气体具有良好的敏感特性，且制备方法简答、成本低廉。
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公开(公告)号：CN111307880B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202010099642.7
申请日：2020-02-18
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明提出了基于MOF核壳纳米结构的有机挥发性气体传感器的制备方法，该方法利用一定浓度的二水醋酸钴水溶液(或二水醋酸锌水溶液)与二甲基咪唑水溶液合成ZIF67(或ZIF8)固体，溶于二甲基咪唑水溶液后与二水醋酸锌水溶液(或二水醋酸钴水溶液)发生反应，离心分离溶液中的固体后，洗涤并真空干燥，获得MOF核壳结构纳米材料，溶于异丙醇水溶液后获得敏感材料悬浮液，滴涂到集成有微加热器的传感电极之间并加热，制作成气体传感器。利用该方法制备的传感器工作温度范围大、适用条件宽松，对有机挥发性气体具有良好的敏感特性，且制备方法简答、成本低廉。
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