一种气/湿敏两用半导体传感器的制备方法及使用方法

    公开(公告)号:CN112858402A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN202011632133.2

    申请日:2020-12-31

    Abstract: 本发明公开了一种气/湿敏两用半导体传感器的制备方法及使用方法,本发明将二氧化锡纳米颗粒、氯化钯、松油醇研磨均匀,形成有一定粘度的浆料;采用基于MEMS技术的集成有微加热器的硅基底叉指电极芯片作传感器芯片,将上述制备的浆料涂覆于叉指电极中间位置,利用集成的微加热器,除去有机溶剂松油醇;利用集成的微加热器350℃持续加热老化,获得性能稳定的传感器件。本发明制备了可同时用于检测环境湿度和有机挥发性气体的气/湿敏两用半导体传感器;本发明中制备的半导体传感器在室温下对环境湿度具有良好的选择探测性;本发明中制备的半导体传感器在室温下对环境湿度具有超敏感的探测特性,且稳定性良好。

    Novec1230作为沉浸式绝缘冷却液的应用

    公开(公告)号:CN112629156A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202011530052.1

    申请日:2020-12-22

    Abstract: 本发明公开了Novec 1230作为沉浸式绝缘冷却液的应用。目前Novec 1230主要用作灭火剂。将Novec1230置于在密闭容器中,待冷却电子芯片置于Novec1230液体内,蒸汽压缩式制冷循环中的蒸发器设置在密闭容器内的上部,Novec1230吸热达到沸点时,液体蒸发变为气体,通过蒸发器再冷凝为液体,滴落回密闭容器中。本发明采用Novec 1230作为沉浸式绝缘冷却中的冷却液,可以有效对电子芯片等用电设备进行冷却,冷却效果显著,且符合绝缘要求。

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