基于高储能效率的二维纳米复合介电材料的制备方法

    公开(公告)号:CN109400924B

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:CN201810980328.2

    申请日:2018-08-27

    Abstract: 本发明涉及一种基于高储能效率的新型二维纳米复合介电材料的制备方法。常见电容器材料有聚合物材料和铁电陶瓷材料两类,均存在各自问题。本发明方法首先采用水热共沉淀法合成Zn(1‑x)MxO@MoS2纳米粉末,其中Zn(1‑x)MxO纳米颗粒为二维纳米复合填料,是对ZnO纳米颗粒进行处理,掺杂其他金属颗粒Co、Ni或Fe形成的复合结构。将聚合物完全溶解在极性溶液中,形成聚合物溶液。然后将Zn(1‑x)MxO@MoS2纳米粉末添加到聚合物溶液中,搅拌形成混合液。将混合液超声、搅拌重复处理多次,形成悬浮液,将悬浮液制备薄膜,最后将薄膜保温、淬火处理后得到复合薄膜材料。本发明方法制备的复合薄膜具有韧性好、厚度薄、介电常数高、储能密度高、损耗小的特点,制备方法简单,易于大批量生产。

    一种基于柔性材料的MEMS加速度传感器的设计及其制作方法

    公开(公告)号:CN107167630A

    公开(公告)日:2017-09-15

    申请号:CN201710435498.8

    申请日:2017-06-11

    CPC classification number: G01P15/0897

    Abstract: 本发明涉及一种基于柔性材料的MEMS加速度传感器的设计及其制作方法。本发明所涉及的MEMS加速度传感器使用柔性材料作为基底,没有在硅片上开孔形成空腔结构,而是通过BCB键合胶把玻璃盖板和硅片键合来形成密闭空腔,这样就可以使用表面微加工工艺来制作,简化工艺。在所述的第一基板上制作的柔性材料聚酰亚胺膜可以用来来防止热量散失,保证热气团更好地发挥作用和降低功耗,另外聚酰亚胺膜也可以防止铂电极漏电,这种设计制作出来的传感器结构更稳定,可靠性高,性能也更好。更重要的是,基于柔性材料的MEMS加速度传感器打破了传统传感器制作在刚性基底的限制,对新型柔性传感器的发展起了推动作用,并且此传感器作为柔性器件可以拓宽MEMS加速度传感器的应用前景。

    一种基于热对流原理的微机械加速度传感器

    公开(公告)号:CN107192849B

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN201710435499.2

    申请日:2017-06-11

    Abstract: 本发明涉及一种基于热对流原理的微机械加速度传感器的设计及其制作方法。本发明所涉及的热对流式微机械加速度传感器没有在硅片上开孔形成腔结构,而是通过BCB键合胶把玻璃盖板和硅片键合来形成密闭空腔,并且在所述的第一基底上制作了一层聚酰亚胺膜来防止热量散失,保证热气团更好地发挥作用和降低功耗,另外聚酰亚胺膜也可以防止铂电极漏电,这种设计使工艺过程变得简单而且制作出来的传感器结构更稳定,可靠性高,性能也更好。

    基于PMMA三明治结构的高储能介电复合材料制备方法

    公开(公告)号:CN108752612A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810558849.9

    申请日:2018-06-01

    CPC classification number: C08J5/18 C08J2327/16 C08J2333/12 C08K9/02

    Abstract: 本发明涉及基于PMMA三明治结构的高储能介电复合材料制备方法。现有的单层复合材料电性能提升不明显。本发明方法首先将聚甲基丙烯酸甲酯颗粒溶解在极性溶液中,形成PMMA溶液;用活化剂对粒径为1~100nm的反铁电陶瓷填料进行表面活化,用偶联剂对陶瓷填料进行表面改性;将聚合物添加到极性溶液中,形成聚合物溶液;将表面改性的陶瓷填料加入聚合物溶液中,形成悬浮液;将PMMA溶液涂覆在基膜上,干燥后涂覆悬浮液,干燥后再涂覆PMMA溶液,干燥后形成三层结构的薄膜;经熔融、淬火、热压处理,得到成品膜。本发明上下表面的聚合物层提高了击穿场强,复合材料中间层提高了介电常数和电位移,同时兼顾两种材料的优点,提高了薄膜性能。

    反铁电陶瓷/PVDF 0-3结构复合材料及其热处理制备方法

    公开(公告)号:CN107216581B

    公开(公告)日:2019-03-29

    申请号:CN201710435500.1

    申请日:2017-06-11

    Abstract: 本发明涉及一种反铁电陶瓷/PVDF0‑3结构复合材料及其热处理制备方法。本发明由反铁电陶瓷粉末和PVDF基聚合物组成,反铁电陶瓷粉末作为添加粒子均匀分布在聚合物基体内,通过流延法制备得到复合材料膜,并将其进行淬火热处理,所得膜厚为1~100微米,复合材料中反铁电陶瓷粒子体积分数在0~70%之间。本发明采用反铁电陶瓷粒子作为填充粒子制备的0‑3复合材料,即可以有效提高复合材料的电位移值与击穿电场值,还能降低剩余极化减少损耗,从而有利于提高复合材料的储能与放能值,提高储放能效率。

    基于高储能效率的新型二维纳米复合介电材料的制备方法

    公开(公告)号:CN109400924A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201810980328.2

    申请日:2018-08-27

    Abstract: 本发明涉及一种基于高储能效率的新型二维纳米复合介电材料的制备方法。常见电容器材料有聚合物材料和铁电陶瓷材料两类,均存在各自问题。本发明方法首先采用水热共沉淀法合成Zn(1-x)MxO@MoS2纳米粉末,其中Zn(1-x)MxO纳米颗粒为二维纳米复合填料,是对ZnO纳米颗粒进行处理,掺杂其他金属颗粒Co、Ni或Fe形成的复合结构。将聚合物完全溶解在极性溶液中,形成聚合物溶液。然后将Zn(1-x)MxO@MoS2纳米粉末添加到聚合物溶液中,搅拌形成混合液。将混合液超声、搅拌重复处理多次,形成悬浮液,将悬浮液制备薄膜,最后将薄膜保温、淬火处理后得到复合薄膜材料。本发明方法制备的复合薄膜具有韧性好、厚度薄、介电常数高、储能密度高、损耗小的特点,制备方法简单,易于大批量生产。

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