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公开(公告)号：CN114720448A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210180299.8
申请日：2022-02-25
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明提出一种半导体氧化物纳米颗粒修饰贵金属纳米锥阵列结构的SERS衬底的制备方法，包括：首先采用低温电感耦合等离子体增强反应离子刻蚀技术，对硅片进行无掩膜刻蚀，获得高密度大面积纳米硅锥阵列结构；然后利用磁控溅射或热蒸镀在上述纳米硅锥结构上包覆一层纳米厚度的贵金属膜；最后采用提拉浸渍法在上述贵金属膜覆盖的纳米硅锥上均匀单分散负载一层ZnO纳米颗粒获得SERS衬底。本发明制备得到的ZnO纳米颗粒修饰贵金属纳米锥阵列结构SERS衬底具有贵金属的物理电磁增强效应，还耦合了半导体的电荷转移化学增强机制，通过二者的协同效应，对于提高SERS衬底的灵敏度、增强因子、实际检测中对痕量物质的定量分析能力具有重要意义。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114720448B
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202210180299.8
申请日：2022-02-25
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明提出一种半导体氧化物纳米颗粒修饰贵金属纳米锥阵列结构的SERS衬底的制备方法，包括：首先采用低温电感耦合等离子体增强反应离子刻蚀技术，对硅片进行无掩膜刻蚀，获得高密度大面积纳米硅锥阵列结构；然后利用磁控溅射或热蒸镀在上述纳米硅锥结构上包覆一层纳米厚度的贵金属膜；最后采用提拉浸渍法在上述贵金属膜覆盖的纳米硅锥上均匀单分散负载一层ZnO纳米颗粒获得SERS衬底。本发明制备得到的ZnO纳米颗粒修饰贵金属纳米锥阵列结构SERS衬底具有贵金属的物理电磁增强效应，还耦合了半导体的电荷转移化学增强机制，通过二者的协同效应，对于提高SERS衬底的灵敏度、增强因子、实际检测中对痕量物质的定量分析能力具有重要意义。
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公开(公告)号：CN112786772B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202110026188.7
申请日：2021-01-08
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 一种红外增强吸收金属纳米材料及其制备方法，材料包括：钽酸锂晶片，钽酸锂晶片的下表面自上而下依次设有Ti/Cr层和Au层，钽酸锂晶片的上表面自下而上依次设有Ti/Cr层以及Al层和金黑层。方法包括：在钽酸锂晶片的下表面自上而下依次制备Ti/Cr层和Au层，在钽酸锂晶片的上表面自下而上依次制备Ti/Cr层以及Al层；在Al层表面制备一层高分子粘附层；将不锈钢掩模板置于钽酸锂晶片的上方；采用高纯金粒为原料，通过惰性气体氛围热蒸镀的方式，在高分子粘附层的上表面制备金黑层。采用本发明提升宽谱吸收率、提升衬底粘附性以及实现图形化大面积制备，该方法制备工艺简单，产品可靠性好，适合产业化生产。
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公开(公告)号：CN114873554A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210240429.2
申请日：2022-03-10
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
IPC: B81C1/00 , C23C14/04 , C23C14/16 , C23C14/35 , C30B29/06 , C30B33/10 , B82Y15/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了属于光学器件技术领域的一种银辅助湿法刻蚀黑硅的制备方法。所述方法通过磁控溅射的方法，在单晶硅或CVD多晶硅衬底上沉积制备银纳米颗粒的点阵或图案，然后将沉积后的衬底置于反应溶液中进行刻蚀，刻蚀方向为银纳米颗粒与衬底的竖直方向，得到图案化纳米硅柱结构，最后去除银纳米颗粒经干燥得到图案化黑硅。本发明方法制备的银辅助湿法刻蚀黑硅实现晶圆级制备，使纳米硅柱直径、间距可控，并具有较好的重复性，同时引入光刻工艺实现图形化。
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公开(公告)号：CN117144290A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202310393349.5
申请日：2023-04-13
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了属于光学器件技术领域的及一种多级纳米结构及其制备方法。所述方法使用磁控溅射工艺，通过对溅射压强、溅射功率、溅射时间的工艺参数调控制备出不同间距、大小的纳米贵金属颗粒。采用贵金属在纳米硅柱表面修饰二级纳米结构，可实现晶圆级大面积制备，克服了传统单一硅基纳米结构在1.1μm～5μm红外波段的低吸收问题，可达到更高的红外吸收效果。本发明方法制备的多级纳米结构可实现晶圆级大面积制备，相比传统单一硅基纳米结构，可达到更高的红外吸收效果。
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公开(公告)号：CN112786772A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202110026188.7
申请日：2021-01-08
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 一种红外增强吸收金属纳米材料及其制备方法，材料包括：钽酸锂晶片，钽酸锂晶片的下表面自上而下依次设有Ti/Cr层和Au层，钽酸锂晶片的上表面自下而上依次设有Ti/Cr层以及Al层和金黑层。方法包括：在钽酸锂晶片的下表面自上而下依次制备Ti/Cr层和Au层，在钽酸锂晶片的上表面自下而上依次制备Ti/Cr层以及Al层；在Al层表面制备一层高分子粘附层；将不锈钢掩模板置于钽酸锂晶片的上方；采用高纯金粒为原料，通过惰性气体氛围热蒸镀的方式，在高分子粘附层的上表面制备金黑层。采用本发明提升宽谱吸收率、提升衬底粘附性以及实现图形化大面积制备，该方法制备工艺简单，产品可靠性好，适合产业化生产。
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