公开(公告)号：CN118116861A

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202410102727.4

申请日：2024-01-24

Applicant: 晋城市光机电产业协调服务中心(晋城市光机电产业研究院)

Inventor： 陈宇星 ,  张马俊 ,  李利 ,  齐东东

IPC: H01L21/687 ,  B24B41/06 ,  B24B1/00 ,  H01L21/683 ,  H01L21/02 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种晶圆减薄用托盘及晶圆减薄方法，属于晶圆减薄技术领域，晶圆减薄用托盘包括盘体，呈圆片状，具有相背设置的第一面和第二面，所述第一面用于粘接待处理晶圆，所述第一面上设置有进液槽，所述进液槽与所述盘体的边缘连通。晶圆减薄方法包括以下步骤：步骤一，将晶圆粘附于托盘的第一面上；步骤二，将托盘放置于减薄设备中，对晶圆进行减薄处理；步骤三，使用下蜡工艺将晶圆与托盘分离。本发明提供的晶圆减薄用托盘，进液槽的设置使得晶圆下片时，去蜡液可以通过进液槽快速向晶圆面内扩散，溶解速度快，使得晶圆和托盘更容易分离，下片工序在3min左右便可完成，节省了大量时间。

公开(公告)号：CN119819333A

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202510031521.1

申请日：2025-01-09

Applicant: 河北工业大学 ,  晋城市光机电产业协调服务中心(晋城市光机电产业研究院)

Inventor： 孙春 ,  丁晔琳 ,  臧泽康 ,  齐东东

IPC: B01J27/138 ,  B01J35/39 ,  C02F1/30 ,  C02F101/30

Abstract: 本发明为一种Bi掺杂ZnIn2S4/BiOBr异质结光催化剂的制备方法和应用。该方法采用钙钛矿一步转化法，先将氯化铟、氯化锌和TAA加入无水乙醇中反应得到ZnIn2S4；再将得到的ZnIn2S4和CsBr、BiBr3加入到DMSO中制备前驱体溶液，然后注入到异丙醇中，制得Cs3Bi2Br9/ZnIn2S4；最后分散到去离子水中，得到Bi掺杂ZnIn2S4/BiOBr光催化剂。本发明在处理有机染料污水处理方面效果显著，大大提高了污水处理的效率。