-
公开(公告)号：CN101266803B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200810082889.7
申请日：2008-03-11
CPC classification number: B08B1/04 , H01L21/67046
Abstract: 一种圆盘状基板的制造方法、清洗装置，使得能够实现更加稳定的擦洗，制造出颗粒少的良好圆盘状基板。该圆盘状基板的清洗装置在供给清洗液的同时对圆盘状基板(10)的表面进行擦洗，该清洗装置包括：圆筒形的第一多孔质辊子(110a)，其可以与圆盘状基板(10)的第一面接触；圆筒形的第二多孔质辊子(110b)，其可以与圆盘状基板(10)的第二面接触；以及轴间距离变更机构，其使第一多孔质辊子(110a)和第二多孔质辊子(110b)在改变它们的轴间距离的方向即x方向上移动，该轴间距离变更机构使第一多孔质辊子(110a)和第二多孔质辊子(110b)停止在预先设定的轴间位置上，并与圆盘状基板(10)接触。
-
公开(公告)号：CN101143422B
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200710149285.5
申请日：2007-09-11
IPC: B24B5/48
Abstract: 本发明提供一种圆盘状基板的内周研磨方法，其通过简便的方法没有差别且精度良好地研磨圆盘状基板的中心的开孔。该圆盘状基板的内周研磨方法对在中心具有开孔的圆盘状基板的内周进行研磨，在圆盘状基板的开孔中插入刷子，将该刷子的一端和另一端固定于安装在彼此远离的位置上的一对旋转轴，牵引刷子的一端和/或另一端，对刷子的芯施加轴芯方向的牵引力，使该刷子旋转来进行研磨。
-
公开(公告)号：CN101269471A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810085456.7
申请日：2008-03-17
CPC classification number: B24B7/228 , B24B37/042 , B24B55/06
Abstract: 一种圆盘状基板的制造方法，利用该圆盘状基板的制造方法能够以低廉的设备费用来实现良好的除尘环境，并在该良好的除尘环境中制造出高精度的圆盘状基板。在利用磨削装置(110)和研磨装置(111)对圆盘状基板进行磨削和研磨的工序中，从顶棚(120)向地板面产生气流，在设置有该磨削装置(110)和研磨装置(111)的同一平面中，在地板面上设置由开设有贯通孔(131)的板形成的多孔地板(130)，使水流入该多孔地板(130)的下部，从而借助于来自顶棚(120)的气流将由磨削装置(110)和研磨装置(111)产生的粉尘导入水中。
-
公开(公告)号：CN101143422A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200710149285.5
申请日：2007-09-11
IPC: B24B5/48
Abstract: 本发明提供一种圆盘状基板的内周研磨方法和内周被研磨的圆盘状基板，其通过简便的方法没有差别且精度良好地研磨圆盘状基板的中心的开孔。该圆盘状基板的内周研磨方法对在中心具有开孔的圆盘状基板的内周进行研磨，在圆盘状基板的开孔中插入刷子，将该刷子的一端和另一端固定于安装在彼此远离的位置上的一对旋转轴，牵引刷子的一端和/或另一端，对刷子的芯施加轴芯方向的牵引力，使该刷子旋转来进行研磨。
-
公开(公告)号：CN101224552B
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200810003054.8
申请日：2008-01-18
IPC: B24B7/20 , H01L21/304 , B24B29/00 , B24B37/04
Abstract: 本发明提供圆盘状基板的磨削方法、磨削装置，能够利用圆盘状基板的外周磨削和内周磨削，在磨削后的内周及外周提高同心度。圆盘状基板(10)的磨削方法一边使在中央具有开孔的圆盘状基板(10)旋转一边对其进行磨削，其中，一边将内周磨石(31)朝向外周方向(C方向)进给一边磨削圆盘状基板(10)的内周(12)，并且，一边将外周磨石(51)朝向内周方向(A方向)进给一边磨削圆盘状基板(10)的外周(13)，且使该内周磨石(31)和外周磨石(51)的进给大致同时停止。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101266803A
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200810082889.7
申请日：2008-03-11
CPC classification number: B08B1/04 , H01L21/67046
Abstract: 一种圆盘状基板的制造方法、清洗装置，使得能够实现更加稳定的擦洗，制造出颗粒少的良好圆盘状基板。该圆盘状基板的清洗装置在供给清洗液的同时对圆盘状基板(10)的表面进行擦洗，该清洗装置包括：圆筒形的第一多孔质辊子(110a)，其可以与圆盘状基板(10)的第一面接触；圆筒形的第二多孔质辊子(110b)，其可以与圆盘状基板(10)的第二面接触；以及轴间距离变更机构，其使第一多孔质辊子(110a)和第二多孔质辊子(110b)在改变它们的轴间距离的方向即x方向上移动，该轴间距离变更机构使第一多孔质辊子(110a)和第二多孔质辊子(110b)停止在预先设定的轴间位置上，并与圆盘状基板(10)接触。
-
公开(公告)号：CN101249623A
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200810009688.4
申请日：2008-02-20
IPC: B24B7/20 , H01L21/304 , B24B29/00 , B24B37/04
CPC classification number: B24B9/065 , B24B29/005
Abstract: 本发明提供圆盘状基板的研磨方法、研磨装置，在利用刷所进行的圆盘状基板的外周研磨工序中，大幅提高研磨性能以使例如磨削伤变平滑。圆盘状基板的研磨方法使用研磨液来研磨圆盘状基板的端面，该方法具备：第一研磨工序(S101～S109)，其使用使树脂中含有研磨磨粒而制成的第一刷来研磨端面；以及第二研磨工序(S110～S117)，其在通过该第一研磨工序而使用第一刷来研磨端面后，使用由不含研磨磨粒的树脂制成的第二刷来进一步研磨端面。
-
公开(公告)号：CN101224552A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200810003054.8
申请日：2008-01-18
IPC: B24B7/20 , H01L21/304 , B24B29/00 , B24B37/04
Abstract: 本发明提供圆盘状基板的磨削方法、磨削装置，能够利用圆盘状基板的外周磨削和内周磨削，在磨削后的内周及外周提高同心度。圆盘状基板(10)的磨削方法一边使在中央具有开孔的圆盘状基板(10)旋转一边对其进行磨削，其中，一边将内周磨石(31)朝向外周方向(C方向)进给一边磨削圆盘状基板(10)的内周(12)，并且，一边将外周磨石(51)朝向内周方向(A方向)进给一边磨削圆盘状基板(10)的外周(13)，且使该内周磨石(31)和外周磨石(51)的进给大致同时停止。
-
公开(公告)号：CN101186020A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200710186662.2
申请日：2007-11-21
IPC: B24B5/48 , B24B37/02 , B24D13/10 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供研磨装置、研磨刷及圆盘状基板的制造方法，可促进研磨液向研磨作业区域的供给并可在层叠加工体的层叠方向上均匀地研磨。研磨机构在支撑于旋转工作台上的层叠加工体的中心孔中插入研磨刷，且从研磨浆供给喷嘴向层叠加工体的上表面供给研磨浆，使层叠加工体旋转，并使研磨刷一边旋转一边在其轴向(上下方向)上以预定行程往复移动，从而研磨中心孔的内周面(圆盘状基板的内周面)。层叠加工体将圆盘状基板层叠多张并按照预定张数夹装从外周面向中心孔供给研磨浆的研磨浆导入体，且支撑于保持架上，另外，以覆盖该圆盘状基板的层叠部位的方式安装罩。在研磨作业时，在罩的内侧流动的研磨浆经研磨浆导入体向中心孔供给。
-
公开(公告)号：CN101186020B
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN200710186662.2
申请日：2007-11-21
Applicant: 昭和电工株式会社
IPC: B24B5/48 , B24B37/02 , B24D13/10 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供研磨装置、研磨刷及圆盘状基板的制造方法，可促进研磨液向研磨作业区域的供给并可在层叠加工体的层叠方向上均匀地研磨。研磨机构在支撑于旋转工作台上的层叠加工体的中心孔中插入研磨刷，且从研磨浆供给喷嘴向层叠加工体的上表面供给研磨浆，使层叠加工体旋转，并使研磨刷一边旋转一边在其轴向(上下方向)上以预定行程往复移动，从而研磨中心孔的内周面(圆盘状基板的内周面)。层叠加工体将圆盘状基板层叠多张并按照预定张数夹装从外周面向中心孔供给研磨浆的研磨浆导入体，且支撑于保持架上，另外，以覆盖该圆盘状基板的层叠部位的方式安装罩。在研磨作业时，在罩的内侧流动的研磨浆经研磨浆导入体向中心孔供给。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
32
records
(took 0.03 seconds)
