公开(公告)号：CN101266803A

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200810082889.7

申请日：2008-03-11

Applicant: 昭和电工株式会社 ,  西铁城精密株式会社

Inventor： 羽根田和幸 ,  小林正彦 ,  远山行仲

IPC: G11B5/84 ,  C03C23/00 ,  B08B7/04 ,  B08B1/04 ,  B08B11/04 ,  B08B3/04

CPC classification number: B08B1/04 ,  H01L21/67046

Abstract: 一种圆盘状基板的制造方法、清洗装置，使得能够实现更加稳定的擦洗，制造出颗粒少的良好圆盘状基板。该圆盘状基板的清洗装置在供给清洗液的同时对圆盘状基板(10)的表面进行擦洗，该清洗装置包括：圆筒形的第一多孔质辊子(110a)，其可以与圆盘状基板(10)的第一面接触；圆筒形的第二多孔质辊子(110b)，其可以与圆盘状基板(10)的第二面接触；以及轴间距离变更机构，其使第一多孔质辊子(110a)和第二多孔质辊子(110b)在改变它们的轴间距离的方向即x方向上移动，该轴间距离变更机构使第一多孔质辊子(110a)和第二多孔质辊子(110b)停止在预先设定的轴间位置上，并与圆盘状基板(10)接触。

公开(公告)号：CN101266803B

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200810082889.7

申请日：2008-03-11

Applicant: 昭和电工株式会社 ,  西铁城精密株式会社

Inventor： 羽根田和幸 ,  小林正彦 ,  远山行仲

IPC: G11B5/84 ,  C03C23/00 ,  B08B7/04 ,  B08B1/04 ,  B08B11/04 ,  B08B3/04

CPC classification number: B08B1/04 ,  H01L21/67046

Abstract: 一种圆盘状基板的制造方法、清洗装置，使得能够实现更加稳定的擦洗，制造出颗粒少的良好圆盘状基板。该圆盘状基板的清洗装置在供给清洗液的同时对圆盘状基板(10)的表面进行擦洗，该清洗装置包括：圆筒形的第一多孔质辊子(110a)，其可以与圆盘状基板(10)的第一面接触；圆筒形的第二多孔质辊子(110b)，其可以与圆盘状基板(10)的第二面接触；以及轴间距离变更机构，其使第一多孔质辊子(110a)和第二多孔质辊子(110b)在改变它们的轴间距离的方向即x方向上移动，该轴间距离变更机构使第一多孔质辊子(110a)和第二多孔质辊子(110b)停止在预先设定的轴间位置上，并与圆盘状基板(10)接触。