圆盘状基板的制造方法、清洗装置

    公开(公告)号:CN101266803A

    公开(公告)日:2008-09-17

    申请号:CN200810082889.7

    申请日:2008-03-11

    CPC classification number: B08B1/04 H01L21/67046

    Abstract: 一种圆盘状基板的制造方法、清洗装置,使得能够实现更加稳定的擦洗,制造出颗粒少的良好圆盘状基板。该圆盘状基板的清洗装置在供给清洗液的同时对圆盘状基板(10)的表面进行擦洗,该清洗装置包括:圆筒形的第一多孔质辊子(110a),其可以与圆盘状基板(10)的第一面接触;圆筒形的第二多孔质辊子(110b),其可以与圆盘状基板(10)的第二面接触;以及轴间距离变更机构,其使第一多孔质辊子(110a)和第二多孔质辊子(110b)在改变它们的轴间距离的方向即x方向上移动,该轴间距离变更机构使第一多孔质辊子(110a)和第二多孔质辊子(110b)停止在预先设定的轴间位置上,并与圆盘状基板(10)接触。

    圆盘状基板的制造方法

    公开(公告)号:CN101837565A

    公开(公告)日:2010-09-22

    申请号:CN201010142739.8

    申请日:2010-03-18

    Inventor: 小泉壮一

    Abstract: 本发明提供一种圆盘状基板的制造方法,该制造方法降低放置圆盘状基板时产生的损伤等。通过将托架附件(50)装配于托架(30),从而利用托架附件(50)覆盖托架(30)的表面。然后,经由(通过)托架附件(50)的孔部(54)将工件放置于托架(30)的孔部(34)。进而,在工件的放置结束后,通过将环部(59b)拉起而将托架附件(50)卸下。然后,使上盘移动直到该上盘与工件接触,并使研磨机工作。

    研磨装置、研磨刷及圆盘状基板的制造方法

    公开(公告)号:CN101186020A

    公开(公告)日:2008-05-28

    申请号:CN200710186662.2

    申请日:2007-11-21

    Abstract: 本发明提供研磨装置、研磨刷及圆盘状基板的制造方法,可促进研磨液向研磨作业区域的供给并可在层叠加工体的层叠方向上均匀地研磨。研磨机构在支撑于旋转工作台上的层叠加工体的中心孔中插入研磨刷,且从研磨浆供给喷嘴向层叠加工体的上表面供给研磨浆,使层叠加工体旋转,并使研磨刷一边旋转一边在其轴向(上下方向)上以预定行程往复移动,从而研磨中心孔的内周面(圆盘状基板的内周面)。层叠加工体将圆盘状基板层叠多张并按照预定张数夹装从外周面向中心孔供给研磨浆的研磨浆导入体,且支撑于保持架上,另外,以覆盖该圆盘状基板的层叠部位的方式安装罩。在研磨作业时,在罩的内侧流动的研磨浆经研磨浆导入体向中心孔供给。

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