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公开(公告)号：CN101855035A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200780101061.5
申请日：2007-10-12
Applicant: 日立工具股份有限公司
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/0641 , C23C14/0664 , C23C14/0676 , C23C30/005 , Y10T428/24612 , Y10T428/26 , Y10T428/265
Abstract: 本发明提供一种被覆有硬质被膜的部件，其特征在于，其是被覆了具有压缩应力且厚度为5μm以上的硬质被膜的部件，所述硬质被膜具有组成式(Me1-aXa)α(N1-x-yCxOy)所示的面心立方结构，所述硬质被膜的X射线衍射中的(111)面的峰强度Ir、(200)面的峰强度Is和(220)面的峰强度It满足2≤Is/Ir和0.2≤It/Ir≤1，(200)面的半值宽度W(°)满足W≤0.7，其中，Me为选自4a、5a、6a族中的至少一种元素，X为选自Al、Si、B、S中的至少一种元素，a、x、y分别表示X、C、O的含量(原子比)，α表示(Me1-aXa)与(N1-x-yCxOy)的比，且满足0.1≤a≤0.65，0≤x≤0.1，0≤y≤0.1和0.85≤α≤1.25。
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公开(公告)号：CN104703734A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201380051064.8
申请日：2013-09-30
Applicant: 日立工具股份有限公司
CPC classification number: C23C16/36 , C23C16/30 , C23C16/32 , C23C16/34 , C23C16/44 , C23C30/005 , Y10T428/24975 , Y10T428/256
Abstract: 一种在由WC基超硬合金构成的基体上，直接通过化学气相沉积法形成碳氮化钛层而成的硬质皮膜被覆工具，其中，碳氮化钛层具有含有74～81质量％的钛、13～16质量％的碳和6～10质量％的氮的组成，碳氮化钛层具有由具有0.01～0.22μm的平均横截面直径的柱状晶粒构成的组织，从基体向碳氮化钛层内的W的扩散层的平均厚度为30～200nm，碳氮化钛层的(422)面的X射线衍射峰位置2θ处于122.7～123.7°的范围内。
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公开(公告)号：CN1710144B
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200510078391.X
申请日：2005-06-20
Applicant: 日立工具股份有限公司
Inventor： 久保田和幸
Abstract: 本发明涉及一种硬质保护膜，该硬质保护膜是用物理蒸镀法形成的硬质保护膜，由含有选自周期表的4a、5a和6a族的过渡金属元素、Al和B中的至少一种以及Si的金属元素，和选自C、N和O中的至少一种非金属元素构成，上述硬质保护膜具有柱状组织，该柱状组织具有由Si含量有差异的多个层构成的多层结构，在上述层间的边界区域，晶格带是连续的，各层厚度为0.1～100nm。
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公开(公告)号：CN1673408A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN200510069722.3
申请日：2005-02-16
Applicant: 日立工具股份有限公司
Inventor： 久保田和幸
CPC classification number: B82Y30/00 , C23C14/06 , C23C28/044 , C23C30/005 , Y10T428/265
Abstract: 一种在基体上形成多层硬质保护膜的方法，所述多层硬质保护膜具有柱状组织，该柱状组织由具有选自周期表4a、5a及6a族过渡金属元素、Al、Si及B中的至少一种金属元素(上述过渡金属元素中的至少一种是必需的)和选自S、O、N及C中的至少一种非金属元素(S是必需的)所构成，且具有S含量不同的多个层的柱状晶粒，将上述基体装载于具有等离子体密度不同的物理蒸镀法用蒸发源及反应气的室内，在上述反应气等离子化的同时使上述蒸发源同时呈激活状态，使上述基体交替地接近各蒸发源。
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公开(公告)号：CN103459070A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201280015554.8
申请日：2012-03-27
Applicant: 日立工具股份有限公司
CPC classification number: C23C16/36 , B05D5/00 , C23C16/029 , C23C16/403 , C23C16/45523 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C28/048 , C23C30/005 , Y10T428/24967 , Y10T428/24975 , Y10T428/25
Abstract: 提供一种硬质皮膜被覆部件及其制造方法，以及具备其的刀刃更换式旋转工具，硬质皮膜被覆部件在由超硬合金或高速钢构成的基体上通过化学蒸镀法具有碳氮化钛层，该碳氮化钛层从基体侧顺次由第一～第三层构成并具有柱状结晶组织(第二层的碳浓度低于第一层的碳浓度，第三层的碳浓度低于第二层的碳浓度)。第一层使用由TiCl4气体、N2气体、C2～C5的烃气体以及H2气体所构成的原料气体而形成，第二层使用由TiCl4气体、N2气体、有机氰化合物气体、C2～C5的烃气体、以及H2气体所构成的原料气体而形成，第三层使用由TiCl4气体、N2气体、有机氰化合物气体以及H2气体构成，且有机氰化合物气体的量比第二层少的原料气体而形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1282766C
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN02154560.X
申请日：2002-11-07
Applicant: 日立工具股份有限公司
CPC classification number: C23C28/044 , C23C14/0688 , C23C28/048 , C23C28/42 , C23C30/005 , Y10T428/265
Abstract: 本发明的涂覆硬质被膜工具具有以下特征：在使B的细微氮化物粒子分散的TiB系硬质被膜涂覆的工具中，通过硬质被膜的ESCA分析可以确认B和N的结合能，通过硬质被膜的拉曼分光光度分析检测c-BN和/或h-BN，c-BN的峰值强度Q1和h-BN的峰值强度Q2之比Q1/Q2为1.0以上，X线衍射的(200)面的半值宽度Z在0.3°～0.6°的范围内，工具的前刀面的膜厚K和后刀面的膜厚L之比K/L为1.0以上，而且，上述硬质被膜具有高的硬度及润滑性，可以抑制与加工物的化学反应，耐月牙洼磨损性优良。
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公开(公告)号：CN101855035B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200780101061.5
申请日：2007-10-12
Applicant: 日立工具股份有限公司
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/0641 , C23C14/0664 , C23C14/0676 , C23C30/005 , Y10T428/24612 , Y10T428/26 , Y10T428/265
Abstract: 本发明提供一种被覆有硬质被膜的部件，其特征在于，其是被覆了具有压缩应力且厚度为5μm以上的硬质被膜的部件，所述硬质被膜具有组成式(Me1-aXa)α(N1-x-yCxOy)所示的面心立方结构，所述硬质被膜的X射线衍射中的(111)面的峰强度Ir、(200)面的峰强度Is和(220)面的峰强度It满足2≤Is/Ir和0.2≤It/Ir≤1，(200)面的半值宽度W(°)满足W≤0.7，其中，Me为选自4a、5a、6a族中的至少一种元素，X为选自Al、Si、B、S中的至少一种元素，a、x、y分别表示X、C、O的含量(原子比)，α表示(Me1-aXa)与(N1-x-yCxOy)的比，且满足0.1≤a≤0.65，0≤x≤0.1，0≤y≤0.1和0.85≤α≤1.25。
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公开(公告)号：CN1424434A
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：CN02154560.X
申请日：2002-11-07
Applicant: 日立工具股份有限公司
CPC classification number: C23C28/044 , C23C14/0688 , C23C28/048 , C23C28/42 , C23C30/005 , Y10T428/265
Abstract: 本发明的涂覆硬质被膜工具具有以下特征：在使B的细微氮化物粒子分散的TiB系硬质被膜涂覆的工具中，通过硬质被膜的ESCA分析可以确认B和N的结合能，通过硬质被膜的拉曼分光光度分析检测c－BN和/或h－BN，c－BN的峰值强度Q1和h－BN的峰值强度Q2之比Q1/Q2为1.0以上，X线衍射的(200)面的半值宽度Z在0.3°～0.6°的范围内，工具的前刀面的膜厚K和后刀面的膜厚L之比K/L为1.0以上，而且，上述硬质被膜具有高的硬度及润滑性，可以抑制与加工物的化学反应，耐月牙洼磨损性优良。
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公开(公告)号：CN104703734B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380051064.8
申请日：2013-09-30
Applicant: 日立工具股份有限公司
CPC classification number: C23C16/36 , C23C16/30 , C23C16/32 , C23C16/34 , C23C16/44 , C23C30/005 , Y10T428/24975 , Y10T428/256
Abstract: 一种在由WC基超硬合金构成的基体上，直接通过化学气相沉积法形成碳氮化钛层而成的硬质皮膜被覆工具，其中，碳氮化钛层具有含有74～81质量％的钛、13～16质量％的碳和6～10质量％的氮的组成，碳氮化钛层具有由具有0.01～0.22μm的平均横截面直径的柱状晶粒构成的组织，从基体向碳氮化钛层内的W的扩散层的平均厚度为30～200nm，碳氮化钛层的(422)面的X射线衍射峰位置2θ处于122.7～123.7°的范围内。
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公开(公告)号：CN103459070B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201280015554.8
申请日：2012-03-27
Applicant: 日立工具股份有限公司
CPC classification number: C23C16/36 , B05D5/00 , C23C16/029 , C23C16/403 , C23C16/45523 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C28/048 , C23C30/005 , Y10T428/24967 , Y10T428/24975 , Y10T428/25
Abstract: 提供一种硬质皮膜被覆部件及其制造方法，以及具备其的刀刃更换式旋转工具，硬质皮膜被覆部件在由超硬合金或高速钢构成的基体上通过化学蒸镀法具有碳氮化钛层，该碳氮化钛层从基体侧顺次由第一～第三层构成并具有柱状结晶组织(第二层的碳浓度低于第一层的碳浓度，第三层的碳浓度低于第二层的碳浓度)。第一层使用由TiCl4气体、N2气体、C2～C5的烃气体以及H2气体所构成的原料气体而形成，第二层使用由TiCl4气体、N2气体、有机氰化合物气体、C2～C5的烃气体、以及H2气体所构成的原料气体而形成，第三层使用由TiCl4气体、N2气体、有机氰化合物气体以及H2气体构成，且有机氰化合物气体的量比第二层少的原料气体而形成。
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