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公开(公告)号：CN102818915B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201210187166.X
申请日：2012-06-07
Applicant: 日本电波工业株式会社
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/097 , G01P2015/0817
Abstract: 本发明提供一种能够高精度并且容易地检测加速度的加速度测量装置。上述加速度测量装置，检测可摇动地设置的振子部件（2）的位置位移，使用致动器（5）进行反馈控制以保持振子部件的静止状态，测量此时的致动器的输出，由此测定加速度，在上述加速度测量装置中，在振子部件上设置有可动电极（33（35）），电串联连接与该可动电极相对地设置的固定电极（36（38））、振荡电路（41）、晶体振子（4）和可动电极（33（35））形成环路。此时通过测量振荡电路（41）的振荡频率，来检测在可动电极（33（35））与固定电极（36（38））之间形成的可变电容（Cv1（Cv2））的大小的变化，由此检测振子部件的位置位移。
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公开(公告)号：CN102412801A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201110264620.2
申请日：2011-09-05
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/02086 , H01L2224/97 , H03H3/02 , H03H9/1014 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种使用可以恰当地形成贯通孔的压电装置的制造方法。制造压电装置的制造方法包含：基部晶片由玻璃或压电材料构成，在基部晶片的第1面和第1面的相反侧的第2面上形成耐蚀膜的耐蚀膜形成工序(S121)；在耐蚀膜上形成光致抗蚀剂并进行曝光后，对与贯通孔对应的耐蚀膜进行金属蚀刻的金属蚀刻工序(S121、S122)；在金属蚀刻工序之后，将玻璃或压电材料浸在蚀刻液中从基部晶片的第1面和第2面进行湿刻，湿刻至玻璃或压电材料马上就要贯通的程度的湿刻工序(S123)以及在第2面上形成有耐蚀膜的状态下，从第2面侧吹付研磨材料的喷砂工序(S124)。
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公开(公告)号：CN102185581A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201010591520.6
申请日：2010-12-13
Applicant: 日本电波工业株式会社
Inventor： 市川了一
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H3/04 , H03H9/19 , H03H2003/0442 , H03H2003/0485
Abstract: 本发明提供一种使用了能够微调整频率的台面型晶片的晶体装置。本发明的晶体装置(1)包括：晶片(3d)，具有厚壁部(8)和薄壁部(9)，在所述厚壁部(8)的两个主表面上形成有激励电极(10)，与所述激励电极(10)电性连接的引出电极(11)形成于端部；容器主体(2)，具有收容所述晶片(3d)的凹部；以及盖(4)，接合于所述容器主体(2)的开口端面，并将所述晶片(3d)密闭封入；在所述晶体装置(1)中，与所述激励电极(10)电性分离而独立存在的频率调整用金属膜(13)形成于所述晶片(3d)的所述薄壁部(9)。
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公开(公告)号：CN101340179A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200810126558.9
申请日：2008-07-01
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/21
Abstract: 本发明在于提供一种压电振动片，其可以小型化且可以使CI值的偏差和拐点温度的偏差变小。压电振动片(20)具有基部(29)、至少一对振动臂(21)、基部电极(23a，25a)及激发电极(23a，25c)。其中，所述基部由具有第一面和第二面的压电材料形成，且在其第一面具有用于安装的导电性粘接剂(31)的涂布区域；所述一对振动臂从基部的一端侧向第一方向延伸；所述基部电极配置在基部上；所述激发电极用于激励上述一对振动臂，其与基部电极相连接并向第一方向延伸。基部电极(23a，25a)与导电性粘接剂(31)导通的区域小于涂布区域(33)的面积。
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公开(公告)号：CN102589758B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210014848.0
申请日：2012-01-17
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/142 , G01L1/162 , G01P1/023 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0871
Abstract: 本发明提供一种能够高精度且容易地检测施加于压电片的外力的外力检测装置。在容器(1)内用悬臂支承晶体片(2)。在晶体片(2)的例如中央部，在上表面和下表面分别形成激励电极(31、41)。在晶体片(2)的下表面侧的前端部形成经由引出电极(42)与下表面侧的激励电极(41)连接的可动电极(5)，在容器(1)的底部与该可动电极(5)相对地设置有固定电极(6)。将上表面侧的激励电极(31)和固定电极(6)与振荡电路(14)连接。当对晶体片(2)施加外力而弯曲时，可动电极(5)与固定电极(6)之间的电容发生变化，将该电容变化作为晶体片的振荡频率的变化而掌握。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102840937A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201210212930.4
申请日：2012-06-21
Applicant: 日本电波工业株式会社
IPC: G01L1/14
CPC classification number: G01L1/144 , G01L1/162 , G01P15/097 , G01P15/125
Abstract: 本发明提供以简单的结构高精度地检测施加在压电板的外力的外力检测装置和外力检测传感器。在容器内单臂支撑晶体板。在晶体板的上表面和下表面分别形成有激励电极。在晶体板的下表面侧的前端部形成有与下表面侧的激励电极通过引出电极连接的可动电极，与该可动电极相对地在容器的底部设置有固定电极。将上表面侧的激励电极和固定电极与振荡电路连接。对晶体板施加外力弯曲时，可动电极与固定电极之间的电容改变，掌握该电容变化作为晶体板的振荡频率的变化。进而在晶体板中，通过使薄状部位的厚度与被激励电极夹着的电极形成部位的厚度相比小，能够抑制电极形成部位的弯曲，因此能够抑制由晶体板的弯曲引起的振荡频率的变化。
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公开(公告)号：CN102818915A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210187166.X
申请日：2012-06-07
Applicant: 日本电波工业株式会社
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/097 , G01P2015/0817
Abstract: 本发明提供一种能够高精度并且容易地检测加速度的加速度测量装置。上述加速度测量装置，检测可摇动地设置的振子部件（2）的位置位移，使用致动器（5）进行反馈控制以保持振子部件的静止状态，测量此时的致动器的输出，由此测定加速度，在上述加速度测量装置中，在振子部件上设置有可动电极（33（35）），电串联连接与该可动电极相对地设置的固定电极（36（38））、振荡电路（41）、晶体振子（4）和可动电极（33（35））形成环路。此时通过测量振荡电路（41）的振荡频率，来检测在可动电极（33（35））与固定电极（36（38））之间形成的可变电容（Cv1（Cv2））的大小的变化，由此检测振子部件的位置位移。
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公开(公告)号：CN102811028A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210171983.6
申请日：2012-05-29
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/0595 , H01L2224/16225 , H03H9/1021 , H03H9/1035
Abstract: 一种压电元件以及压电元件的制造方法，其中压电元件易于确认压电元件是否已充分地密封。压电元件(100)包括：压电振动片(130)，利用施加电压而发生振动；第一板(110)及第二板(120)，包含透明的板材且收纳着压电振动片；密封材料(150a)，配置在第一板与第二板之间，且呈规定宽度的框形状地配置在第一板或第二板的周围，将第一板与第二板予以接合，在密封材料的规定宽度内(WX、WZ)具有空隙(151b)，该空隙(151b)未将规定宽度予以贯通。
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公开(公告)号：CN101237223B
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN200810009040.7
申请日：2008-01-30
Applicant: 日本电波工业株式会社
Inventor： 市川了一
CPC classification number: H01L2224/16225 , H01L2924/16195
Abstract: 本发明提供一种音叉型压电振子，维持小型化时静止状态下的振动特性的基础上确保固定接合强度，并且抑制落下冲击前后的频率变化。音叉型压电振子包括：断面形成凹陷状的容器主体(1)；在前述容器本体(1)的凹陷部内设置的电极衬垫(4)；前述电极衬垫(4)上形成的金属撞块(6)；将延伸出有一对音叉腕(9)的音叉基部(10)的一个主面利用导电性接合剂(8)固定接合于金属撞块(6)的音叉状压电片(7)；与前述容器主体(1)的开口端面接合以将前述音叉状压电片(7)密封于其中的盖体(2)。该音叉型压电振子中，前述金属撞块(6)的上面平坦部(6a)面积比前述金属撞块(6)的底面积小。
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公开(公告)号：CN101340179B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN200810126558.9
申请日：2008-07-01
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/21
Abstract: 本发明在于提供一种压电振动片及压电装置，其可以小型化且可以使CI值的偏差和拐点温度的偏差变小。压电振动片(20)具有基部(29)、至少一对振动臂(21)、基部电极(23a，25a)及激发电极(23a，25c)。其中，所述基部由具有第一面和第二面的压电材料形成，且在其第一面具有用于安装的导电性粘接剂(31)的涂布区域；所述一对振动臂从基部的一端侧向第一方向延伸；所述基部电极配置在基部上；所述激发电极用于激励上述一对振动臂，其与基部电极相连接并向第一方向延伸。基部电极(23a，25a)与导电性粘接剂(31)导通的区域小于涂布区域(33)的面积。
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