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公开(公告)号:CN102739190A
公开(公告)日:2012-10-17
申请号:CN201210085530.1
申请日:2012-03-28
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H9/21
Abstract: 本发明提供一种压电部件,当压电部件受到冲击时,音叉型压电振动片的支撑腕的部分不碰撞退刀槽的有棱角的边缘部,由此支撑腕不会产生折损。压电部件(1)包括音叉型压电振动片(3)和封装件,封装件具有:盖体(21);收纳凹部(22),收纳音叉型压电振动片(3),并通过盖体(21)而被密闭;一对支撑台(23),为了在基部(31)的相反侧通过支撑腕(33)固定音叉型压电振动片(3),设置于收纳凹部(22)的底面;以及退刀槽(24),为了防止固定于支撑台(23)的音叉型压电振动片(3)碰撞收纳凹部(22)的底面,而形成于该底面。退刀槽(24)的边缘部(241)形成为位于该基部(31)的下侧,使得基部(31)的部分代替支撑腕(33)的部分发生碰撞。
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公开(公告)号:CN102589758A
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN201210014848.0
申请日:2012-01-17
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/142 , G01L1/162 , G01P1/023 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0871
Abstract: 本发明提供一种能够高精度且容易地检测施加于压电片的外力的外力检测装置。在容器(1)内用悬臂支承晶体片(2)。在晶体片(2)的例如中央部,在上表面和下表面分别形成激励电极(31、41)。在晶体片(2)的下表面侧的前端部形成经由引出电极(42)与下表面侧的激励电极(41)连接的可动电极(5),在容器(1)的底部与该可动电极(5)相对地设置有固定电极(6)。将上表面侧的激励电极(31)和固定电极(6)与振荡电路(14)连接。当对晶体片(2)施加外力而弯曲时,可动电极(5)与固定电极(6)之间的电容发生变化,将该电容变化作为晶体片的振荡频率的变化而掌握。
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公开(公告)号:CN102589758B
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201210014848.0
申请日:2012-01-17
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/142 , G01L1/162 , G01P1/023 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0871
Abstract: 本发明提供一种能够高精度且容易地检测施加于压电片的外力的外力检测装置。在容器(1)内用悬臂支承晶体片(2)。在晶体片(2)的例如中央部,在上表面和下表面分别形成激励电极(31、41)。在晶体片(2)的下表面侧的前端部形成经由引出电极(42)与下表面侧的激励电极(41)连接的可动电极(5),在容器(1)的底部与该可动电极(5)相对地设置有固定电极(6)。将上表面侧的激励电极(31)和固定电极(6)与振荡电路(14)连接。当对晶体片(2)施加外力而弯曲时,可动电极(5)与固定电极(6)之间的电容发生变化,将该电容变化作为晶体片的振荡频率的变化而掌握。
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公开(公告)号:CN102840937A
公开(公告)日:2012-12-26
申请号:CN201210212930.4
申请日:2012-06-21
Applicant: 日本电波工业株式会社
IPC: G01L1/14
CPC classification number: G01L1/144 , G01L1/162 , G01P15/097 , G01P15/125
Abstract: 本发明提供以简单的结构高精度地检测施加在压电板的外力的外力检测装置和外力检测传感器。在容器内单臂支撑晶体板。在晶体板的上表面和下表面分别形成有激励电极。在晶体板的下表面侧的前端部形成有与下表面侧的激励电极通过引出电极连接的可动电极,与该可动电极相对地在容器的底部设置有固定电极。将上表面侧的激励电极和固定电极与振荡电路连接。对晶体板施加外力弯曲时,可动电极与固定电极之间的电容改变,掌握该电容变化作为晶体板的振荡频率的变化。进而在晶体板中,通过使薄状部位的厚度与被激励电极夹着的电极形成部位的厚度相比小,能够抑制电极形成部位的弯曲,因此能够抑制由晶体板的弯曲引起的振荡频率的变化。
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公开(公告)号:CN102818915A
公开(公告)日:2012-12-12
申请号:CN201210187166.X
申请日:2012-06-07
Applicant: 日本电波工业株式会社
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/097 , G01P2015/0817
Abstract: 本发明提供一种能够高精度并且容易地检测加速度的加速度测量装置。上述加速度测量装置,检测可摇动地设置的振子部件(2)的位置位移,使用致动器(5)进行反馈控制以保持振子部件的静止状态,测量此时的致动器的输出,由此测定加速度,在上述加速度测量装置中,在振子部件上设置有可动电极(33(35)),电串联连接与该可动电极相对地设置的固定电极(36(38))、振荡电路(41)、晶体振子(4)和可动电极(33(35))形成环路。此时通过测量振荡电路(41)的振荡频率,来检测在可动电极(33(35))与固定电极(36(38))之间形成的可变电容(Cv1(Cv2))的大小的变化,由此检测振子部件的位置位移。
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公开(公告)号:CN102607746B
公开(公告)日:2015-08-12
申请号:CN201210015265.X
申请日:2012-01-17
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/142 , G01L1/162 , G01P1/00 , G01P1/006 , G01P1/023 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0871
Abstract: 提供一种能够高精度且容易地检测出施加在压电板上的外力的技术。在容器内悬臂支承水晶板。在水晶板的例如中央部分别在上表面和下表面形成激励电极。在水晶板的下表面一侧的前端部,形成通过引出电极与下表面一侧的激励电极连接的可动电极,与该可动电极相向地在容器的底部设置固定电极。将上表面一侧的激励电极和固定电极连接振荡电路。在水晶板上施加外力而弯曲时,可动电极与固定电极之间的电容变化,将该电容变化与水晶板的变形作为振荡电路的振荡频率的变化来掌握。另外,将外力的施加方向和沿着施加外力之前的水晶板的长度方向的可动电极的朝向所成的角度θ设定为30°~60°,优选40°~50°,然后进行测定。
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公开(公告)号:CN102818915B
公开(公告)日:2014-10-15
申请号:CN201210187166.X
申请日:2012-06-07
Applicant: 日本电波工业株式会社
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/097 , G01P2015/0817
Abstract: 本发明提供一种能够高精度并且容易地检测加速度的加速度测量装置。上述加速度测量装置,检测可摇动地设置的振子部件(2)的位置位移,使用致动器(5)进行反馈控制以保持振子部件的静止状态,测量此时的致动器的输出,由此测定加速度,在上述加速度测量装置中,在振子部件上设置有可动电极(33(35)),电串联连接与该可动电极相对地设置的固定电极(36(38))、振荡电路(41)、晶体振子(4)和可动电极(33(35))形成环路。此时通过测量振荡电路(41)的振荡频率,来检测在可动电极(33(35))与固定电极(36(38))之间形成的可变电容(Cv1(Cv2))的大小的变化,由此检测振子部件的位置位移。
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公开(公告)号:CN102607746A
公开(公告)日:2012-07-25
申请号:CN201210015265.X
申请日:2012-01-17
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/142 , G01L1/162 , G01P1/00 , G01P1/006 , G01P1/023 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0871
Abstract: 提供一种能够高精度且容易地检测出施加在压电板上的外力的技术。在容器内悬臂支承水晶板。在水晶板的例如中央部分别在上表面和下表面形成激励电极。在水晶板的下表面一侧的前端部,形成通过引出电极与下表面一侧的激励电极连接的可动电极,与该可动电极相向地在容器的底部设置固定电极。将上表面一侧的激励电极和固定电极连接振荡电路。在水晶板上施加外力而弯曲时,可动电极与固定电极之间的电容变化,将该电容变化与水晶板的变形作为振荡电路的振荡频率的变化来掌握。另外,将外力的施加方向和沿着施加外力之前的水晶板的长度方向的可动电极的朝向所成的角度θ设定为30°~60°,优选40°~50°,然后进行测定。
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公开(公告)号:CN101714856A
公开(公告)日:2010-05-26
申请号:CN200910177852.7
申请日:2009-09-28
Applicant: 日本电波工业株式会社
Inventor: 岩井宏树
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/1021
Abstract: 提供一种音叉型压电振动片。该压电振动片缩短了基部的长度,并设置减少振动臂的振动渗漏波及外部的影响的振动臂及支撑臂。该压电振动片(100)具有:至少一对从基部(23)的一端侧向规定方向延伸的振动臂(41);以及在振动臂的两个外侧,在前端具有接合部的同时从基板的一端侧向规定方向延伸的一对支撑臂(22a),并且,从基部的一端侧至接合部(25),一对支撑臂的宽度变窄。即,支撑臂(22a)从支撑臂根部(26)向缩颈点(48、49)倾斜而延伸,使得支撑臂的宽度变窄。
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