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公开(公告)号：CN102589758A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210014848.0
申请日：2012-01-17
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/142 , G01L1/162 , G01P1/023 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0871
Abstract: 本发明提供一种能够高精度且容易地检测施加于压电片的外力的外力检测装置。在容器(1)内用悬臂支承晶体片(2)。在晶体片(2)的例如中央部，在上表面和下表面分别形成激励电极(31、41)。在晶体片(2)的下表面侧的前端部形成经由引出电极(42)与下表面侧的激励电极(41)连接的可动电极(5)，在容器(1)的底部与该可动电极(5)相对地设置有固定电极(6)。将上表面侧的激励电极(31)和固定电极(6)与振荡电路(14)连接。当对晶体片(2)施加外力而弯曲时，可动电极(5)与固定电极(6)之间的电容发生变化，将该电容变化作为晶体片的振荡频率的变化而掌握。
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公开(公告)号：CN102412801A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201110264620.2
申请日：2011-09-05
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/02086 , H01L2224/97 , H03H3/02 , H03H9/1014 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种使用可以恰当地形成贯通孔的压电装置的制造方法。制造压电装置的制造方法包含：基部晶片由玻璃或压电材料构成，在基部晶片的第1面和第1面的相反侧的第2面上形成耐蚀膜的耐蚀膜形成工序(S121)；在耐蚀膜上形成光致抗蚀剂并进行曝光后，对与贯通孔对应的耐蚀膜进行金属蚀刻的金属蚀刻工序(S121、S122)；在金属蚀刻工序之后，将玻璃或压电材料浸在蚀刻液中从基部晶片的第1面和第2面进行湿刻，湿刻至玻璃或压电材料马上就要贯通的程度的湿刻工序(S123)以及在第2面上形成有耐蚀膜的状态下，从第2面侧吹付研磨材料的喷砂工序(S124)。
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公开(公告)号：CN102589758B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210014848.0
申请日：2012-01-17
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/142 , G01L1/162 , G01P1/023 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , G01P2015/0871
Abstract: 本发明提供一种能够高精度且容易地检测施加于压电片的外力的外力检测装置。在容器(1)内用悬臂支承晶体片(2)。在晶体片(2)的例如中央部，在上表面和下表面分别形成激励电极(31、41)。在晶体片(2)的下表面侧的前端部形成经由引出电极(42)与下表面侧的激励电极(41)连接的可动电极(5)，在容器(1)的底部与该可动电极(5)相对地设置有固定电极(6)。将上表面侧的激励电极(31)和固定电极(6)与振荡电路(14)连接。当对晶体片(2)施加外力而弯曲时，可动电极(5)与固定电极(6)之间的电容发生变化，将该电容变化作为晶体片的振荡频率的变化而掌握。
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公开(公告)号：CN102811028A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210171983.6
申请日：2012-05-29
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/0595 , H01L2224/16225 , H03H9/1021 , H03H9/1035
Abstract: 一种压电元件以及压电元件的制造方法，其中压电元件易于确认压电元件是否已充分地密封。压电元件(100)包括：压电振动片(130)，利用施加电压而发生振动；第一板(110)及第二板(120)，包含透明的板材且收纳着压电振动片；密封材料(150a)，配置在第一板与第二板之间，且呈规定宽度的框形状地配置在第一板或第二板的周围，将第一板与第二板予以接合，在密封材料的规定宽度内(WX、WZ)具有空隙(151b)，该空隙(151b)未将规定宽度予以贯通。
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